本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种用于晶圆的自动背刮装置，所述工作台底部的四个拐角处均设置有支撑腿，所述支撑腿的底部固定连接在底座上，所述工作台下方的中间位置设置有刮擦件，所述刮擦件的外侧设置有排渣桶，所述排渣桶的左右两侧均设置有排渣管，所述排渣管的上设置有排渣阀门，所述排渣桶的内部设置有多个支撑块；本实用新型专利技术在对晶圆进行自动背刮的过程中，排渣桶紧贴在工作台的下表面，通过排渣桶将产生的废料收集起来，定期打开排渣阀门，将这些废料通过排渣管排出，确保这些废料不会肆意的飞溅，便于废料的清理，不会造成污染环境，通过支撑块，确保可以这些废料完全的排出，不会有少量的废料残留在排渣桶内。排渣桶内。排渣桶内。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的自动背刮装置
[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体是一种用于晶圆的自动背刮装置。
技术介绍
[0002]晶圆生产过程中，传统的晶圆分离方法为：在晶圆上用刀轮切割机按晶粒大小进行切割，切割时刀轮切割的深度约为晶圆厚度的三分之二，没有完全切透，切割后晶圆上的晶粒与晶粒之间未完全断裂开，还一定程度粘黏在一起。为了使晶粒与晶粒之间互相分离开，需要对晶圆，尤其是晶圆上分布的未切穿的刀痕施加外力，使晶粒与晶粒之间完全裂开，现有的对晶圆施加外力的方式是采用人工进行晶圆背挂。
[0003]现有技术开发的一种晶圆自动背刮装置，如CN214797342U的一种晶圆自动背刮装置，该技术刮擦机构抵接晶圆背面粘性膜时，双方向直线运动机构组合带动刮擦机构在X轴或Y轴方向上移动，以使刮擦机构背刮晶圆，解决了人工作业中存在漏刮和人工背刮力度方向难以控制，导致产品不良率高的问题，但是它在使用过程中存在以下不足之处，背刮过程中，产生的废料直接掉落下来，会直接掉落下来，不便于清理，污染环境。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于晶圆的自动背刮装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于晶圆的自动背刮装置，包括底座、工作台以及刮擦件，所述底座的上方设置有工作台，所述工作台底部的四个拐角处均设置有支撑腿，所述支撑腿的底部固定连接在底座上，所述工作台下方的中间位置设置有刮擦件，所述刮擦件设置成圆环状，所述刮擦件的外侧设置有排渣桶，所述排渣桶的左右两侧均设置有排渣管，所述排渣管的上设置有排渣阀门，所述排渣桶的内部设置有多个支撑块，多个所述支撑块分布在排渣管上方的左右两侧。
[0007]作为本技术再进一步的方案，所述工作台的中间位置开设有孔洞，所述孔洞的左右两侧对称设置有固定夹板，所述固定夹板设置成圆弧形，所述固定夹板上靠近孔洞中心位置的一侧紧贴设置有橡胶垫，所述固定夹板上远离孔洞中心位置的一侧设置有弹簧，所述弹簧的末端固定连接在孔洞的壁体上。
[0008]作为本技术再进一步的方案，所述排渣桶的下方设置有安装座，所述安装座上表面的中间位置设置有第一电机，所述第一电机输出轴的末端固定连接在排渣桶上。
[0009]作为本技术再进一步的方案，所述安装座的下方设置有第一滑块，所述安装座与第一滑块之间设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的上下两端分别固定连接在安装座以及第一滑块之间。
[0010]作为本技术再进一步的方案，所述第一滑块的下方设置有第二滑块，所述底座上表面的中间位置开设有凹槽，所述第二滑块位于凹槽的内部。
[0011]作为本技术再进一步的方案，所述第一滑块内部的前方方向上贯穿设置有第一丝杆，所述第一丝杆的前侧设置有第二电机，所述第二电机输出轴的末端固定连接在第一丝杆上，所述第一丝杆的后侧卡接在第二滑块上。
[0012]作为本技术再进一步的方案，所述第二滑块内部的左右方向上贯穿设置有第二丝杆，所述第二丝杆的左侧设置有第三电机，所述第三电机输出轴的末端固定连接在第二丝杆上，所述第二丝杆的右侧卡接在底座上。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术在刮除件的外侧设置有排渣桶，在排渣桶的左右两侧均设置有排渣管，在排渣桶上设置有排渣阀门，并在排渣桶的内部设置有多个支撑块，在对晶圆进行自动背刮的过程中，排渣桶紧贴在工作台的下表面，通过排渣桶将产生的废料收集起来，定期打开排渣阀门，将这些废料通过排渣管排出，确保这些废料不会肆意的飞溅，便于废料的清理，不会造成污染环境，通过支撑块，确保可以这些废料完全的排出，不会有少量的废料残留在排渣桶内。
附图说明
[0015]图1为一种用于晶圆的自动背刮装置的结构示意图；
[0016]图2为工作台的内部结构示意图；
[0017]图3为排渣桶与安装座安装的内部结构示意图；
[0018]图4为第一滑块与第二滑块安装的内部结构示意图。
[0019]图中：1、底座；101、凹槽；2、工作台；201、支撑腿；3、刮擦件；4、排渣桶；401、排渣管；402、排渣阀门；403、支撑块；5、孔洞；501、固定夹板；502、橡胶垫；503、弹簧；6、安装座；601、第一电机；7、第一滑块；701、电动伸缩杆；8、第二滑块；801、第二丝杆；802、第三电机；9、第一丝杆；10、第二电机。
具体实施方式
[0020]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种用于晶圆的自动背刮装置，包括底座1、工作台2以及刮擦件3，底座1的上方设置有工作台2，工作台2底部的四个拐角处均设置有支撑腿201，支撑腿201的底部固定连接在底座1上，工作台2下方的中间位置设置有刮擦件3，刮擦件3设置成圆环状，刮擦件3的外侧设置有排渣桶4，排渣桶4的左右两侧均设置有排渣管401，排渣管401的上设置有排渣阀门402，排渣桶4的内部设置有多个支撑块403，多个支撑块403分布在排渣管401上方的左右两侧，在对晶圆进行自动背刮的过程中，排渣桶4紧贴在工作台2的下表面，通过排渣桶4将产生的废料收集起来，定期打开排渣阀门402，将这些废料通过排渣管401排出，确保这些废料不会肆意的飞溅，便于废料的清理，不会造成污染环境，通过支撑块403，确保可以这些废料完全的排出，不会有少量的废料残留在排渣桶4。
[0021]在图1和图2中，工作台2的中间位置开设有孔洞5，孔洞5的左右两侧对称设置有固定夹板501，固定夹板501设置成圆弧形，固定夹板501上靠近孔洞5中心位置的一侧紧贴设置有橡胶垫502，固定夹板501上远离孔洞5中心位置的一侧设置有弹簧503，弹簧503的末端固定连接在孔洞5的壁体上，在对晶圆进行自动背刮的过程中，将晶圆放置在孔洞5内，并通过固定夹板501将晶圆固定夹紧，确保晶圆始终保持稳定，便于后续晶圆的自动背刮。
[0022]在图1和图3中，排渣桶4的下方设置有安装座6，安装座6上表面的中间位置设置有第一电机601，第一电机601输出轴的末端固定连接在排渣桶4上。
[0023]在图1和图4中，安装座6的下方设置有第一滑块7，安装座6与第一滑块7之间设置有电动伸缩杆701，电动伸缩杆701的上下两端分别固定连接在安装座6以及第一滑块7之间。
[0024]在图1和图4中，第一滑块7的下方设置有第二滑块8，底座1上表面的中间位置开设有凹槽101，第二滑块8位于凹槽101的内部。
[0025]在图1和图4中，第一滑块7内部的前方方向上贯穿设置有第一丝杆9，第一丝杆9的前侧设置有第二电机10，第二电机10输出轴的末端固定连接在第一丝杆9上，第一丝杆9的后侧卡接在第二滑块8上。
[0026]在图1和图4中，第二滑块8内部的左右方向上贯穿设置有第二丝杆801，第二丝杆801的左侧设置有第三电机802，第三电机802输出轴的末端固定连接在第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的自动背刮装置，包括底座(1)、工作台(2)以及刮擦件(3)，所述底座(1)的上方设置有工作台(2)，所述工作台(2)底部的四个拐角处均设置有支撑腿(201)，所述支撑腿(201)的底部固定连接在底座(1)上，所述工作台(2)下方的中间位置设置有刮擦件(3)，所述刮擦件(3)设置成圆环状，其特征在于，所述刮擦件(3)的外侧设置有排渣桶(4)，所述排渣桶(4)的左右两侧均设置有排渣管(401)，所述排渣管(401)上设置有排渣阀门(402)，所述排渣桶(4)的内部设置有多个支撑块(403)，多个所述支撑块(403)分布在排渣管(401)上方的左右两侧。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的自动背刮装置，其特征在于，所述工作台(2)的中间位置开设有孔洞(5)，所述孔洞(5)的左右两侧对称设置有固定夹板(501)，所述固定夹板(501)设置成圆弧形，所述固定夹板(501)上靠近孔洞(5)中心位置的一侧紧贴设置有橡胶垫(502)，所述固定夹板(501)上远离孔洞(5)中心位置的一侧设置有弹簧(503)，所述弹簧(503)的末端固定连接在孔洞(5)的壁体上。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢亮春，
申请(专利权)人：深圳市新晶路电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。