调度路径确定、晶圆调度方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本申请公开了一种调度路径确定、晶圆调度方法、装置、设备及存储介质，其中，所述调度路径确定方法包括：基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一工艺站点的第一候选机台集合；基于每一工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一工艺站点的第二候选机台集合；基于每一工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合，确定生产工艺的至少一条目标调度路径；每一目标调度路径中包括每一工艺站点中的一个目标机台。本申请实施例中，可以基于工艺站点中各机台的历史良率情况以及历史量测情况确定目标调度路径，从而可以确定具有不同历史良率情况以及历史量测情况的至少一条目标调度路径，以满足不同产品良率及产能需求。率及产能需求。率及产能需求。

【技术实现步骤摘要】
调度路径确定、晶圆调度方法、装置、设备及存储介质


[0001]本申请涉及但不限于半导体领域，尤其涉及一种调度路径确定、晶圆调度方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]在半导体产品的生产工艺中，通常在保障产品良率的基础上，以最大产能为目标进行生产。但是，对于品质要求较高的客户，相关技术中的晶圆调度的方案，还无法满足相应的产品良率及产能需求。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请实施例提供一种调度路径确定、晶圆调度方法、装置、设备及存储介质。
[0004]本申请实施例的技术方案是这样实现的：
[0005]一方面，本申请实施例提供一种调度路径确定方法，所述方法包括：
[0006]基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一所述工艺站点的第一候选机台集合；
[0007]基于每一所述工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一所述工艺站点的第二候选机台集合；
[0008]基于每一所述工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合，确定所述生产工艺的至少一条目标调度路径；其中，每一所述目标调度路径中包括每一所述工艺站点中的一个目标机台。
[0009]另一方面，本申请实施例提供一种调度路径确定装置，所述装置包括：
[0010]第一确定模块，用于基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一所述工艺站点的第一候选机台集合；
[0011]第二确定模块，用于基于每一所述工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一所述工艺站点的第二候选机台集合；
[0012]第三确定模块，用于基于每一所述工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合，确定所述生产工艺的至少一条目标调度路径；其中，每一所述目标调度路径中包括每一所述工艺站点中的一个目标机台。
[0013]再一方面，本申请实施例提供一种晶圆调度方法，所述方法包括：
[0014]采用上述调度路径确定方法，确定至少一条目标调度路径；
[0015]基于设定的工艺参数条件，从所述至少一条目标调度路径中确定待调度的调度路径；
[0016]基于所述待调度的调度路径，对晶圆进行生产调度，得到晶圆产品。
[0017]又一方面，本申请实施例提供一种晶圆调度装置，所述装置包括：
[0018]第六确定模块，用于采用上述调度路径确定方法，确定至少一条目标调度路径；
[0019]第七确定模块，用于基于设定的工艺参数条件，从所述至少一条目标调度路径中确定待调度的调度路径；
[0020]调度模块，用于基于所述待调度的调度路径，对晶圆进行生产调度，得到晶圆产品。
[0021]又一方面，本申请实施例提供一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述方法中的部分或全部步骤。
[0022]又一方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述方法中的部分或全部步骤。
[0023]本申请实施例中，基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一工艺站点的第一候选机台集合；基于每一工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一工艺站点的第二候选机台集合；基于每一工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合，确定生产工艺的至少一条目标调度路径；其中，每一目标调度路径中包括每一工艺站点中的一个目标机台。这样，可以基于工艺站点中各机台的历史良率情况以及历史量测情况，确定目标调度路径，从而可以确定具有不同历史良率情况以及不同历史量测情况的至少一条目标调度路径，进而可以得到满足不同产品良率及产能需求的目标调度路径。
附图说明
[0024]图1为本申请实施例提供的一种调度路径确定方法的实现流程示意图；
[0025]图2为本申请实施例提供的一种调度路径确定方法的实现流程示意图；
[0026]图3为本申请实施例提供的一种调度路径确定方法的实现流程示意图；
[0027]图4为本申请实施例提供的一种调度路径确定方法的实现流程示意图；
[0028]图5为本申请实施例提供的一种晶圆调度方法的实现流程示意图；
[0029]图6A为本申请实施例提供的一种工艺站点中各机台的历史良率的分布示意图；
[0030]图6B为本申请实施例提供的一种工艺站点中各机台的历史工序中对机台组件的量测指标的分布示意图；
[0031]图7为本申请实施例提供的一种调度路径确定装置的组成结构示意图；
[0032]图8为本申请实施例提供的一种晶圆调度装置的组成结构示意图；
[0033]图9为本申请实施例提供的一种计算机设备的硬件实体示意图。
具体实施方式
[0034]为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步详细阐述，所描述的实施例不应视为对本申请的限制，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0035]在以下的描述中，涉及到“一些实施例”，其描述了所有可能实施例的子集，但是可以理解，“一些实施例”可以是所有可能实施例的相同子集或不同子集，并且可以在不冲突的情况下相互结合。
[0036]如果申请文件中出现“第一/第二”的类似描述则增加以下的说明，在以下的描述中，所涉及的术语“第一/第二/第三”仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序，可以理解地，“第一/第二/第三”在允许的情况下可以互换特定的顺序或先后次序，以使这里描述的本申请实施例能够以除了在这里图示或描述的以外的顺序实施。
[0037]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述本申请的目的，不是旨在限制本申请。
[0038]本申请实施例提供一种调度路径确定方法，该方法可以由计算机设备的处理器执行。其中，计算机设备指的可以是服务器、笔记本电脑、平板电脑、台式计算机、智能电视、机顶盒、移动设备(例如移动电话、便携式视频播放器、个人数字助理、专用消息设备、便携式游戏设备)等任意合适的具备数据处理能力的设备。图1为本申请实施例提供的一种调度路径确定方法的实现流程示意图，如图1所示，该方法包括如下步骤S101至步骤S103：
[0039]步骤S101，基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一所述工艺站点的第一候选机台集合。
[0040]这里，设定的生产工艺可以是根据待生产的晶圆产品的生产流程确定的，包括在晶圆产品的生产过程中对晶圆进行的至少一道工序，其中，每一道工序可以对应一个工艺站点，在该工艺站点中可以对晶圆执行该工序。在实施时，一个工艺站点中可以包括至少一个同类型的机台，在生产工艺的每一道工序中，可以从对应的工艺站点中确定一个机台，并利用该机台对晶圆执行该工序。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调度路径确定方法，其特征在于，所述方法包括：基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一所述工艺站点的第一候选机台集合；基于每一所述工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一所述工艺站点的第二候选机台集合；基于每一所述工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合，确定所述生产工艺的至少一条目标调度路径；其中，每一所述目标调度路径中包括每一所述工艺站点中的一个目标机台。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述历史良率指标包括至少一个历史良率，所述基于设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的历史良率指标，确定每一所述工艺站点的第一候选机台集合，包括：基于设定的良率统计条件，确定设定的生产工艺中每一工艺站点中各机台的至少一个历史良率；基于每一所述工艺站点中各机台的至少一个历史良率，确定每一所述工艺站点中各机台的历史良率分布信息；针对每一所述工艺站点，确定所述工艺站点中历史良率分布信息满足预设良率分布条件的第一候选机台；将每一所述工艺站点的第一候选机台加入所述工艺站点的第一候选机台集合。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述历史良率分布信息包括历史良率的平均值，所述确定所述工艺站点中历史良率分布信息满足预设良率分布条件的第一候选机台，包括：将所述工艺站点中历史良率的平均值最高的第一数量的机台确定为第一候选机台。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于每一所述工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一所述工艺站点的第二候选机台集合之前，所述方法还包括：针对每一所述工艺站点，基于设定的量测指标统计条件，确定所述工艺站点中各机台的历史量测指标。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于每一所述工艺站点中各机台的历史量测指标，确定每一所述工艺站点的第二候选机台集合，包括：确定每一所述工艺站点的量测指标的目标取值范围；针对每一所述工艺站点，确定所述工艺站点中历史量测指标在所述工艺站点的量测指标的目标取值范围内的第二候选机台；将每一所述工艺站点的第二候选机台加入所述工艺站点的第二候选机台集合。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述确定每一所述工艺站点的量测指标的目标取值范围，包括：针对每一所述工艺站点，确定所述工艺站点中历史良率的平均值最高的第二数量的第三候选机台；将每一所述工艺站点的每一第三候选机台加入所述工艺站点的第三候选机台集合；基于每一所述工艺站点的第三候选机台集合中各机台的历史量测指标中的最大值和最小值，确定每一所述工艺站点的量测指标的目标取值范围。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述历史量测指标包括以下至少之一：历史工序中对机台组件的量测指标、历史工序中对晶圆产品的量测指标。8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述基于每一所述工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合，确定所述生产工艺的至少一条目标调度路径，包括：对每一所述工艺站点的第一候选机台集合和第二候选机台集合取交集，得到每一所述工艺站点的至少一个目标机台；基于每一所述工艺站点的至少一个目标机台，确定所述生产工艺中的至少一条目标调度路径；其中，每一所述目标调度路径中包括每一所述工艺站点的一个目标机台。9.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，每一所述目标机台包含至少一个工艺腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈振豪，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：