一种检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种检测设备，该检测设备包括：承载件，所述承载件被配置为承载物料，所述物料具有待测面；检测光源所述检测光源与所述承载件间隔设置，当所述承载件上承载有物料时，所述检测光源被配置为向所述物料的待测面的一侧发射检测光，并形成反射光；成像装置，所述成像装置与所述承载件间隔设置，所述成像装置设置在所述反射光的光路上，所述成像装置被配置为获取从所述待测面上反射的反射光并形成检测图像，其中，所述成像装置获得的反射光全部由所述检测光源发射的检测光形成，从而提高了缺陷检测能力。提高了缺陷检测能力。提高了缺陷检测能力。

【技术实现步骤摘要】
一种检测设备


[0001]本技术涉及检测
，具体涉及一种检测设备。

技术介绍

[0002]晶圆是半导体行业中的一种基础材料，的其加工制作过程繁琐复杂且对成品质量要求较高，若晶圆上存在有缺陷将导致制备而成的集成电路产品失效。因此不仅需对晶圆上的缺陷进行实时检测，还需要在来料端和出货端对整片晶圆进行宏观检测，而宏观检测是指对尺寸大于100微米的缺陷进行检测，往往通过人眼对晶圆表面进行直接观察或使用成像装置采集晶圆表面图像后再用人眼进行观察。
[0003]整片晶圆在宏观检测过程中，成像装置单次成像的视野需覆盖整片晶圆，但是有大量环境杂散光从晶圆表面反射至成像装置，在成像图像中产生检测光干扰，从而影响采集到的检测图像质量并且干扰人眼判断和检测缺陷。

技术实现思路

[0004]本技术主要解决的技术问题是在晶圆宏观检测中有大量环境杂散光从晶圆表面反射至成像装置，在成像图像中产生检测光干扰，从而影响采集到的检测图像质量并且干扰人眼判断和检测缺陷。
[0005]为此，本技术提供了一种检测设备，包括：
[0006]承载件，所述承载件被配置为承载物料，所述物料具有待测面；
[0007]检测光源，所述检测光源与所述承载件间隔设置，当所述承载件上承载有物料时，所述检测光源被配置为向所述物料的待测面的一侧发射检测光，并形成反射光；
[0008]成像装置，所述成像装置与所述承载件间隔设置，所述成像装置设置在所述反射光的光路上，所述成像装置被配置为获取从所述待测面上反射的反射光并形成检测图像，其中，所述成像装置获得的反射光全部由所述检测光源发射的检测光形成。
[0009]根据本技术的一种具体实施例，所述检测光源为多光谱LED面阵光源，所述检测光源被配置为发射不同颜色的检测光，所述检测光源包括黄色像素单元、绿色像素单元、蓝色像素单元和白色像素单元中的一种或多种。
[0010]根据本技术的一种具体实施例，所述检测光源为明场光源，所述检测光至少完全覆盖照射于物料的待测面上。
[0011]根据本技术的一种具体实施例，所述成像装置为面阵相机。
[0012]根据本技术的一种具体实施例，所述检测设备还包括第一旋转组件，所述第一旋转组件连接于所述承载件，所述承载件上设有固定件，所述固定件被配置为固定物料；所述第一旋转组件被配置为带动所述承载件运动，从而改变所述物料的待测面与水平面之间的角度。
[0013]根据本技术的一种具体实施例，所述检测设备还包括第二旋转组件，所述第二旋转组件连接于所述固定件，所述第二旋转组件被配置为带动所述物料在待测面所在的
平面内旋转。
[0014]根据本技术的一种具体实施例，所述第一旋转组件被配置为带动物料转动至预设位，所述预设位包括：人眼观测位。
[0015]根据本技术的一种具体实施例，所述检测光源具有发光平面，所述发光平面与水平面之间的角度范围为20
°
至30
°
，所述待测面与水平面之间的角度范围为0至15
°
，所述待测面与检测光源用于发射检测光的发光平面之间的角度范围为20
°
至45
°
。
[0016]根据本技术的一种具体实施例，所述发光平面与水平面之间存在25
°
夹角，所述待测面与水平面之间具有10
°
的夹角，且所述待测面与检测光源用于发射检测光的发光平面之间存在35
°
夹角。
[0017]根据本技术的一种具体实施例，所述检测设备还包括显示模块和触发模块，所述显示模块和所述触发模块之间为通信连接，所述成像装置与所述显示模块之间为通信连接，所述触发模块被配置为间隔预设时长触发所述成像装置采集包含所述待测面的检测图像，所述显示模块被配置为显示所述检测图像。
[0018]本技术的有益效果：
[0019]本技术提供了一种检测设备，检测光源将检测光发射至物料的待测面上后再形成反射光，成像装置获取反射光并形成检测图像，检测图像中能够以检测光为图像的背景并呈现出物料表面的缺陷，且由于检测光至少完全覆盖照射于物料的待测面上，成像装置所接受到的光线全部来自于待测面上反射而来的检测光，因此不存在环境中的其他光线掺入反射图像中，从而避免了由于环境光被待测面反射至成像装置而造成的反射图像中的图像背景干扰，从而提高了缺陷检测能力。
附图说明
[0020]图1为一种实施例的整体结构示意图；
[0021]图2为一种实施例的整体结构侧视图；
[0022]图3为一种实施例的检测光光路示意图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1、承载件；2、检测光源；3、成像装置；4、机架；5、暗场光源；6、待测面。
具体实施方式
[0025]下面通过具体实施方式结合附图对本技术作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。
[0026]另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一
个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。
[0027]本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。
[0028]请参考图1
‑
3，本技术提供了一种检测设备，包括：承载件1、检测光源2、成像装置3等，其中，承载件1，承载件1被配置为承载物料，物料具有待测面6；检测光源2，检测光源2与承载件1间隔设置，当承载件1上承载有物料时，检测光源2被配置为向物料的待测面6的一侧发射检测光，并形成反射光；成像装置3，成像装置3与承载件1间隔设置，成像装置3设置在反射光的光路上，成像装置3被配置为获取从待测面6上反射的反射光并形成检测图像，其中，成像装置获得的反射光全部由检测光源2发射的检测光形成。
[0029]本申请实施例提供的检测设备，检测光源将检测光发射至物料的待测面上后再形成反射光，成像装置获取反射光并形成检测图像，检测图像中能够以检测光为图像的背景并呈现出物料表面的缺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：承载件(1)，所述承载件(1)被配置为承载物料，所述物料具有待测面(6)；检测光源(2)，所述检测光源(2)与所述承载件(1)间隔设置，当所述承载件(1)上承载有物料时，所述检测光源(2)被配置为向所述物料的待测面(6)的一侧发射检测光，并形成反射光；成像装置(3)，所述成像装置(3)与所述承载件(1)间隔设置，所述成像装置(3)设置在所述反射光的光路上，所述成像装置(3)被配置为获取从所述待测面(6)上反射的反射光并形成检测图像，其中，所述成像装置获得的反射光全部由所述检测光源(2)发射的检测光形成。2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测光源(2)为多光谱LED面阵光源，所述检测光源(2)被配置为发射不同颜色的检测光，所述检测光源(2)包括黄色像素单元、绿色像素单元、蓝色像素单元和白色像素单元中的一种或多种。3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测光源(2)为明场光源，所述检测光至少完全覆盖照射于物料的待测面(6)上。4.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述成像装置(3)为面阵相机。5.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括第一旋转组件，所述第一旋转组件连接于所述承载件(1)，所述承载件(1)上设有固定件，所述固定件被配置为固定物料；所述第一旋转组件被配置为带动所述承载件(1)运动，从而改变所述物料的待测面(6)与水平面之间的角度。6.如权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪艮超，张鹏斌，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：