【技术实现步骤摘要】
本技术涉及承载装置，特别涉及对晶圆量测时的承载。
技术介绍
1、在量测、检测晶圆的过程中，晶圆的重力变形及形态分布都会影响到测量结果，因此合理的晶圆承载结构尤为重要。目前有多种类型晶圆承载结构，适用于不同测量场景。
2、进行中空测量时，即对晶圆的中间区域进行测量时，目前传统的晶圆承载结构是对晶圆的边缘部分进行支撑。对于常规厚度的晶圆，晶圆在晶圆承载结构上不会发生明显变形，对于测量结果影响不大。但是，对于一些减薄晶圆，装载到传统的晶圆承载结构上时，晶圆的中心区域会发生明显变形，进而影响到晶圆的量测结果。
技术实现思路
1、本技术主要解决的技术问题是晶圆进行中空测量时容易出现变形而影响量测结果的问题。
2、第一方面，本技术提供了一种承载装置。
3、一种承载装置，包括：
4、第一框架，所述第一框架的顶部设有第一承载区域，所述第一承载区域用于支撑被承载物的边缘部位；
5、第二框架，所述第二框架设置在所述第一框架围成的中空部分内，所述第二框架的顶部设有用于支撑被承载物的第二承载区域；
6、以及连接体，所述连接体连接于所述第一框架与所述第二框架之间，用于使所述第一框架与所述第二框架保持相对固定；
7、所述第一框架、第二框架和连接体的至少一个上设有避让通道，所述避让通道沿所述承载装置的承载支撑方向贯通，所述承载支撑方向为所述承载装置对被承载物形成支撑的方向。
8、在一种技术方案中，所述连接体上设有中部
9、在一种技术方案中，所述中部承载区域与所述第一承载区域和/或所述第二承载区域连为一体。
10、在一种技术方案中，所述第一承载区域包括第一承载面和第二承载面，所述第一承载面位于所述第二承载面远离所述第二框架的一侧，所述第一承载面的支撑高度小于所述第二承载面。
11、在一种技术方案中，所述第一框架的一侧设有机械手插入口，所述机械手插入口供机械手从承载装置的旁侧插入所述第一框架围成的中空部分内，进而使机械手承托所述被承载物。
12、在一种技术方案中，至少一处所述连接体与所述机械手插入口的延伸方向对应，该至少一处所述连接体上设有机械手避让口，所述机械手避让口供从所述机械手插入口插入的机械手通过。
13、在一种技术方案中，所述第一框架上与所述机械手插入口相对的一侧设有机械手穿出口，所述机械手穿出口供机械手的头端从所述第一框架穿出。
14、在一种技术方案中，所述第一框架包括环形的支撑板和沿所述承载支撑方向凸出设置于所述支撑板的顶面的凸台，所述第一承载区域设置在所述凸台的顶部；所述凸台沿环形的支撑垫的周向具有断点，所述断点形成所述机械手插入口和/或所述机械手穿出口。
15、在一种技术方案中，至少一处所述连接体与所述第一框架的连接处具有过渡部分，所述过渡部分的横截面面积沿连接体向所述第一框架的方向逐渐增大；所述过渡部分上设有所述避让通道。
16、在一种技术方案中，至少一处用于支撑被承载物的承载区域上设有真空沟槽，所述真空沟槽内设有密封胶圈，所述密封胶圈用于接触被承载物的一侧设有凹槽，所述凹槽用于与真空源连通，所述凹槽的口沿用于与被承载物的表面形成密封。
17、在一种技术方案中，还包括定位块，所述定位块分布在所述第一框架的外围，所述定位块的顶面高于所述第一承载面。
18、在一种技术方案中，所述定位块的顶面设有螺纹孔。
19、第二方面，本技术提供了一种量测设备。
20、一种量测设备，包括：
21、承载装置；所述承载装置为上述任一种技术方案所述的承载装置；
22、机械手，所述机械手用于取放所述承载装置上的被承载物；
23、以及检测装置，所述检测装置用于对所述被承载物进行检测。
24、本技术的有益效果：
25、据上述承载装置，通过设置内外分布并依靠连接体连接的第一框架和第二框架，第一框架顶部的第一承载区域和第二框架的顶部的第二承载区域能够分别对被承载物的边缘部分和中部区域进行支撑，从而实现更大的支撑面积，实现被承载物的均匀支撑，避免被承载物出现变形；同时，所述第一框架、第二框架和连接体的至少一个上设有避让通道，能够暴露所述被承载物底面的需暴露部位，不影响对被承载物进行量测，从而有利于保证量测结果的准确性。
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1.一种承载装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述连接体上设有中部承载区域，所述中部承载区域位于所述第一承载区域和所述第二承载区域之间。
3.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述中部承载区域与所述第一承载区域和/或所述第二承载区域连为一体。
4.如权利要求1至3中任一项所述的承载装置，其特征在于，所述第一承载区域包括第一承载面和第二承载面，所述第一承载面位于所述第二承载面远离所述第二框架的一侧，所述第一承载面的支撑高度小于所述第二承载面。
5.如权利要求1至3中任一项所述的承载装置，其特征在于，所述第一框架的一侧设有机械手插入口，所述机械手插入口供机械手从承载装置的旁侧插入所述第一框架围成的中空部分内，进而使机械手承托所述被承载物。
6.如权利要求5所述的承载装置，其特征在于，至少一处所述连接体与所述机械手插入口的延伸方向对应，该至少一处所述连接体上设有机械手避让口，所述机械手避让口供从所述机械手插入口插入的机械手通过。
7.如权利要求6所述的承载装置，其特征在于，
8.如权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述第一框架包括环形的支撑板和沿所述承载支撑方向凸出设置于所述支撑板的顶面的凸台，所述第一承载区域设置在所述凸台的顶部；所述凸台沿环形的支撑垫的周向具有断点，所述断点形成所述机械手插入口和/或所述机械手穿出口。
9.如权利要求1至3中任一项所述的承载装置，其特征在于，至少一处所述连接体与所述第一框架的连接处具有过渡部分，所述过渡部分的横截面面积沿连接体向所述第一框架的方向逐渐增大；所述过渡部分上设有所述避让通道。
10.如权利要求1至3中任一项所述的承载装置，其特征在于，至少一处用于支撑被承载物的承载区域上设有真空沟槽，所述真空沟槽内设有密封胶圈，所述密封胶圈用于接触被承载物的一侧设有凹槽，所述凹槽用于与真空源连通，所述凹槽的口沿用于与被承载物的表面形成密封。
11.如权利要求4所述的承载装置，其特征在于，还包括定位块，所述定位块分布在所述第一框架的外围，所述定位块的顶面高于所述第一承载面。
12.如权利要求11所述的承载装置，其特征在于，所述定位块的顶面设有螺纹孔。
13.一种量测设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种承载装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述连接体上设有中部承载区域，所述中部承载区域位于所述第一承载区域和所述第二承载区域之间。
3.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述中部承载区域与所述第一承载区域和/或所述第二承载区域连为一体。
4.如权利要求1至3中任一项所述的承载装置，其特征在于，所述第一承载区域包括第一承载面和第二承载面，所述第一承载面位于所述第二承载面远离所述第二框架的一侧，所述第一承载面的支撑高度小于所述第二承载面。
5.如权利要求1至3中任一项所述的承载装置，其特征在于，所述第一框架的一侧设有机械手插入口，所述机械手插入口供机械手从承载装置的旁侧插入所述第一框架围成的中空部分内，进而使机械手承托所述被承载物。
6.如权利要求5所述的承载装置，其特征在于，至少一处所述连接体与所述机械手插入口的延伸方向对应，该至少一处所述连接体上设有机械手避让口，所述机械手避让口供从所述机械手插入口插入的机械手通过。
7.如权利要求6所述的承载装置，其特征在于，所述第一框架上与所述机械手插入口相对的一侧设有机械手穿出口，所述机械手穿出口供...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙艺洋，李少雷，曹博，马砚忠，皮林立，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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