可更换式晶圆吸盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种可更换式晶圆吸盘。可更换式晶圆吸盘包括：底座；晶圆吸盘结构，晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接；接触式检测结构，位于底座与晶圆吸盘结构之间，用于检测晶圆吸盘结构的类型。本实用新型专利技术解决了现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。

【技术实现步骤摘要】
可更换式晶圆吸盘


[0001]本技术涉及晶圆测试设备
，具体而言，涉及一种可更换式晶圆吸盘。

技术介绍

[0002]目前，在晶圆加工设备、检测设备等领域都有晶圆吸盘，晶圆吸盘的作用是利用真空将晶圆吸附在其表面上。针对不同类型的晶圆产品，需要用到不同类型的晶圆吸盘进行吸附。例如常规晶圆用普通吸盘，薄晶圆、翘曲晶圆一般就要用微孔吸盘，或者一些电性能测试项目需要耐高压、低噪声吸盘等。
[0003]针对不同类型的晶圆需要不同类型的晶圆吸盘适配，晶圆吸盘的错装会造成晶圆吸附不紧造成晶圆检测出现误差，致使造成检测成本增大，同时晶圆吸盘频繁更换，晶圆吸盘固定安装会造成人力即时间消耗，例如现有技术在组装过程中难以识别晶圆吸盘的类型，容易造成装错的风险，晶圆吸盘通常采用螺钉固定在载台上，装错会重复增加拆卸和安装的工序，进而造成人力、资源的浪费。
[0004]也就是说，现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种可更换式晶圆吸盘，以解决现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题。
[0006]为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种可更换式晶圆吸盘，包括：底座；晶圆吸盘结构，晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接；接触式检测结构，位于底座与晶圆吸盘结构之间，用于检测晶圆吸盘结构的类型。
[0007]进一步地，接触式检测结构包括信号导通部和信息判断部，信号导通部与信息判断部信号连接，信息判断部接收并判断信号导通部的电信号信息，进而识别晶圆吸盘结构的类型。
[0008]进一步地，信号导通部包括接触件和接触端子，接触件和接触端子中的一者设置于晶圆吸盘结构上，接触端子和接触件中的另一者设置于底座上，信息判断部与接触件和接触端子中的一者信号连接。
[0009]进一步地，信号导通部包括设置在晶圆吸盘结构上的接触件和设置在底座上的接触端子，不同的晶圆吸盘结构具有的接触件的个数、大小、位置、结构中的至少之一不同，接触端子包括多个，接触件与对应的接触端子信号连接，以使信息判断部根据接收到的接触件与接触端子的导通信号检测晶圆吸盘结构的类型。
[0010]进一步地，接触件包括相互串联的第一接触件和第二接触件，接触端子的个数为多个且固定，接触端子包括接地的第一接触端子，晶圆吸盘结构与底座连接时，第一接触件和第二接触件中的一者与第一接触端子信号连接，第二接触件和第一接触件中的另一者与另一个接触端子信号连接。
[0011]进一步地，信息判断部包括：I/O结构，I/O结构与信号导通部信号连接，用于接收
信号导通部的导通信号；控制结构，与I/O结构信号连接，接收I/O结构传输的导通信号，并根据导通信号识别晶圆吸盘结构(10)的类型。
[0012]进一步地，可更换式晶圆吸盘还包括卡接结构，卡接结构为一个或多个，当卡接结构为多个时，多个卡接结构绕底座的周向间隔设置；和/或卡接结构包括卡接件和卡接槽，卡接件和卡接槽中的一个设置在底座上，卡接件和卡接槽中的另一个设置在晶圆吸盘结构上。
[0013]进一步地，底座具有容纳槽，晶圆吸盘结构的至少一部分位于容纳槽内，卡接结构包括：卡接槽，设置在晶圆吸盘结构的侧壁上，且在晶圆吸盘结构与底座装配时，卡接槽位于容纳槽内；卡接件，用于运动地穿设在底座的侧壁上，卡接件的卡接端伸入容纳槽内与卡接槽卡接。
[0014]进一步地，可更换式晶圆吸盘还包括调节螺柱，调节螺柱的至少一部分经容纳槽的底部伸入容纳槽内，且与晶圆吸盘结构的底部相抵接；和/或底座包括彼此连接大径段和小径段，大径段具有容纳槽，小径段在大径段上的投影避让调节螺柱。
[0015]进一步地，调节螺柱与卡接件之间呈角度设置。
[0016]应用本技术的技术方案，可更换式晶圆吸盘包括底座、晶圆吸盘结构和接触式检测结构，晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接；接触式检测结构位于底座与晶圆吸盘结构之间，接触式检测结构用于检测晶圆吸盘结构的类型。
[0017]通过设置接触式检测结构，使得可通过接触式检测结构检测晶圆吸盘结构的类型，从而判断晶圆吸盘结构是否为需要的类型，然后通过晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接，使得当接触式检测结构识别晶圆吸盘结构的类型不是所需的类型时，操作人员可手动将晶圆吸盘结构拆卸下来，然后将需要的晶圆吸盘结构安装在底座上，以实现晶圆吸盘结构的灵活且快速的更换，增加了更换效率。本申请通过设置接触式检测结构，使得本申请的可更换式晶圆吸盘能够识别底座上的晶圆吸盘结构类型，从而匹配待吸附晶圆的类型，保证了可更换式晶圆吸盘的使用可靠性，同时可根据待吸附晶圆的类型，快速的更换适配的晶圆吸盘结构，以使得本申请的可更换式晶圆吸盘能够选择性地安装多种晶圆吸盘结构，进而保证本申请的可更换式晶圆吸盘能够适配多种晶圆，增加了应用范围，保证了通用性，另外本申请可实现多种晶圆的吸附工作，只需更换晶圆吸盘结构即可，避免了设置多个载体的情况，节省了部件，节约成本。
附图说明
[0018]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0019]图1示出了本技术的一个可选实施例的可更换式晶圆吸盘的结构示意图；
[0020]图2示出了图1中的卡接结构和调节螺柱的装配示意图；
[0021]图3示出了本技术的晶圆吸盘结构与底座的装配示意图；
[0022]图4示出了本技术的可更换式晶圆吸盘的接触式检测结构的示意图；
[0023]图5示出了本技术的可更换式晶圆吸盘的接触式检测结构的另一个示意图；
[0024]图6示出了本技术的可更换式晶圆吸盘的接触式检测结构的电路原理示意
图。
[0025]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0026]10、晶圆吸盘结构；20、底座；21、容纳槽；30、接触式检测结构；31、接触件；32、接触端子；40、卡接件；41、旋钮端；50、卡接槽；60、调节螺柱。
具体实施方式
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0028]需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0029]在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。
[0030]为了解决现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的问题，本技术提供了一种可更换式晶圆吸盘。
[0031]如图1至图6所示，可更换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可更换式晶圆吸盘，其特征在于，包括：底座(20)；晶圆吸盘结构(10)，所述晶圆吸盘结构(10)与所述底座(20)可拆卸地连接；接触式检测结构(30)，位于所述底座(20)与所述晶圆吸盘结构(10)之间，用于检测所述晶圆吸盘结构(10)的类型。2.根据权利要求1所述的可更换式晶圆吸盘，其特征在于，所述接触式检测结构(30)包括信号导通部和信息判断部，所述信号导通部与所述信息判断部信号连接，所述信息判断部接收并判断所述信号导通部的电信号信息，进而识别所述晶圆吸盘结构(10)的类型。3.根据权利要求2所述的可更换式晶圆吸盘，其特征在于，所述信号导通部包括接触件(31)和接触端子(32)，所述接触件(31)和所述接触端子(32)中的一者设置于所述晶圆吸盘结构(10)上，所述接触端子(32)和所述接触件(31)中的另一者设置于所述底座(20)上，所述信息判断部与所述接触件(31)和所述接触端子(32)中的一者信号连接。4.根据权利要求2所述的可更换式晶圆吸盘，其特征在于，所述信号导通部包括设置在所述晶圆吸盘结构(10)上的接触件(31)和设置在所述底座(20)上的接触端子(32)，不同的所述晶圆吸盘结构(10)具有的所述接触件(31)的个数、大小、位置、结构中的至少之一不同，所述接触端子(32)包括多个，所述接触件(31)与对应的所述接触端子(32)信号连接，以使所述信息判断部根据接收到的所述接触件(31)与所述接触端子(32)的导通信号检测所述晶圆吸盘结构(10)的类型。5.根据权利要求3所述的可更换式晶圆吸盘，其特征在于，所述接触件(31)包括相互串联的第一接触件和第二接触件，所述接触端子(32)的个数为多个且固定，所述接触端子(32)包括接地的第一接触端子，所述晶圆吸盘结构(10)与所述底座(20)连接时，所述第一接触件和所述第二接触件中的一者与所述第一接触端子信号连接，所述第二接触件和所述第一接触件中的另一者与另一个接触端子信...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈夏薇，陈思乡，杜振东，姚建强，雷洪翔，陈智杰，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：