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本实用新型提供了一种可更换式晶圆吸盘。可更换式晶圆吸盘包括：底座；晶圆吸盘结构，晶圆吸盘结构与底座可拆卸地连接；接触式检测结构，位于底座与晶圆吸盘结构之间，用于检测晶圆吸盘结构的类型。本实用新型解决了现有技术中的晶圆吸盘存在晶圆吸盘识别难的...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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