一种载台机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种载台机构，包括：基台；吸附件，设置在基台上以吸附产品；旋转组件，用以带动基台进行旋转调节；顶升组件，用以带动旋转组件进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件带动旋转组件上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件带动旋转组件下降至换料位。本实用新型专利技术提供的载台机构通过吸附件进行产品的吸附，由顶升组件进行升降调节，由旋转组件进行旋转调节，由平衡调节组件进行顶升组件的平衡调节，保证顶升组件的升降的稳定性，调节精度高；在换料组件的辅助下，载台机构换料便捷，换料精度高；在旋转组件上的位移感应组件的感应下，旋转平台调节位置精度高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种载台机构


[0001]本技术涉及晶圆测试
更具体地，涉及一种载台机构及检测设备。

技术介绍

[0002]在进行晶圆半导体产品进行生产时，晶圆测试是半导体芯片生产过程中的一个重要环节，当前，在测试时，晶圆一般吸附在载台上由检测机构进行检测，晶圆放置平稳，但在检测换料过程中，晶圆的摆放位置与检测机构需要进行升降移动，且晶圆的摆放位置也存在一定的偏差，此时需要升降组件和旋转组件来调节晶圆的位置，使晶圆上的检测区域检测机构对应。现有技术一般在载台下方直接设置旋转轴，以单独的模组进行升降，升降不平稳，占用空间大，旋转驱动机构直接连接旋转轴以驱动载台旋转，这种结构可能导致载台调节时发生倾斜，因此，需设计一种升降便捷、升降稳固和旋转调节精度高的载台机构。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本技术的至少一个目的在于提供一种载台机构，提高了晶圆的换料检测效率，自动化程度高，晶圆产品升降调节稳固，旋转调节精准，检测效果好。
[0004]为达到上述目的，本技术采用下述技术方案：
[0005]本技术的第一个实施例提供一种载台机构，所述载台机构包括：
[0006]基台；
[0007]吸附件，设置在基台上以吸附产品；
[0008]旋转组件，用以带动基台进行旋转调节；
[0009]顶升组件，用以带动旋转组件进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件带动旋转组件上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件带动旋转组件下降至换料位；
[0010]所述顶升组件包括机架、升降驱动、导向件，所述升降驱动设置在机架上，所述旋转组件连接在升降驱动上，所述旋转组件通过导向件滑动连接在机架上。
[0011]优选地，所述载台机构还包括平衡调节组件，所述平衡调节组件包括缓冲驱动，所述缓冲驱动通过转接件连接在旋转组件上，以便在旋转组件上升或下降时为旋转组件提供平衡支撑。
[0012]优选地，所述载台机构还包括换料组件，所述换料组件包括支块，所述支块上连接有放置块，所述换料组件用以对产品在换料时进行承载。
[0013]优选地，所述放置块上设置有台阶。
[0014]优选地，所述吸附件为吸盘，所述吸附件上设置有若干吸附孔，所述吸附件嵌入设置在基台上。
[0015]优选地，所述旋转组件包括旋转支座，所述旋转支座内设置有转台，所述转台的下端连接有下止推板，所述下止推板的下端连接有旋转驱动，所述转台的上端连接有上止推板，所述基台设置在上止推板上。
[0016]优选地，所述转台内设置有空心轴，所述空心轴的上端连接有旋转接头，所述旋转接头穿过基台与吸附件相通，所述空心轴用于连通气源与旋转接头相通。
[0017]优选地，所述转台上还设置有与外部相通的进气嘴，所述进气嘴用以对转台在旋转时提供气体压力。
[0018]优选地，所述旋转组件还包括位移感应组件，所述位移感应组件用以调节基台的旋转角度。
[0019]优选地，所述位移感应组件包括光栅尺和感应器，所述光栅尺设置在上止推板的下侧，所述感应器设置在旋转支座上且与光栅尺相对应。
[0020]本技术的有益效果如下：
[0021]本技术提供的载台机构通过吸附件进行产品的吸附，由顶升组件进行升降调节，由旋转组件进行旋转调节，由平衡调节组件进行顶升组件的平衡调节，保证顶升组件的升降的稳定性，保证顶升组件及旋转组件不发生倾斜，调节精度高；在换料组件的辅助下，载台机构换料便捷，换料精度高；在旋转组件上的位移感应组件的感应下，旋转平台调节位置精准，产品测试效果好，产品测试效率高，自动化检测程度高。
附图说明
[0022]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0023]图1示出本技术所提供载台机构的结构示意图。
[0024]图2示出本技术所提供载台机构的俯视图。
[0025]图3为图2中A
‑
A处剖面结构示意图。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0027]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0029]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限
制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0030]本实施例提供的载台机构提供顶升组件、旋转组件和吸附组件共同对产品进行调节，由平衡调节组件进行顶升组件的平衡调节，保证顶升组件的升降的稳定性，保证顶升组件及旋转组件不发生倾斜，调节精度高；解决现有技术的晶圆载台升降不平稳、占用空间大和载台机构调节时易发生倾斜的问题。
[0031]结合图1所示，本实施例提供种用于产品测试的载台机构，所述载台机构包括：
[0032]基台1；
[0033]吸附件2，设置在基台1上以吸附产品；
[0034]旋转组件3，用以带动基台1进行旋转调节；
[0035]顶升组件4，用以带动旋转组件3进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件4带动旋转组件3上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件4带动旋转组件3下降至换料位；
[0036]所述顶升组件4包括机架41、升降驱动42、导向件43，所述升降驱动42设置在机架41上，所述旋转组件3连接在升降驱动42上，所述旋转组件3通过导向件43滑动连接在机架41上。
[0037]本技术提供的载台机构，产品置于基台1上的吸附件2进行吸附，由顶升组件4带动升降，调节至与检测机构对应的位置，旋转组件3对吸附的产品进行旋转调节，调节产品的检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载台机构，其特征在于，所述载台机构包括：基台（1）；吸附件（2），设置在基台（1）上以吸附产品；旋转组件（3），用以带动基台（1）进行旋转调节；顶升组件（4），用以带动旋转组件（3）进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件（4）带动旋转组件（3）上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件（4）带动旋转组件（3）下降至换料位；所述顶升组件（4）包括机架（41）、升降驱动（42）、导向件（43），所述升降驱动（42）设置在机架（41）上，所述旋转组件（3）连接在升降驱动（42）上，所述旋转组件（3）通过导向件（43）滑动连接在机架（41）上。2.根据权利要求1所述的载台机构，其特征在于，所述载台机构还包括平衡调节组件（5），所述平衡调节组件（5）包括缓冲驱动（51），所述缓冲驱动（51）通过转接件（52）连接在旋转组件（3）上，以便在旋转组件（3）上升或下降时为旋转组件（3）提供平衡支撑。3.根据权利要求2所述的载台机构，其特征在于，所述载台机构还包括换料组件（6），所述换料组件（6）包括支块（61），所述支块（61）上连接有放置块（62），所述换料组件（6）用以对产品在换料时进行承载。4.根据权利要求3所述的载台机构，其特征在于，所述放置块（62）上设置有台阶。5.根据权利要求1所述的载台机构，其特征在于，所述吸附件（2）为吸盘，...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛锋伟，潘铁伟，黄龙，史赛，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：