一种重型双面研磨机制造技术

公开一种重型双面研磨机，第一电机(1)驱动下盘装置绕中心转动，第二电机(4)驱动柱销太阳轮(8)绕中心转动；外柱销(11)等距均布在外齿圈(12)上，且外柱销(11)始终保持静止不动；内柱销(9)等距均布在太阳轮(8)上，游行轮(10)上的齿始终保持与内柱销以及外柱销啮合，通过内柱销(9)带动游行轮(10)绕中心做行星运动；第三电机(16)通过主轴(14)驱动上盘装置Ⅲ转动；第二气缸(22)通过伸缩带动旋转定位座(23)旋转，从而实现将整个上盘装置Ⅲ转动，当上盘装置Ⅲ转动到与下盘装置Ⅱ同心位置时，第一气缸(21)驱动限位块(18)卡住定位座(24)从而使上盘装置Ⅲ工作时保持固定。工作时保持固定。工作时保持固定。

【技术实现步骤摘要】
一种重型双面研磨机


[0001]本技术涉及高精密机械设备的
，尤其涉及一种重型双面研磨机。

技术介绍

[0002]研磨是超精密加工中一种重要加工方法，其优点是加工精度高，加工材料范围广，主要适用于石英晶片、光学晶体、玻璃、硅片、蓝宝石减薄、半导体、铌酸锂、硬质合金、陶瓷片等薄脆金属或非金属的双面磨削、研磨和抛光。但传统的研磨机上盘装置多为固定不可旋转，而且靠气缸施加压力进行研磨，不能有效地控制好研磨压力，进而影响研磨质量，这使得传统研磨机的应用受到了一定限制。

技术实现思路

[0003]为克服现有技术的缺陷，本技术要解决的技术问题是提供了一种 MAXXMILL系统重型双面研磨机，主要部件的模块化设计、最新的精密控制系统、驱动系统和测量技术提供了工艺的可靠性，其能够实现精度要求高的双面研磨，并且上盘装置可以转动。
[0004]本技术的技术方案是：这种重型双面研磨机，其包括机架Ⅰ、下盘装置Ⅱ、上盘装置Ⅲ、旋转机构Ⅳ、机架
Ⅴ
、杠杆臂(
Ⅵ
)；
[0005]第一电机1驱动下盘装置绕中心转动，第二电机4驱动柱销太阳轮8 绕中心转动；外柱销11等距均布在外齿圈12上，且外柱销11始终保持静止不动；内柱销9等距均布在太阳轮8上，游行轮10上的齿始终保持与内柱销9以及外柱销11啮合，通过内柱销9带动游行轮 10绕中心做行星运动；
[0006]第三电机16通过主轴14驱动上盘装置Ⅲ转动；
[0007]第二气缸22通过伸缩带动旋转定位座23旋转，从而实现将整个上盘装置Ⅲ转动，当上盘装置Ⅲ转动到与下盘装置Ⅱ同心位置时，第一气缸21驱动限位块18卡住定位座24从而使上盘装置Ⅲ工作时保持固定。
[0008]本技术通过电机驱动下盘装置绕中心转动，电机驱动柱销太阳轮绕中心转动；外柱销等距均布在外齿圈上，且外柱销始终保持静止不动；内柱销等距均布在太阳轮上，游行轮上的齿始终保持与内柱销以及外柱销啮合，通过内柱销带动游行轮绕中心做行星运动，电机通过主轴驱动上盘装置转动；气缸通过伸缩带动旋转定位座旋转，从而实现将整个上盘装置转动，当上盘装置转动到与下盘装置同心位置时，气缸驱动限位块卡住定位座从而使上盘装置工作时保持固定实现自动更换工位；因此能够实现精度要求高的双面研磨，并且上盘装置可以转动。
附图说明
[0009]图1是根据本技术的重型双面研磨机的主视图。
[0010]图2是根据本技术重型双面研磨机的下盘装置部分45
°
轴视图。
[0011]图3是根据本技术重型双面研磨机的行星轮部分45
°
轴视图。
[0012]图4是根据本技术重型双面研磨机的上盘装置的主视图。
[0013]图5是根据本技术重型双面研磨机的旋转装置45
°
轴视图。
[0014]图6是根据本技术重型双面研磨机的杠杆臂主视图。
[0015]图7是根据本技术重型双面研磨机的旋转主轴剖视图。
具体实施方式
[0016]如图1
‑
4所示，这种重型双面研磨机，其包括机架Ⅰ、下盘装置Ⅱ(在图2中标号7)、上盘装置Ⅲ(在图4中标号13)、旋转机构Ⅳ、机架
Ⅴ
、杠杆臂
Ⅵ
；
[0017]第一电机1驱动下盘装置绕中心转动，第二电机4驱动柱销太阳轮8 绕中心转动；外柱销11等距均布在外齿圈12上，且外柱销11始终保持静止不动；内柱销9等距均布在太阳轮8上，游行轮10上的齿始终保持与内柱销9以及外柱销11啮合，通过内柱销9带动游行轮 10绕中心做行星运动；
[0018]第三电机16通过主轴14驱动上盘装置Ⅲ转动；
[0019]第二气缸22通过伸缩带动旋转定位座23旋转，从而实现将整个上盘装置Ⅲ转动，当上盘装置Ⅲ转动到与下盘装置Ⅱ同心位置时，第一气缸21驱动限位块18卡住定位座24从而使上盘装置Ⅲ工作时保持固定。
[0020]本技术通过电机驱动下盘装置绕中心转动，电机驱动柱销太阳轮绕中心转动；外柱销等距均布在外齿圈上，且外柱销始终保持静止不动；内柱销等距均布在太阳轮上，游行轮上的齿始终保持与内柱销以及外柱销啮合，通过内柱销带动游行轮绕中心做行星运动，电机通过主轴驱动上盘装置转动；气缸通过伸缩带动旋转定位座旋转，从而实现将整个上盘装置转动，当上盘装置转动到与下盘装置同心位置时，气缸驱动限位块卡住定位座从而使上盘装置工作时保持固定实现自动更换工位；因此能够实现精度要求高的双面研磨，并且上盘装置可以转动。
[0021]优选地，气囊25通过吸气与放气从而驱动杠杆臂26绕杠杆轴30转动，杠杆臂26通过轴承15带动主轴14升降，从而实现上盘装置的整体升降，同时气囊25中间还安装有压力传感器34，通过压力传感器34的反馈精确控制杠杆臂26对上盘装置的下压压力。因此，该重型双面研磨机的上盘装置研磨时，能通过压力传感器实时精确的控制好研磨的压力点，从而大大提高研磨质量与效率。
[0022]优选地，上横梁31通过第一交叉滚针轴承32与第二交叉滚针轴承35 柔性固定在旋转主轴33上。
[0023]优选地，第一电机1驱动第一同步带轮2转动，第一同步带轮2通过第一同步带3驱动下盘装置绕中心转动。
[0024]优选地，第二电机4驱动第二同步带轮6转动，第二同步带轮6通过第二同步带5驱动柱销太阳轮8绕中心自转。
[0025]还提供了一种重型双面研磨机的工作方法，其包括以下步骤：
[0026](I)人工将待研磨产品放入游行轮10中，电机4驱动柱销太阳轮8 绕中心自转，柱销太阳轮8带动游行轮10绕中心做行星运动；
[0027](II)电机1驱动下盘装置绕中心转动；
[0028](III)电机15通过主轴14驱动上盘装置转动；
[0029](IV)通过杠杆臂26对上盘装置施加压力，使得上盘装置与下盘装置将待加工件紧紧的压在二者之间，同时通过上盘装置、下盘装置与游行轮10之间产生的相对运动来实现对待加工件的研磨，
[0030]如此往复循环。
[0031]本技术的有益效果如下：
[0032]更换待加工件时上盘装置可以移动，并且实时精确的控制好研磨的压力点，从而大大提高研磨质量与效率。
[0033]以上所述，仅是本技术的较佳实施例，并非对本技术作任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属本技术技术方案的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种重型双面研磨机，其特征在于：其包括机架(Ⅰ)、下盘装置Ⅱ、上盘装置Ⅲ、旋转机构(Ⅳ)、机架(
Ⅴ
)、杠杆臂(
Ⅵ
)；第一电机(1)驱动下盘装置绕中心转动，第二电机(4)驱动柱销太阳轮(8)绕中心转动；外柱销(11)等距均布在外齿圈(12)上，且外柱销(11)始终保持静止不动；内柱销(9)等距均布在太阳轮(8)上，游行轮(10)上的齿始终保持与内柱销(9)以及外柱销(11)啮合，通过内柱销(9)带动游行轮(10)绕中心做行星运动；第三电机(16)通过主轴(14)驱动上盘装置Ⅲ转动；第二气缸(22)通过伸缩带动旋转定位座(23)旋转，从而实现将整个上盘装置Ⅲ转动，当上盘装置Ⅲ转动到与下盘装置Ⅱ同心位置时，第一气缸(21)驱动限位块(18)卡住定位座(24)从而使上盘装置Ⅲ工作时保持固定。2.根据权利要求1所述的重...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭胜安，雷立猛，柳茂，
申请(专利权)人：湖南金岭机床股份有限公司，
类型：新型
国别省市：