【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片截面打磨用研磨机
[0001]本技术涉及研磨机
，尤其涉及一种单晶硅片截面打磨用研磨机。
技术介绍
[0002]在单晶硅片的加工过程中，需要对切片后的单晶硅片进行研磨处理，保证单晶硅片表面足够光滑，从而便于进行后续加工。而在单晶硅片的打磨过程中，需要在单晶硅片的两面采用不同的电机通过研磨盘反向转动进行，而在打磨过程中若是两侧的磨盘转动时一侧电机传动出现误差，导致一侧磨盘有延迟，会影响单晶硅片的研磨质量。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中在打磨过程中若是两侧的磨盘转动时一侧电机传动出现误差，导致一侧磨盘有延迟，会影响单晶硅片的研磨质量的问题，而提出的一种单晶硅片截面打磨用研磨机。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有支座，所述工作台的顶端固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆端部转动连接有连接块，所述工作台的顶端内壁固定连接有电...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的底部固定连接有支座(2)，所述工作台(1)的顶端固定连接有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的顶端固定连接有气缸(4)，所述气缸(4)的活塞杆端部转动连接有连接块(5)，所述工作台(1)的顶端内壁固定连接有电机(6)，所述电机(6)的输出轴固定连接有第一连接板(7)，所述第一连接板(7)的顶端固定连接有第一研磨盘(8)，所述连接块(5)的底部固定连接有第二连接板(9)，所述第二连接板(9)的底部固定连接有第二研磨盘(10)，所述工作台(1)位于第一连接板(7)的左侧转动连接有转杆(12)，所述转杆(12)的杆壁上固定套接有第一齿轮(14)，所述第一连接板(7)的侧壁上环绕设有多个第一齿牙(13)，所述第一齿牙(13)与第一齿轮(14)相互啮合设置。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述第一连接板(7)的外侧套设有护套(11)，所述第一研磨盘(8)和第二研磨盘(10)的侧壁分别滑动设置在护套(11)的内壁，所述护套(11)的底端侧壁开设有开口。3....
【专利技术属性】
技术研发人员：朱黎，
申请(专利权)人：嘉兴富瑞特精密机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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