一种单晶硅片截面打磨用研磨机制造技术

本实用新型专利技术涉及研磨机技术领域，且公开了一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有支座，所述工作台的顶端固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆端部转动连接有连接块，所述工作台的顶端内壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一连接板，所述第一连接板的顶端固定连接有第一研磨盘，所述连接块的底部固定连接有第二连接板，所述第二连接板的底部固定连接有第二研磨盘，所述工作台位于第一连接板的左侧转动连接有转杆。本实用新型专利技术可以保证单晶硅片两侧磨盘的转动同步性，提高研磨机的研磨质量，保证单晶硅片的加工效果。的加工效果。的加工效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片截面打磨用研磨机


[0001]本技术涉及研磨机
，尤其涉及一种单晶硅片截面打磨用研磨机。

技术介绍

[0002]在单晶硅片的加工过程中，需要对切片后的单晶硅片进行研磨处理，保证单晶硅片表面足够光滑，从而便于进行后续加工。而在单晶硅片的打磨过程中，需要在单晶硅片的两面采用不同的电机通过研磨盘反向转动进行，而在打磨过程中若是两侧的磨盘转动时一侧电机传动出现误差，导致一侧磨盘有延迟，会影响单晶硅片的研磨质量。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中在打磨过程中若是两侧的磨盘转动时一侧电机传动出现误差，导致一侧磨盘有延迟，会影响单晶硅片的研磨质量的问题，而提出的一种单晶硅片截面打磨用研磨机。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台，所述工作台的底部固定连接有支座，所述工作台的顶端固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆端部转动连接有连接块，所述工作台的顶端内壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一连接板，所述第一连接板的顶端固定连接有第一研磨盘，所述连接块的底部固定连接有第二连接板，所述第二连接板的底部固定连接有第二研磨盘，所述工作台位于第一连接板的左侧转动连接有转杆，所述转杆的杆壁上固定套接有第一齿轮，所述第一连接板的侧壁上环绕设有多个第一齿牙，所述第一齿牙与第一齿轮相互啮合设置。
[0006]优选的，所述第一连接板的外侧套设有护套，所述第一研磨盘和第二研磨盘的侧壁分别滑动设置在护套的内壁，所述护套的底端侧壁开设有开口。
[0007]优选的，所述工作台位于转杆左侧的内壁转动连接有传动杆，所述传动杆的杆壁上固定套接有第二齿轮，所述传动杆的杆壁上固定套接有套筒，所述套筒的筒壁上环绕设有多个条状齿，所述第二连接板的侧壁上环绕设有多个第二齿牙，所述条状齿与第二齿牙相互啮合设置。
[0008]优选的，所述第一连接板的顶端内壁滚动设有多个滚珠，所述护套位于第一连接板上方的内壁开设有环形槽，所述滚珠滚动设置在环形槽的内壁。
[0009]优选的，所述支撑柱的侧壁上固定连接有加强支撑板，所述加强支撑板背离支撑柱的一侧设置为斜面。
[0010]优选的，所述护套位于第一研磨盘上方的内壁开始有环形储灰槽，所述环形储灰槽的横截面设置为矩形。
[0011]与现有技术相比，本技术提供了一种单晶硅片截面打磨用研磨机，具备以下有益效果：
[0012]1、该单晶硅片截面打磨用研磨机，通过第一连接板和第一齿牙转动拨动第一齿轮
和转杆转动，第一齿轮与第二齿轮啮合带动第二齿轮和传动杆转动，使得套筒和条状齿转动，可以拨动第二齿牙和第二连接板转动，使得第一研磨盘和第二研磨盘可以反向转动，可以对单晶硅片进行稳定的研磨处理。
[0013]2、该单晶硅片截面打磨用研磨机，通过气缸的活塞杆移动可以带动连接块、第二连接板和第二研磨盘下降，使第二研磨盘可以延伸至护套的内部并与第一研磨盘压紧设置，可以提高单晶硅片在研磨时的稳定性。
[0014]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术可以保证单晶硅片两侧磨盘的转动同步性，提高研磨机的研磨质量，保证单晶硅片的加工效果。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种单晶硅片截面打磨用研磨机的结构示意图；
[0016]图2为图1中局部A部分的结构放大示意图。
[0017]图中：1工作台、2支座、3支撑柱、4气缸、5连接块、6电机、7第一连接板、8第一研磨盘、9第二连接板、10第二研磨盘、11护套、12转杆、13第一齿牙、14第一齿轮、15传动杆、16第二齿轮、17套筒、18条状齿、19第二齿牙、20支撑板、21滚珠。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0020]参照图1
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2，一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台1，工作台1的底部固定连接有支座2，工作台1的顶端固定连接有支撑柱3，支撑柱3的顶端固定连接有气缸4，气缸4的活塞杆端部转动连接有连接块5，工作台1的顶端内壁固定连接有电机6，电机6的输出轴固定连接有第一连接板7，第一连接板7的顶端固定连接有第一研磨盘8，连接块5的底部固定连接有第二连接板9，第二连接板9的底部固定连接有第二研磨盘10，工作台1位于第一连接板7的左侧转动连接有转杆12，转杆12的杆壁上固定套接有第一齿轮14，第一连接板7的侧壁上环绕设有多个第一齿牙13，第一齿牙13与第一齿轮14相互啮合设置，第一连接板7的外侧套设有护套11，第一研磨盘8和第二研磨盘10的侧壁分别滑动设置在护套11的内壁，护套11的底端侧壁开设有开口，第一连接板7的顶端内壁滚动设有多个滚珠21，护套11位于第一连接板7上方的内壁开设有环形槽，滚珠21滚动设置在环形槽的内壁，护套11位于第一研磨盘8上方的内壁开始有环形储灰槽，环形储灰槽的横截面设置为矩形，支撑柱3的侧壁上固定连接有加强支撑板20，加强支撑板20背离支撑柱3的一侧设置为斜面。
[0021]工作台1位于转杆12左侧的内壁转动连接有传动杆15，传动杆15的杆壁上固定套接有第二齿轮16，传动杆15的杆壁上固定套接有套筒17，套筒17的筒壁上环绕设有多个条
状齿18，第二连接板9的侧壁上环绕设有多个第二齿牙19，条状齿18与第二齿牙19相互啮合设置。
[0022]本技术中，使用时，通过气缸4的活塞杆移动可以带动连接块5、第二连接板9和第二研磨盘10下降，使第二研磨盘10可以延伸至护套11的内部并与第一研磨盘8压紧设置，可以提高单晶硅片在研磨时的稳定性，通过电机6的输出轴转动可以带动第一连接板7转动，第一连接板7侧壁上的第一齿牙13跟随第一连接板7并拨动第一齿轮14转动可以带动转杆12转动，第一齿轮14与第二齿轮16啮合带动第二齿轮16和传动杆15转动，使得套筒17和条状齿18转动，从而可以拨动第二齿牙19和第二连接板9转动。使得第一研磨盘8和第二研磨盘10可以反向转动，从而可以对单晶硅片进行稳定的研磨处理，通过滚珠21沿护套11的内部滚动，可以使第一连接板7稳定的转动。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片截面打磨用研磨机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的底部固定连接有支座(2)，所述工作台(1)的顶端固定连接有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的顶端固定连接有气缸(4)，所述气缸(4)的活塞杆端部转动连接有连接块(5)，所述工作台(1)的顶端内壁固定连接有电机(6)，所述电机(6)的输出轴固定连接有第一连接板(7)，所述第一连接板(7)的顶端固定连接有第一研磨盘(8)，所述连接块(5)的底部固定连接有第二连接板(9)，所述第二连接板(9)的底部固定连接有第二研磨盘(10)，所述工作台(1)位于第一连接板(7)的左侧转动连接有转杆(12)，所述转杆(12)的杆壁上固定套接有第一齿轮(14)，所述第一连接板(7)的侧壁上环绕设有多个第一齿牙(13)，所述第一齿牙(13)与第一齿轮(14)相互啮合设置。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片截面打磨用研磨机，其特征在于：所述第一连接板(7)的外侧套设有护套(11)，所述第一研磨盘(8)和第二研磨盘(10)的侧壁分别滑动设置在护套(11)的内壁，所述护套(11)的底端侧壁开设有开口。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：朱黎，
申请(专利权)人：嘉兴富瑞特精密机电有限公司，
类型：新型
国别省市：