一种拼接式喷射管制造技术

一种拼接式喷射管，包括L型硅管、转接硅管和尾硅管，所述L型硅管的一端部设有沿轴向设置的接头，所述转接硅管的一端设有沿轴向开设的插孔且另一端设有沿轴向设置的接头；所述尾硅管的一端部设有沿轴向开设的插孔，所述转接硅管的插孔可拆卸连接至所述L型硅管的接头，所述转接硅管的接头可拆卸连接至所述尾硅管的插孔，所述L型硅管、转接硅管和尾硅管均设有沿轴向设置的导气孔，所述L型硅管、转接硅管和尾硅管的导气孔依次导通。上述方案使得L型硅管、转接硅管和尾硅管能够各自独立加工导气孔，缩短了所需的钻孔深度，有效提升了导气孔的加工精度。的加工精度。的加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种拼接式喷射管


[0001]本技术涉及气体喷射管的
，具体涉及一种拼接式喷射管。

技术介绍

[0002]硅片热处理是半导体或集成电路加工过程中一个重要的步骤，热处理的效果好坏直接关系到硅片的最终性能。硅片热处理包含氧化、扩散、退火等工序，在热处理时，半导体硅片需要放置在炉体内，而这时候就需要一种用于往炉体内送气的管道，这种管道在业内被称作喷射管。喷射管作为将工艺气体导入炉腔内的关键性零部件，直接影响硅片的热处理效果。
[0003]喷射管大多先由硅材料一体化成型至棒状的胚体，随后再通过钻头进行钻孔，使得胚体的中心形成轴向的导气孔。喷射管用于插入炉体的那端一般为L形，这就导致喷射管内需要加工两个相互垂直的导气孔。然而，由于喷射管的尺寸往往较长，钻孔往往较深，这就导致加工出的导气孔的垂直度和加工均匀性较差，影响送气效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是解决现有技术中的喷射管在加工时，由于钻孔较深使得导气孔的加工精度无法保证，进而影响送气效果的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术提供一种拼接式喷射管，包括L型硅管、转接硅管和尾硅管，所述L型硅管的一端部设有沿轴向设置的接头，所述转接硅管的一端设有沿轴向开设的插孔且另一端设有沿轴向设置的接头；所述尾硅管的一端部设有沿轴向开设的插孔，所述转接硅管的插孔可拆卸连接至所述L型硅管的接头，所述转接硅管的接头可拆卸连接至所述尾硅管的插孔，所述L型硅管、转接硅管和尾硅管均设有沿轴向设置的导气孔，所述L型硅管、转接硅管和尾硅管的导气孔依次导通。
[0006]上述方案通过将喷射管分为三段，其中L型硅管用于伸入炉体内实现送气，尾硅管则用于连通至气源实现进气，而转接硅管则在L型硅管导气和尾硅管之间实现导气，从而使得L型硅管、转接硅管和尾硅管能够各自独立加工导气孔，缩短了所需的钻孔深度，有效提升了导气孔的加工精度；同时由于螺接头和螺接孔的设置，使得L型硅管、转接硅管和尾硅管之间的组装高效便捷，无需消耗大量的电能熔接，节省成本，解决了现有技术中的一体式喷射管大深径比钻孔的难题，保证了导气孔的加工精度和加工均匀性，且由于螺接头能够插接至螺接孔的内部，密封性好，避免了漏气问题。
[0007]作为优选的，所述L型硅管的接头的外径小于所述L型硅管的外径，所述转接硅管的接头的外径小于所述转接硅管的外径，所述转接硅管的插孔的孔径与所述L型硅管的接头的外径相同，所述尾硅管的插孔的孔径与所述转接硅管的接头的外径相同，从而使得L型硅管的接头与转接硅管的插孔、转接硅管的接头和尾硅管的插孔之间均能稳固配合，密封性好。
[0008]作为优选的，所述L型硅管的接头和转接硅管的接头均设有外螺纹，所述转接硅管
的插孔和尾硅管的插孔均设有内螺纹，以使得所述L型硅管、转接硅管和尾硅管依次螺接，装配简单方便。
[0009]作为优选的，所述L型硅管的导气孔朝向转接硅管的一端设有第一凸环，所述转接硅管的导气孔朝向尾硅管的一端设有第二凸环，从而当气体由L型硅管流向转接硅管时，第一凸环的存在将对气流起到导流作用，避免气体从L型硅管和转接硅管之间的缝隙流出；同理第二凸环的存在能避免气体从转接硅管和尾硅管之间的缝隙流出。
附图说明
[0010]图1为一种拼接式喷射管的轴测示意图；
[0011]图2为一种拼接式喷射管的横截面的剖视示意图；
[0012]图3为一种拼接式喷射管的L型硅管的横截面示意图；
[0013]图4为一种拼接式喷射管的转接硅管的横截面示意图；
[0014]图5为一种拼接式喷射管的另一实施例的L型硅管的横截面示意图；
[0015]图6为一种拼接式喷射管的另一实施例的转接硅管的横截面示意图。
[0016]附图标记说明，
[0017]1、L型硅管；11、第一凸环；2、转接硅管；21、第二凸环；3、尾硅管；4、螺接头；5、螺接孔；6、导气孔。
具体实施方式
[0018]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。另外需要说明的是，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、内、外)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0019]请参阅图1
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图4，本技术的实施例提供的一种拼接式喷射管，包括L型硅管1、转接硅管2和尾硅管3，L型硅管1的一端部设有沿轴向设置的接头，转接硅管2的一端设有沿轴向开设的插孔且另一端设有沿轴向设置的接头；尾硅管3的一端部设有沿轴向开设的插孔，转接硅管2的插孔可拆卸连接至L型硅管1的接头，转接硅管2的接头可拆卸连接至尾硅管3的插孔，L型硅管1、转接硅管2和尾硅管3均设有沿轴向设置的导气孔6，L型硅管1、转接硅管2和尾硅管3的导气孔6依次导通。
[0020]上述方案通过将喷射管分为三段，其中L型硅管1用于伸入炉体内实现送气，尾硅管3则用于连通至气源实现进气，而转接硅管2则在L型硅管1导气和尾硅管3之间实现导气，从而使得L型硅管1、转接硅管2和尾硅管3能够各自独立加工导气孔6，缩短了所需的钻孔深度，有效提升了导气孔6的加工精度；同时由于螺接头4和螺接孔5的设置，使得L型硅管1、转接硅管2和尾硅管3之间的组装高效便捷，无需消耗大量的电能熔接，节省成本，解决了现有技术中的一体式喷射管大深径比钻孔的难题，保证了导气孔6的加工精度和加工均匀性，且
由于螺接头4能够插接至螺接孔5的内部，密封性好，避免了漏气问题。
[0021]应当说明，转接硅管2的个数可以是多个且依次连接，如图1中即有两个转接硅管2。通过调整转接硅管2的总个数改变喷射管的总长度，调节简单方便。
[0022]在本实施例中，L型硅管1的接头的外径小于L型硅管1的外径，转接硅管2的接头的外径小于转接硅管2的外径，转接硅管2的插孔的孔径与L型硅管1的接头的外径相同，尾硅管3的插孔的孔径与转接硅管2的接头的外径相同，从而使得L型硅管1的接头与转接硅管2的插孔、转接硅管2的接头和尾硅管3的插孔之间均能稳固配合，密封性好。L型硅管1的接头和转接硅管2的接头均设有外螺纹，转接硅管2的插孔和尾硅管3的插孔均设有内螺纹，以使得L型硅管1、转接硅管2和尾硅管3依次螺接，装配简单方便。
[0023]请参阅图5和图6，在另一改进的实施例中，L型硅管1的导气孔6朝向转接硅管2的一端卡装有第一凸环11，第一凸环11凸出于L型硅管1的导气孔6的孔壁；转接硅管2的导气孔6朝向尾硅管3的一端卡装有第二凸环21，第二凸环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拼接式喷射管，其特征在于，包括L型硅管(1)、转接硅管(2)和尾硅管(3)，所述L型硅管(1)的一端部设有沿轴向设置的接头(4)，所述转接硅管(2)的一端设有沿轴向开设的插孔(5)且另一端设有沿轴向设置的接头(4)；所述尾硅管(3)的一端部设有沿轴向开设的插孔(5)，所述转接硅管(2)的插孔(5)可拆卸连接至所述L型硅管(1)的接头(4)，所述转接硅管(2)的接头(4)可拆卸连接至所述尾硅管(3)的插孔(5)，所述L型硅管(1)、转接硅管(2)和尾硅管(3)均设有沿轴向设置的导气孔(6)，所述L型硅管(1)、转接硅管(2)和尾硅管(3)的导气孔(6)依次导通。2.根据权利要求1所述的一种拼接式喷射管，其特征在于，所述L型硅管(1)的接头(4)的外径小于所述L型硅管(1)的外径，所述转接硅管(2)的接头...

【专利技术属性】
技术研发人员：范荣，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：