本申请适用于晶片研磨技术领域，提供了研磨机研磨液流量控制装置及方法，该装置包括依次连接的流量传感器、流量控制仪、伺服电机和调节阀，还包括与流量控制仪连接的压力传感器、与伺服电机连接的搅拌器；流量传感器，用于获取研磨液出口处的实际流量值；压力传感器，用于获取磨液出口处的研磨液对研磨液管道内壁的压力；流量控制仪，用于基于第一阈值、实际流量值和研磨液对研磨液管道内壁的压力，启动伺服电机；伺服电机，用于驱动阀杆或者搅拌器进行转动；调节阀，设置于研磨液管道入口，用于调节研磨液入口处的研磨液流量；搅拌器，设置于存放研磨液的装置中，用于搅拌研磨液。本申请能够保证研磨液流量保持恒定。请能够保证研磨液流量保持恒定。请能够保证研磨液流量保持恒定。
【技术实现步骤摘要】
研磨机研磨液流量控制装置及方法
[0001]本申请属于晶片研磨
，尤其涉及研磨机研磨液流量控制装置及方法。
技术介绍
[0002]光电技术是推动国民经济和社会信息化技术的高新企业技术，也是改造传统产业的技术基础。随着石英谐振器和振荡器的快速发展，给石英晶片表面研磨水平提出更高要求。
[0003]石英晶片在研磨机研磨时，研磨液作为研磨四要素之一，对研磨晶片表面水平度及平整度起着至关重要的作用，在研磨过程中研磨液的损耗，研磨液流速会随之发生变化，控制研磨液流速，保证研磨液流量保持恒定，既节省研磨液，又能提高研磨一致性。
[0004]现有方法中研磨液流速靠研磨液管上开关控制流量大小，但随着研磨过程中研磨液的损耗，研磨流速会随之降低，研磨流速不稳定。
技术实现思路
[0005]本申请实施例提供了研磨机研磨液流量控制装置及方法，以保证研磨液流量保持恒定。
[0006]本申请是通过如下技术方案实现的：第一方面，本申请实施例提供了一种研磨机研磨液流量控制装置，包括：依次连接的流量传感器、流量控制仪、伺服电机和调节阀，还包括与流量控制仪连接的压力传感器、与伺服电机连接的搅拌器。
[0007]流量传感器，设置于研磨液管道出口，用于获取研磨液出口处的实际流量值。
[0008]压力传感器，设置于研磨液管道出口处的内壁，用于获取磨液出口处的研磨液对研磨液管道内壁的压力。
[0009]流量控制仪，用于基于第一阈值、实际流量值和研磨液对研磨液管道内壁的压力，启动伺服电机，第一阈值表征研磨所需的研磨液的流量。
[0010]伺服电机，用于驱动调节阀内的阀杆或者搅拌器进行转动。
[0011]调节阀，设置于研磨液管道入口，用于调节研磨液入口处的研磨液流量。
[0012]搅拌器，设置于存放研磨液的装置中，用于搅拌研磨液，使研磨液中的研磨砂均匀分布。
[0013]结合第一方面，在一些可能的实现方式中，阀杆的转动角度的范围为0
°
至90
°
。
[0014]结合第一方面，在一些可能的实现方式中，当实际流量值大于第一阈值，研磨液对研磨液管道内壁的压力增大时，启动伺服电机，驱动阀杆转动，使阀杆向着与研磨液管道垂直的方向转动，调节阀开度减小。
[0015]结合第一方面，在一些可能的实现方式中，当实际流量值小于第一阈值，研磨液对研磨液管道内壁的压力减小时，启动伺服电机，驱动阀杆转动，使阀杆向着与研磨液管道平行的方向转动，调节阀开度增大。
[0016]结合第一方面，在一些可能的实现方式中，当实际流量值小于第一阈值，研磨液对研磨液管道内壁的压力减小时，启动伺服电机，驱动搅拌器，当实际流量值等于第一阈值，研磨液对研磨液管道内壁压力无变化时，关闭伺服电机。
[0017]结合第一方面，在一些可能的实现方式中，当实际流量值等于第一阈值，研磨液对研磨液管道内壁的压力无变化时，伺服电机不启动，阀杆不转动，调节阀开度不变。
[0018]结合第一方面，在一些可能的实现方式中，流量控制仪为PID智能调节仪；调节阀为电动比例调节阀。
[0019]第二方面，本申请实施例提供了一种研磨机研磨液流量控制方法，包括：获取研磨液出口处的实际流量值和研磨液出口处的研磨液对研磨液管道内壁的压力。
[0020]基于实际流量值和第一阈值，得到阀杆转动方向，第一阈值表征研磨所需的研磨液的流量。
[0021]基于阀杆转动方向和研磨液对研磨液管道内壁的压力，启动伺服电机，转动阀杆，控制研磨机研磨液的流量。
[0022]结合第二方面，在一些可能的实现方式中，基于实际流量值和第一阈值，得到阀杆转动方向，包括：当实际流量值大于第一阈值时，阀杆向着与研磨液管道垂直的方向转动，即调节阀开度减小；当实际流量值小于第一阈值时，阀杆向着与研磨液管道平行的方向转动，即调节阀开度增大；当实际流量值和第一阈值相同时，阀杆不转动。
[0023]结合第二方面，在一些可能的实现方式中，研磨机研磨液流量控制方法，还包括：当实际流量值小于第一阈值时，研磨液对研磨液管道内壁的压力减小时，启动伺服电机，驱动搅拌器，之后当实际流量值和第一阈值相同，研磨液对研磨液管道内壁的压力无变化时，关闭伺服电机。
[0024]可以理解的是，上述第二方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。
[0025]本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是：本申请通过第一阈值、实际流量值和研磨液压力，对实际流出的研磨液流量进行综合认定，研磨液的压力会随着实际流量值的增大和减小而对应的增大和减小，通过两个参量判断实际流出的研磨液流量是否产生变化，实际流量值然后与第一阈值即设定的所需的研磨液的流量来进行比较，确定是否需要伺服电机驱动调节阀内的阀杆进行转动来保证研磨液流量保持恒定，这种方法既节省研磨液，又能提高研磨一致性。
[0026]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本说明书。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1是本申请一实施例提供的研磨机研磨液流量控制装置的结构示意图；
图2是本申请一实施例提供的研磨机研磨液流量控制方法的流程示意图。
具体实施方式
[0029]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。
[0030]应当理解，当在本申请说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
[0031]还应当理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
[0032]如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。
[0033]另外，在本申请说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种研磨机研磨液流量控制装置，其特征在于，包括：依次连接的流量传感器、流量控制仪、伺服电机和调节阀，还包括与所述流量控制仪连接的压力传感器、与所述伺服电机连接的搅拌器；所述流量传感器，设置于研磨液管道出口，用于获取研磨液出口处的实际流量值；所述压力传感器，设置于研磨液管道出口处的内壁，用于获取磨液出口处的研磨液对研磨液管道内壁的压力；所述流量控制仪，用于基于第一阈值、所述实际流量值和所述研磨液对研磨液管道内壁的压力，启动伺服电机，所述第一阈值表征研磨所需的研磨液的流量；所述伺服电机，用于驱动所述调节阀内的阀杆或者所述搅拌器进行转动；所述调节阀，设置于研磨液管道入口，用于调节研磨液入口处的研磨液流量；所述搅拌器，设置于存放研磨液的装置中，用于搅拌研磨液，使研磨液中的研磨砂均匀分布。2.如权利要求1所述的研磨机研磨液流量控制装置，其特征在于，所述阀杆的转动角度的范围为0
°
至90
°
。3.如权利要求1所述的研磨机研磨液流量控制装置，其特征在于，当所述实际流量值大于所述第一阈值，所述研磨液对研磨液管道内壁压力增大时，启动所述伺服电机，驱动所述阀杆转动，使所述阀杆向着与研磨液管道垂直的方向转动，所述调节阀开度减小。4.如权利要求1所述的研磨机研磨液流量控制装置，其特征在于，当所述实际流量值小于所述第一阈值，所述研磨液对研磨液管道内壁压力减小时，启动所述伺服电机，驱动所述阀杆转动，使所述阀杆向着与研磨液管道平行的方向转动，所述调节阀开度增大。5.如权利要求1所述的研磨机研磨液流量控制装置，其特征在于，当所述实际流量值小于所述第一阈值，所述研磨液对研磨液管道内壁压力减小时，启动所述伺服电机，驱动所...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐建民，陈建松，郝建军，丁洁，李永斌，狄建兴，杨铁生，王亮，崔立志，宋学忠，
申请(专利权)人：唐山国芯晶源电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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