【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有调用功能的研磨/抛光装置
[0001]相关申请
[0002]本申请要求于2021年3月22日提交的名称为“GRINDING/POLISHING DEVICES WITH RECALL[具有调用功能的研磨/抛光装置]”的美国专利申请序列号17/208,490以及于2020年3月31日提交的名称为“GRINDING/POLISHING DEVICES WITH RECALL[具有调用功能的研磨/抛光装置]”的美国临时专利申请序列号63/002,923的权益。美国专利申请序列号17/208,490和美国临时专利申请序列号63/002,923的全部内容通过援引明确并入本文。
技术介绍
[0003]本公开内容总体上涉及研磨/抛光系统，更特别地涉及具有调用功能的研磨/抛光装置。
[0004]出于许多目的并在多种多样的部门和行业内对样本执行研磨和抛光操作。在一些应用中，通过研磨/抛光操作对样本进行的表面制备是例如在制造部门中测试材料和部件时所依赖的样本测试(比如显微镜检查)的先决条件。研磨/抛光装置既能够执行研磨操作又能够执行抛光操作，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种研磨机/抛光机，包括：样本固持器，所述样本固持器被配置成固定样本；台板；致动器，所述致动器被配置成移动所述样本固持器和所述台板中的至少一者；输入装置，所述输入装置包括多个快速调用输入并且被配置成接收代表研磨/抛光参数的研磨/抛光参数输入，所述研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者，其中，所述快速调用输入可在与用户参数输入相同的界面上选择；机器可读存储装置；以及控制器，所述控制器被配置成：基于由所述输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到所述机器可读存储装置；将所述多个用户选择的研磨/抛光参数与所述多个快速调用输入中的一个输入相关联；响应于所述快速调用输入中的一个的选择，基于存储在所述机器可读存储装置中的、与所述快速调用输入中的所选择的一个相关联的所述研磨/抛光参数来配置所述研磨/抛光参数；并且控制所述致动器根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作。2.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，进一步包括水分配器，所述水分配器被配置成向所述样本提供冷却水，所述研磨机/抛光机参数进一步包括水接通/截断，所述控制器被进一步配置成根据所选择的循环时间和水接通/截断来控制所述水分配器。3.如权利要求2所述的研磨机/抛光机，其中，所述致动器包括马达和驱动器致动器，所述控制器被进一步配置成(i)控制所述马达根据所选择的研磨/抛光参数来使所述样本固持器和所述台板中的至少一者旋转，并且(ii)控制所述驱动致动器根据所选择的施加的负载来将所述样本和所述台板中的一者压到所述样本和所述台板中的另一者中。4.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，进一步包括流体分配器，所述流体分配器被配置成向所述样本提供流体，所述研磨机/抛光机参数进一步包括流体接通/截断和流体分配速率，所述控制器被进一步配置成根据所选择的循环时间、流体接通/截断和流体流分配速率来控制所述流体分配器。5.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述输入装置包括触摸屏显示器，所述触摸屏显示器被配置成显示所述快速调用输入和所述多个研磨机/抛光机参数。6.如权利要求5所述的研磨机/抛光机，其中，所述触摸屏包括主屏幕，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个被显示在所述主屏幕上并且可从所述主屏幕选择。7.如权利要求5所述的研磨机/抛光机，其中，所述控制器被配置成在用户选择并保持所述多个快速调用输入中的一个时，将所述多个用户选择的研磨机/抛光机参数保存到所述机器可读存储装置。8.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个是无需访问所述输入装置的菜单就可访问的。9.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个是
用户可立即访问的。10.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度和样本速度中的至少一者、台板方向和样本方向中的至少一者、以及施加的负载。11.一种非暂时性机器可读存储装置，包括机器可读...
【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：
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