一种集成电路芯片用靶材清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种集成电路芯片用靶材清洁装置，涉及靶材清洁技术领域。本实用新型专利技术包括清洁台，清洁台两侧均固定有限位板，限位板表面固定有第一轴承，第一轴承内圈固定有螺纹管；螺纹管内部螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆一端固定有第二轴承，第二轴承外圈固定有连接板，连接板一侧固定有扭力弹簧，扭力弹簧外侧固定有夹板；清洁台一侧固定有液压缸，液压缸输出轴固定有连接杆。本实用新型专利技术通过清洁板的作用，该装置可以一次性完成丙酮清洁、酒精清洁和烘干的清洁步骤，无需使用者更换清洁装置，使得该装置的清洁效率更加高效，同时可以根据靶材的大小灵活的进行调节，令该装置的适用范围更广。用范围更广。用范围更广。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路芯片用靶材清洁装置


[0001]本技术属于靶材清洁
，特别是涉及一种集成电路芯片用靶材清洁装置。

技术介绍

[0002]在溅射镀膜过程中，靶材的清洁度对溅射所形成的镀膜质量、产品良品率以及生产成本而言非常重要。由于靶材表面洁净度不高，在靶材溅射表面积累从几微米到几毫米大小的黑色氧化物，一般称之为结瘤。结瘤具有绝缘性，结瘤量增加，在溅射过程中多引发异常放电，使镀膜出现粒状物，影响镀膜质量，降低产品良品率。因此，在靶材生产过程中，为了保证靶材具有足够的清洁度，在包装前需要对靶材进行充分的清洁。
[0003]现有的靶材清洁过程一般是先用沾有丙酮溶液的无绒软布对其表面进行擦洗，在用沾有酒精的无绒软布对其进行擦洗，最后擦干靶材，这种传统的方式一般是工作人员手动操作，需要多次更换软布，使得清洁效率较低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种集成电路芯片用靶材清洁装置，通过清洁板的作用，该装置可以一次性完成丙酮清洁、酒精清洁和烘干的清洁步骤，无需使用者更换清洁装置，使得该装置的清洁效率更加高效，同时可以根据靶材的大小灵活的进行调节，令该装置的适用范围更广，解决了现有的方式一般是工作人员手动操作，需要多次更换软布，使得清洁效率较低的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]本技术为一种集成电路芯片用靶材清洁装置，包括清洁台，所述清洁台两侧均固定有限位板，所述限位板表面固定有第一轴承，所述第一轴承内圈固定有螺纹管；
[0007]所述螺纹管内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端固定有第二轴承，所述第二轴承外圈固定有连接板，所述连接板一侧固定有扭力弹簧，所述扭力弹簧外侧固定有夹板；
[0008]所述清洁台一侧固定有液压缸，所述液压缸输出轴固定有连接杆，所述连接杆一端固定有第三轴承；
[0009]所述第三轴承外圈固定有调节板，所述调节板一侧固定有放置板，所述放置板两侧均固定有第一电机，所述第一电机输出轴固定有清洁板，所述清洁板表面固定有魔术贴。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述螺纹杆远离连接板一侧固定有把手，所述限位板与连接板之间固定有伸缩杆。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述连接杆表面开有通孔，所述通孔内部贯穿有定位杆；
[0012]所述调节板表面开有若干定位孔。
[0013]作为本技术的一种优选技术方案，所述定位杆一端固定有复位板，所述复位板与定位杆之间固定有拉簧。
[0014]作为本技术的一种优选技术方案，所述清洁台侧面开有烘干槽，所述清洁台上下两侧均为网板；
[0015]所述烘干槽内部活动连接有加热丝；
[0016]所述烘干槽底部固定有第二电机，所述第二电机输出轴固定有扇叶。
[0017]本技术具有以下有益效果：
[0018]1、本技术通过清洁板的作用，该装置可以一次性完成丙酮清洁、酒精清洁和烘干的清洁步骤，无需使用者更换清洁装置，使得该装置的清洁效率更加高效，同时可以根据靶材的大小灵活的进行调节，令该装置的适用范围更广。
[0019]2、本技术通过加热丝的作用，在经过丙酮溶液和酒精溶液的擦洗后，即可打开加热丝和第二电机，加热丝加热，同时扇叶将热风吹向靶材，以此对靶材进行烘干，相较于传统的风干，更加高效。
[0020]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术一种集成电路芯片用靶材清洁装置的结构示意图。
[0023]图2为本技术的仰视视角结构示意图。
[0024]图3为本技术的侧视视角结构示意图。
[0025]图4为本技术的俯视视角结构示意图。
[0026]图5为本技术的加热丝结构示意图。
[0027]图6为本技术的图4中A处局部放大图。
[0028]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0029]1‑
清洁台，2
‑
限位板，3
‑
第一轴承，4
‑
螺纹管，5
‑
螺纹杆，6
‑
第二轴承，7
‑
连接板，8
‑
扭力弹簧，9
‑
夹板，10
‑
液压缸，11
‑
连接杆，12
‑
第三轴承，13
‑
调节板，14
‑
放置板，15
‑
第一电机，16
‑
清洁板，17
‑
魔术贴，18
‑
把手，19
‑
伸缩杆，20
‑
通孔，21
‑
定位杆，22
‑
定位孔，23
‑
复位板，24
‑
拉簧，25
‑
烘干槽,26
‑
加热丝，27
‑
第二电机，28
‑
扇叶。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]具体实施例一：
[0032]请参阅图1
‑
6所示，本技术为一种集成电路芯片用靶材清洁装置，包括清洁台1，清洁台1两侧均固定有限位板2，限位板2表面固定有第一轴承3，第一轴承3内圈固定有螺纹管4；螺纹管4内部螺纹连接有螺纹杆5，螺纹杆5一端固定有第二轴承6，第二轴承6外圈固
定有连接板7，连接板7一侧固定有扭力弹簧8，扭力弹簧8外侧固定有夹板9；清洁台1一侧固定有液压缸10，液压缸10输出轴固定有连接杆11，连接杆11一端固定有第三轴承12；第三轴承12外圈固定有调节板13，调节板13一侧固定有放置板14，放置板14两侧均固定有第一电机15，第一电机15输出轴固定有清洁板16，清洁板16表面固定有魔术贴17；螺纹杆5远离连接板7一侧固定有把手18，限位板2与连接板7之间固定有伸缩杆19；连接杆11表面开有通孔20，通孔20内部贯穿有定位杆21；调节板13表面开有若干定位孔22；定位杆21一端固定有复位板23，复位板23与定位杆21之间固定有拉簧24。
[0033]本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路芯片用靶材清洁装置，包括清洁台(1)，其特征在于：所述清洁台(1)两侧均固定有限位板(2)，所述限位板(2)表面固定有第一轴承(3)，所述第一轴承(3)内圈固定有螺纹管(4)；所述螺纹管(4)内部螺纹连接有螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)一端固定有第二轴承(6)，所述第二轴承(6)外圈固定有连接板(7)，所述连接板(7)一侧固定有扭力弹簧(8)，所述扭力弹簧(8)外侧固定有夹板(9)；所述清洁台(1)一侧固定有液压缸(10)，所述液压缸(10)输出轴固定有连接杆(11)，所述连接杆(11)一端固定有第三轴承(12)；所述第三轴承(12)外圈固定有调节板(13)，所述调节板(13)一侧固定有放置板(14)，所述放置板(14)两侧均固定有第一电机(15)，所述第一电机(15)输出轴固定有清洁板(16)，所述清洁板(16)表面固定有魔术贴(17)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈箫箫，
申请(专利权)人：亚芯半导体材料江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：