一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，涉及靶材加工技术领域。本实用新型专利技术包括工作台，工作台上表面固定有定位架；定位架两侧均固定有定位板，定位板表面开有通孔，定位板一侧固定有拉簧，拉簧一端固定有连接板，连接板一侧固定有连接杆；连接杆一端固定有挤压板，挤压板一侧固定有气囊；气囊一侧固定有进气管，进气管外侧固定有三通管，三通管一端螺纹连接有密封盖；进气管另一端固定有充气泵；工作台上表面固定有滑槽。本实用新型专利技术通过气囊的作用，该装置可以灵活的对靶材进行固定，且气囊的大小可以灵活快捷的进行调节，在加工同一靶材时，无需再对夹紧装置进行复杂的调节，以此使得靶材的研磨加工更加高效快捷。捷。捷。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置


[0001]本技术属于靶材加工
，特别是涉及一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置。

技术介绍

[0002]溅镀是一种物理气相沉积技术，主要是利用高能量的离子束或原子束射入靶材中，而使靶材表面的原子获得额外动能以脱离靶材，进而使原子得以飞溅至待镀物上而沉积成薄膜。靶材包含正板与背板，正板使用的材质即为待镀物所欲沉积的材质。例如，待镀物上若是欲沉积铝薄膜，则正板的材质为铝。正板与背板相贴合，其中背板略大于正板，由于靶材的正板与背板的材质不同，所以在制作靶材时，需要经过靶材绑定将正板与背板绑定在一起，才能做为靶材使用。
[0003]在分别清洗正板与背板后，在清洗完成后将正板与背板焊接在一起，焊接完成后，还需要分别对正板与背板进行研磨，由于正板与背板的体积有些微的不同，在对其进行固定时，需要对固定装置进行重新调节，这种方式导致加工效率较低，无法快速的对多个靶材进行研磨。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，通过，解决了现有的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]本技术为一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，包括工作台，所述工作台上表面固定有定位架；
[0007]所述定位架两侧均固定有定位板，所述定位板表面开有通孔，所述定位板一侧固定有拉簧，所述拉簧一端固定有连接板，所述连接板一侧固定有连接杆；
[0008]所述连接杆一端固定有挤压板，所述挤压板一侧固定有气囊；
[0009]所述气囊一侧固定有进气管，所述进气管外侧固定有三通管，所述三通管一端螺纹连接有密封盖；
[0010]所述进气管另一端固定有充气泵。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述工作台上表面固定有滑槽，所述充气泵底部固定有滑块。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案，所述滑块为“T”型结构，所述滑块与滑槽滑动连接。
[0013]作为本技术的一种优选技术方案，所述工作台一侧固定有支架，所述支架一侧固定有伸缩杆，所述伸缩杆一端固定有调节杆；
[0014]所述调节杆一端固定有弹性管，所述弹性管一端固定有打磨机。
[0015]作为本技术的一种优选技术方案，所述支架外侧固定有轴承，所述轴承外圈
固定有放置板。
[0016]本技术具有以下有益效果：
[0017]1、本技术通过气囊的作用，该装置可以灵活的对靶材进行固定，且气囊的大小可以灵活快捷的进行调节，在加工同一靶材时，无需再对夹紧装置进行复杂的调节，以此使得靶材的研磨加工更加高效快捷。
[0018]2、本技术通过放置板的作用，在使用时，可以通过伸缩杆和弹性管对打磨机的位置进行调节，打磨机即可对固定好的靶材进行加工，当不需使用打磨机时，可以将其放置在放置板时，以此对其进行及时的收纳。
[0019]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置的结构示意图。
[0022]图2为本技术的后视视角结构示意图。
[0023]图3为本技术的侧视视角结构示意图。
[0024]图4为本技术的图3中A处局部放大图。
[0025]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0026]1‑
工作台，2
‑
定位架，3
‑
定位板，4
‑
通孔，5
‑
拉簧，6
‑
连接板，7
‑
连接杆，8
‑
挤压板，9
‑
气囊，10
‑
进气管，11
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三通管，12
‑
密封盖，13
‑
充气泵，14
‑
滑槽，15
‑
滑块，16
‑
支架，17
‑
伸缩杆，18
‑
调节杆，19
‑
弹性管，20
‑
打磨机，21
‑
轴承，22
‑
放置板。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]具体实施例一：
[0029]请参阅图1
‑
4所示，本技术为一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，包括工作台1，工作台1上表面固定有定位架2；定位架2两侧均固定有定位板3，定位板3表面开有通孔4，定位板3一侧固定有拉簧5，拉簧5一端固定有连接板6，连接板6一侧固定有连接杆7；连接杆7一端固定有挤压板8，挤压板8一侧固定有气囊9；气囊9一侧固定有进气管10，进气管10外侧固定有三通管11，三通管11一端螺纹连接有密封盖12；进气管10另一端固定有充气泵13；工作台1上表面固定有滑槽14，充气泵13底部固定有滑块15；滑块15为“T”型结构，滑块15与滑槽14滑动连接。
[0030]本实施例的一个具体应用为：在使用时，将靶材放在两气囊9之间，此时在两侧的拉簧5的作用力下，两侧的气囊9向定位架2的中央移动，以此对靶材进行夹紧，当对靶材进
行初步夹紧后，打开两侧的充气泵13，充气泵13对气囊9进行打气，气囊9鼓起，对靶材进行固定，当加工完靶材的正板后，拧松密封盖12，密封盖12将气囊9内的气体排出一部分，此时气囊9体积变小，即可将靶材的背板塞进两气囊9之间，以此对其进行固定，该装置可以灵活的对靶材进行固定，且气囊9的大小可以灵活快捷的进行调节，在加工同一靶材时，无需再对夹紧装置进行复杂的调节，以此使得靶材的研磨加工更加高效快捷。
[0031]具体实施例二：
[0032]在具体实施例一的基础上，本实施例的不同点在于：
[0033]如图1
‑
3所示，工作台1一侧固定有支架16，支架16一侧固定有伸缩杆17，伸缩杆17一端固定有调节杆18；调节杆18一端固定有弹性管19，弹性管19一端固定有打磨机20；支架16外侧固定有轴承21，轴承21外圈固定有放置板22；在使用时，可以通过伸缩杆17和弹性管19对打磨机20的位置进行调节，打磨机20即可对固定好的靶材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面固定有定位架(2)；所述定位架(2)两侧均固定有定位板(3)，所述定位板(3)表面开有通孔(4)，所述定位板(3)一侧固定有拉簧(5)，所述拉簧(5)一端固定有连接板(6)，所述连接板(6)一侧固定有连接杆(7)；所述连接杆(7)一端固定有挤压板(8)，所述挤压板(8)一侧固定有气囊(9)；所述气囊(9)一侧固定有进气管(10)，所述进气管(10)外侧固定有三通管(11)，所述三通管(11)一端螺纹连接有密封盖(12)；所述进气管(10)另一端固定有充气泵(13)。2.根据权利要求1所述的一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，其特征在于，所述工作台(1)上表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈箫箫，
申请(专利权)人：亚芯半导体材料江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：