一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备制造技术

技术编号:36025706 阅读:14 留言:0更新日期:2022-12-21 10:24
本实用新型专利技术公开了一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,涉及金属熔炼技术领域。本实用新型专利技术包括熔炼炉、烟尘罩、第一连接管、第二连接管、旋风除尘器,第一连接管上固定有热交换管,热交换管远离第一连接管的一端与第二连接管固定连接,热交换管内部设置有呈螺旋状的空心金属管,空心金属管两端均固定有与空心金属管内腔连通的空心直管,两空心直管分别贯穿第一连接管、第二连接管。本实用新型专利技术通过在两连接管之间设置热交换管,并在热交换管内部设置能够对热量进行吸附的空心金属管,将废气烟尘中的热量用于对鼓入的空气加热,提高对金属的熔炼速度,能够再次对烟尘废气中的热量利用,进而降低了对能源的消耗。进而降低了对能源的消耗。进而降低了对能源的消耗。

【技术实现步骤摘要】
一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备


[0001]本技术属于金属熔炼
,特别是涉及一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备。

技术介绍

[0002]熔炼是将金属材料及其它辅助材料投入加热炉溶化并调质,炉料在高温1300

1600K炉内物料发生一定的物理、化学变化,产出粗金属或金属富集物和炉渣的火法冶金过程。炉料除精矿、焙砂、烧结矿等外,有时还需添加为使炉料易于熔融的熔剂,以及为进行某种反应而加入还原剂。用于合金溅射靶材制备的金属在熔炼过程中与其它金属熔炼设备相同。现有的金属熔炼设备由熔炼炉、烟尘罩、旋风除尘器、集粉箱、管道、脉冲布袋除尘器、集尘箱、引风机、排气管等组成。金属在熔炼过程中产生具有高温的废气烟尘,这些废气烟尘直接排入到大器中不仅污染环境,而且会浪费废气粉尘中蕴含的热量,造成一部分能源的丢失,且废气烟尘除了会污染环境外其中还含有有用的物质,直接排放不仅不环保,而且对资源存在较大的浪费。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,通过在两连接管之间设置热交换管,并在热交换管内部设置能够对热量进行吸附的空心金属管,将废气烟尘中的热量用于对鼓入的空气加热,并通过开设的清灰槽对烟尘中的有用物质回收,解决了现有的金属熔炼设备对排出的废气烟尘中热量和有用物质浪费较大,资源与能源利用不充分的问题。
[0004]为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:
[0005]本技术为一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,包括熔炼炉、烟尘罩、第一连接管、第二连接管、旋风除尘器,所述熔炼炉内产生的粉尘依次经过烟尘罩、第一连接管、第二连接管和旋风除尘器,所述第一连接管底部与烟尘罩连通,所述第二连接管与旋风除尘器连通,所述第一连接管上固定有热交换管,所述热交换管远离第一连接管的一端与第二连接管固定连接,所述热交换管内部设置有呈螺旋状的空心金属管,所述空心金属管两端均固定有与空心金属管内腔连通的空心直管,两所述空心直管分别贯穿第一连接管、第二连接管;
[0006]其中一贯穿第一连接管的所述空心直管端固定有导气管,所述导气管底端贯与熔炼炉内腔连通。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案,所述熔炼炉上固定有与导气管配合的输入管,所述熔炼炉顶部排气端通过法兰与烟尘罩固定连接。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案,所述烟尘罩和第一连接管之间、热交换管和第二连接管之间、第二连接管和旋风除尘器之间均通过法兰连接。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案,所述第一连接管和第二连接管结构相同,
所述第二连接管包括锥形导风罩,所述锥形导风罩通过法兰与热交换管固定连接,所述锥形导风罩上贯穿有横向导管,所述横向导管被空心直管贯穿且与空心直管同轴线,所述横向导管外圆面上固定有与横向导管连通的弧形导管,所述弧形导管底部与旋风除尘器固定连接。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案,所述热交换管外圆面上沿轴向开设有清灰槽,所述热交换管外圆面滑动连接有与清灰槽口配合的弧形挡板,所述弧形挡板外弧面上固定有拉块。
[0011]本技术具有以下有益效果:
[0012]1、本技术通过在两连接管之间设置热交换管,并在热交换管内部设置能够对热量进行吸附的空心金属管,将废气烟尘中的热量用于对鼓入的空气加热,使得鼓入的空气具有较高的温度,提高对金属的熔炼速度,此外,能够再次对烟尘废气中的热量利用,减少了热量的散失,进而降低了对能源的消耗。
[0013]2、本技术通过在热交换管上开设清灰槽,在螺旋空心金属管的作用下对通过热交换管的废气烟尘进行减速拦截,从而提高对烟尘中有用物质的沉降效果,能够对烟尘中的有用物质进行回收再利用,减少对资源的浪费。
[0014]当然,实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备的结构示意图。
[0017]图2为本技术的主视图。
[0018]图3为热交换管、空心金属管、空心直管相配合的结构示意图。
[0019]图4为空心金属管、空心直管的结构示意图。
[0020]图5为第二连接管的结构示意图。
[0021]图6为第一连接管、热交换管的结构示意图。
[0022]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0023]1‑
熔炼炉,2

烟尘罩,3

第一连接管,4

第二连接管,5

旋风除尘器, 6

热交换管,7

空心金属管,8

空心直管,9

导气管,10

清灰槽,11

弧形挡板,401

锥形导风罩,402

横向导管,403

弧形导管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0025]具体实施例一:
[0026]请参阅图1

6所示,本技术为一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,包括熔炼炉1、烟尘罩2、第一连接管3、第二连接管4、旋风除尘器5,熔炼炉1内产生的粉尘依次经过烟尘罩2、第一连接管3、第二连接管和旋风除尘器5,第一连接管3底部与烟尘罩2连通,第二连接管4 与旋风除尘器5连通,第一连接管3上固定有热交换管6,热交换管6远离第一连接管3的一端与第二连接管4固定连接,热交换管6内部设置有呈螺旋状的空心金属管7,空心金属管7两端均固定有与空心金属管7内腔连通的空心直管8,两空心直管8分别贯穿第一连接管3、第二连接管4。
[0027]其中一贯穿第一连接管3的空心直管8端固定有导气管9,导气管9底端贯与熔炼炉1内腔连通。
[0028]熔炼炉1上固定有与导气管9配合的输入管,熔炼炉1顶部排气端通过法兰与烟尘罩2固定连接。
[0029]烟尘罩2和第一连接管3之间、热交换管6和第二连接管4之间、第二连接管4和旋风除尘器5之间均通过法兰连接。
[0030]第一连接管3和第二连接管4结构相同,第二连接管4包括锥形导风罩401,本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,包括熔炼炉(1)、烟尘罩(2)、第一连接管(3)、第二连接管(4)、旋风除尘器(5),所述熔炼炉(1)内产生的粉尘依次经过烟尘罩(2)、第一连接管(3)、第二连接管和旋风除尘器(5),所述第一连接管(3)底部与烟尘罩(2)连通,所述第二连接管(4)与旋风除尘器(5)连通,其特征在于:所述第一连接管(3)上固定有热交换管(6),所述热交换管(6)远离第一连接管(3)的一端与第二连接管(4)固定连接,所述热交换管(6)内部设置有呈螺旋状的空心金属管(7),所述空心金属管(7)两端均固定有与空心金属管(7)内腔连通的空心直管(8),两所述空心直管(8)分别贯穿第一连接管(3)、第二连接管(4);其中一贯穿第一连接管(3)的所述空心直管(8)端固定有导气管(9),所述导气管(9)底端贯与熔炼炉(1)内腔连通。2.根据权利要求1所述的一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,其特征在于,所述熔炼炉(1)上固定有与导气管(9)配合的输入管,所述熔炼炉(1)顶部排气端通过法兰与烟尘罩(2)固定连接。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈箫箫
申请(专利权)人:亚芯半导体材料江苏有限公司
类型:新型
国别省市:

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