一种钼钠合金靶材生产用制备夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钼钠合金靶材生产用制备夹具，涉及靶材技术领域。本实用新型专利技术包括定组件、中心环座和夹具组件，固定组件上螺纹转动设置有中心环座；固定组件上滑动设置有夹具组件；夹具组件与中心环座转动连接。本实用新型专利技术通过环形导轨上下移动，使得两支撑臂分别发生相对的扩张和收缩，带动两第二铰接座，在矩形滑槽内进行相对和相向的运动，使得两滑动块，连同着固定在两滑动块顶部的两支撑块，以及固定在两支撑块一端的两弧形夹臂相互远离和靠近，满足了对不同大小的钼钠合金靶材的夹持固定，提高了上产效率；通过弧形橡胶防护垫与钼钠合金靶材周侧面的相互接触，以此对钼钠合金靶材周侧面起到了一定的保护作用。钠合金靶材周侧面起到了一定的保护作用。钠合金靶材周侧面起到了一定的保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种钼钠合金靶材生产用制备夹具


[0001]本技术属于靶材
，特别是涉及一种钼钠合金靶材生产用制备夹具。

技术介绍

[0002]钼钠合金靶材即对溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]经检索申请号为CN202120927728.4提供了一种合金靶材连续式制备夹具系统，该合金靶材连续式制备夹具系统包括：一支撑轴，左端与机床上的卡盘连接；三个弹性件，间隔连接在支撑轴的右端上，用于撑住合金靶材上的内孔处，限位合金靶材，并且向右侧拉动合金靶材时，合金靶材脱开弹性件；以及一压件，连接在支撑轴的中间部位，压住合金靶材的局部外圆处，限位合金靶材；从而克服了装夹不方便，加工效率较低的技术问题。
[0004]现有的钼钠合金靶材生产用制备夹具在进行生产制造的过程中难以对不同大小的钼钠合金靶材进行夹持固定，操作人员通常需要根据钼钠合金靶材的大小去频繁的进行夹具的更换，降低了上产效率；另外，现有的钼钠合金靶材生产用制备夹具缺少相应的夹持保护装置，容易对夹持过程中的钼钠合金靶材的周侧面造成一定的损坏。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种钼钠合金靶材生产用制备夹具，通过对固定组件、中心环座和夹具组件的设计，解决了现有的钼钠合金靶材生产用制备夹具在进行生产制造的过程中难以对不同大小的钼钠合金靶材进行夹持固定，操作人员通常需要根据钼钠合金靶材的大小去频繁的进行夹具的更换，降低了上产效率；另外，现有的钼钠合金靶材生产用制备夹具缺少相应的夹持保护装置，容易对夹持过程中的钼钠合金靶材的周侧面造成一定的损坏的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0007]本技术为一种钼钠合金靶材生产用制备夹具，包括固定组件、中心环座和夹具组件，所述固定组件上螺纹转动设置有中心环座；所述固定组件上滑动设置有夹具组件；所述夹具组件与中心环座转动连接。
[0008]所述固定组件包括有滑动板；所述滑动板顶部开设有矩形滑槽。
[0009]所述中心环座顶部开设有环形导槽。
[0010]所述夹具组件包括有环形导轨；所述环形导轨顶部固定有对称的两第一铰接座；两所述第一铰接座顶部铰接配合有支撑臂；所述支撑臂一端铰接配合有第二铰接座；所述第二铰接座顶部固定有滑动块；所述滑动块与矩形滑槽滑动配合。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述固定组件还包括有支撑底盘；所述支撑底盘顶部固定有固定框架；所述固定框架相对两侧壁与滑动板两端固定连接。
[0012]所述滑动板顶部中心位置固定有放置盘。
[0013]作为本技术的一种优选技术方案，所述支撑底盘顶部中心位置固定有伺服电机；所述伺服电机输出轴固定有螺纹杆；所述螺纹杆顶部固定有限位挡板；所述螺纹杆与中心环座螺纹转动配合。
[0014]作为本技术的一种优选技术方案，所述滑动块顶部固定有支撑块；所述支撑块一侧固定有弧形夹臂；所述支撑块顶部与放置盘顶部处于水平位置。
[0015]作为本技术的一种优选技术方案，所述弧形夹臂内壁固定有弧形橡胶防护垫；所述弧形橡胶防护垫内壁与钼钠合金靶材周侧面相互接触。
[0016]本技术具有以下有益效果：
[0017]1、本技术通过环形导轨上下移动，使得铰接配合在两第一铰接座顶部的支撑臂分别发生相对的扩张和收缩的动作，带动铰接配合在两支撑臂上的两第二铰接座，在矩形滑槽内进行相对和相向的运动，使得固定在两第二铰接座顶部的两滑动块，连同着固定在两滑动块顶部的两支撑块，以及固定在两支撑块一端的两弧形夹臂，一起相互远离和靠近，避免了在进行钼钠合金靶材生产过程中，频繁的根据钼钠合金靶材的大小去跟换生产用夹具，满足了对不同大小的钼钠合金靶材的夹持固定，提高了上产效率。
[0018]2、本技术通过两弧形夹臂内壁固定的弧形橡胶防护垫与钼钠合金靶材周侧面的相互接触，而两弧形夹臂内壁固定的弧形橡胶防护垫可更换成其它具有柔性防护功能的材料，以此对钼钠合金靶材周侧面起到了一定的保护作用。
[0019]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术一种钼钠合金靶材生产用制备夹具的结构示意图。
[0022]图2为固定组件的结构示意图。
[0023]图3为固定组件的正视图。
[0024]图4为中心环座的结构示意图。
[0025]图5为夹具组件的结构示意图。
[0026]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0027]1‑
固定组件，2
‑
中心环座，3
‑
夹具组件，101
‑
滑动板，102
‑
矩形滑槽，103
‑
支撑底盘，104
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固定框架，105
‑
放置盘，106
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伺服电机，107
‑
螺纹杆，108
‑
限位挡板，201
‑
环形导槽，301
‑
环形导轨，302
‑
第一铰接座，303
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支撑臂，304
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第二铰接座，305
‑
滑动块，306
‑
支撑块，307
‑
弧形夹臂，308
‑
弧形橡胶防护垫。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]具体实施例一：
[0030]请参阅图1
‑
5所示，本技术为一种钼钠合金靶材生产用制备夹具，包括固定组件1、中心环座2和夹具组件3，固定组件1上螺纹转动设置有中心环座2；固定组件1上滑动设置有夹具组件3；夹具组件3与中心环座2转动连接；固定组件1包括有滑动板101；滑动板101顶部开设有矩形滑槽102；中心环座2顶部开设有环形导槽201；夹具组件3包括有环形导轨301；环形导轨301顶部固定有对称的两第一铰接座302；两第一铰接座302顶部铰接配合有支撑臂303；支撑臂303一端铰接配合有第二铰接座304；第二铰接座30本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钼钠合金靶材生产用制备夹具，包括固定组件(1)、中心环座(2)和夹具组件(3)，所述固定组件(1)上螺纹转动设置有中心环座(2)；所述固定组件(1)上滑动设置有夹具组件(3)；所述夹具组件(3)与中心环座(2)转动连接；其特征在于：所述固定组件(1)包括有滑动板(101)；所述滑动板(101)顶部开设有矩形滑槽(102)；所述中心环座(2)顶部开设有环形导槽(201)；所述夹具组件(3)包括有环形导轨(301)；所述环形导轨(301)顶部固定有对称的两第一铰接座(302)；两所述第一铰接座(302)顶部铰接配合有支撑臂(303)；所述支撑臂(303)一端铰接配合有第二铰接座(304)；所述第二铰接座(304)顶部固定有滑动块(305)；所述滑动块(305)与矩形滑槽(102)滑动配合。2.根据权利要求1所述的一种钼钠合金靶材生产用制备夹具，其特征在于，所述固定组件(1)还包括有支撑底盘(103)；所述支撑底盘(103)顶部固定有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈箫箫，
申请(专利权)人：亚芯半导体材料江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：