一种PECVDCSD拉杆拆除工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PECVD CSD拉杆拆除工具，包括定位杆，所述定位杆上设置有立柱与定位柱，所述立柱位于所述定位杆顶部，所述立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，所述定位柱位于所述定位杆底部，所述定位柱自所述定位杆的圆周面向外凸出；把手，所述把手位于所述定位杆底部，所述把手上设有定位槽，所述定位槽与所述定位柱配合卡接，卡接后，把手转动时，带动所述定位杆进行转动。本实用新型专利技术采用能够使把手在转动时带动定位杆进行转动，将CSD拉杆拆卸，因此能够方便、快捷的将CSD拉杆从PECVD设备上进行拆除，提升对CSD拉杆的拆卸效率，进而提升工作效率，而两个立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，能够有效地避免在拆卸过程中损伤腔体的密封面，防止CSD拉杆的变形与损坏。防止CSD拉杆的变形与损坏。防止CSD拉杆的变形与损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD CSD拉杆拆除工具


[0001]本技术属于拆卸工具
，尤其涉及一种PECVD CSD拉杆拆除工具。

技术介绍

[0002]PECVD是异质结太阳电池制备的核心设备，设备里面的一些核心零部件需要定期拆卸进行维护和保养，因为PECVD设备结构比较复杂，拆除这些核心部件必须拆除相关的部件。
[0003]在对PECVD内匀流板进行维护时必须先拆除CSD拉杆，而拉杆四周边缘与设备腔体壁间隙微小，同时边缘遮挡物比较多。目前没有合适拆卸CSD拉杆的专用工具，使用传统的工具拆卸容易造成CSD拉杆的变形及损坏，同时可能会损伤腔体的密封面。并且传统的工具拆卸会造成工作量加大的问题,影响工作效率。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术的不足，提供一种PECVD CSD拉杆拆除工具，以解决现有技术中存在的问题。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种PECVD CSD拉杆拆除工具，包括
[0006]定位杆，所述定位杆上设置有立柱与定位柱，所述立柱位于所述定位杆顶部，所述立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，所述定位柱位于所述定位杆底部，所述定位柱自所述定位杆的圆周面向外凸出；
[0007]把手，所述把手位于所述定位杆底部，所述把手上设有定位槽，所述定位槽与所述定位柱配合卡接，卡接后，把手转动时，带动所述定位杆进行转动。
[0008]本技术一个较佳实施例中，所述定位杆、立柱以及定位柱均为圆柱形结构体。
[0009]本技术一个较佳实施例中，所述立柱数量为两个，所述立柱与所述定位杆焊接成型。
[0010]本技术一个较佳实施例中，所述定位柱数量为三个且沿所述定位杆周向间隔分布，所述定位柱与所述定位杆焊接成型。
[0011]本技术一个较佳实施例中，所述定位槽为凹形卡槽，所述定位槽数量为三个且与所述定位柱一一对应。
[0012]本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本技术具备以下有益效果：
[0013]本技术采用一种PECVD CSD拉杆拆除工具，采用立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，定位柱与定位槽配合，能够使把手在转动时带动定位杆进行转动，将CSD拉杆拆卸，因此能够方便、快捷的将CSD拉杆从PECVD设备上进行拆除，提升对CSD拉杆的拆卸效率，进而提升工作效率，而两个立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，能够有效地避免在拆卸过程中损伤腔体的密封面，防止CSD拉杆的变形与损坏。
附图说明
[0014]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明；
[0015]图1为本技术优选实施例的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术优选实施例的主视图；
[0017]图3为本技术优选实施例的俯视图；
[0018]图中：10、定位杆；11、立柱；12、定位柱；20、把手；21、定位槽。
具体实施方式
[0019]以下将以图式揭露本技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
[0020]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0021]结合图1至图3所示，一种PECVD CSD拉杆拆除工具，该拆除工具包括定位杆10与把手20。
[0022]定位杆10上设置有立柱11与定位柱12，立柱11位于定位杆10顶部，立柱11与CSD拉杆的拆卸孔配合，定位柱12位于定位杆10底部，定位柱12自定位杆10的圆周面向外凸出，在CSD拉杆拆卸之前，将立柱11与CSD拉杆的拆卸孔配合，做好拆卸之前的准备。
[0023]把手20位于定位杆10底部，把手20上设有定位槽，定位槽与定位柱12配合卡接，卡接后，把手20转动时，带动定位杆10进行转动，在立柱11与CSD拉杆的拆卸孔配合之后，将把手20上的定位槽与定位柱12卡接，卡接完成之后，旋转把手20即可对CSD拉杆进行拆卸，轻松省力。
[0024]具体地，在本实施例中，定位杆10、立柱11以及定位柱12均为圆柱形结构体。
[0025]具体地，立柱11数量为两个，立柱11与定位杆10焊接成型，定位柱12数量为三个且沿定位杆10周向间隔分布，定位柱12与定位杆10焊接成型。
[0026]在本实施例中，定位槽为凹形卡槽，定位槽数量为三个且与定位柱12一一对应，采用凹形卡槽设计的定位槽，能够稳定与定位柱12配合，保证把手20运动时带动定位杆10进行转动。
[0027]总而言之，本技术采用一种PECVD CSD拉杆拆除工具，采用立柱11与CSD拉杆的拆卸孔配合，定位柱12与定位槽配合，能够使把手20在转动时带动定位杆10进行转动，将CSD拉杆拆卸，因此能够方便、快捷的将CSD拉杆从PECVD设备上进行拆除，提升对CSD拉杆的拆卸效率，进而提升工作效率，而两个立柱11与CSD拉杆的拆卸孔配合，能够有效地避免在拆卸过程中损伤腔体的密封面，防止CSD拉杆的变形与损坏。
[0028]以上依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD CSD拉杆拆除工具，其特征在于，包括定位杆，所述定位杆上设置有立柱与定位柱，所述立柱位于所述定位杆顶部，所述立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，所述定位柱位于所述定位杆底部，所述定位柱自所述定位杆的圆周面向外凸出；把手，所述把手位于所述定位杆底部，所述把手上设有定位槽，所述定位槽与所述定位柱配合卡接，卡接后，把手转动时，带动所述定位杆进行转动。2.根据权利要求1所述的PECVD CSD拉杆拆除工具，其特征在于，所述定位杆、立...

【专利技术属性】
技术研发人员：王峰峰，高洪涛，张兵科，
申请(专利权)人：苏州昶明微电子科技合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：