一种适用于真空设备的加热机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与加热模块连接的检测模块，用于对加热模块对应的真空容器的加热区域进行加热；加热模块包括加热丝以及温度控制器，温度控制器控制对应的加热模块温度，使若干加热模块之间的温度均匀；检测模块包括固定环以及设置在固定环内的温度传感器，加热丝从固定环内环穿过，且与温度传感器贴合；固定环与真空容器的表面可拆卸连接；温度控制器与对应的温度传感器电连接，用于根据接收到的对应的加热区域的温度，并控制对应的加热丝的加热温度，以使加热区域的温度达到目标温度，本实用新型专利技术通过可拆卸式的固定环，能够便捷的调节加热丝的弯曲布置结构，从而提供适应性的加热效果。应性的加热效果。应性的加热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于真空设备的加热机构


[0001]本技术涉及真空容器加热
，尤其涉及一种适用于真空设备的加热机构。

技术介绍

[0002]大型超真空容器的真空度通常能够达到lO
‑5Pa,并且已经广泛应用于受控磁约束聚变装置中。不锈钢结构材料在冶炼过程中，材料长时间接触大气，也会吸附水汽、碳氢化合物及各种杂质，在抽真空时，材料表面气体的解析和扩散衰减非常慢，冷态除气无法满足超高真空容器对真空度的要求，因此需要加热烘烤处理。
[0003]现有技术中，超高真空容器的加热烘烤主要有两种方式:一种是在超高真空容器的表面设置加热丝,通过热辐射和传导实现加热烘烤；另一种是真空壁夹层的通道内通入热氮气,通过传导对真空壁进行加热烘烤。但是，前者温控器只能接入一个温度传感器，大型真空容器表面积很大，需要布置较长的加热丝,且不同部位的障碍物分布情况不同，使得单个测温点不能有效反映真实的温度分布，容易导致烘烤不均匀，并且当下多采用将加热丝直接焊接在真空容器外表面的方式，不但对真空容器造成不可逆转的损伤，也不利于后续对加热丝位置的调节。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术的不足，提供一种适用于真空设备的加热机构。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与所述加热模块连接的检测模块，所述加热模块贴合真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热；所述加热模块包括加热丝以及温度控制器，所述温度控制器控制对应的所述加热模块温度，使若干所述加热模块之间的温度均匀；所述检测模块包括固定环以及设置在所述固定环内的温度传感器，所述加热丝从所述固定环内环穿过，且与所述温度传感器贴合；所述固定环与所述所述真空容器的表面可拆卸连接；所述温度控制器与对应的所述温度传感器电连接，用于根据接收到的对应的加热区域的温度，并控制对应的所述加热丝的加热温度，以使所述加热区域的温度达到目标温度。
[0006]本技术一个较佳实施例中，所述固定环与所述真空容器表面通过磁力连接。
[0007]本技术一个较佳实施例中，所述固定环在所述真空容器表面交错布置。
[0008]本技术一个较佳实施例中，所述加热丝穿过所述固定环后，呈弯曲布置密集分布在对应的加热区域内。
[0009]本技术一个较佳实施例中，所述固定环外圈设置有温度显示装置。
[0010]本技术一个较佳实施例中，所述温度显示装置与所述温度传感器电连接。
[0011]本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本技术具备以下有益效果：
[0012]本技术通过可拆卸式的固定环对加热丝在真空设备表面进行固定，不但能够
便捷的调节加热丝的弯曲布置结构，从而提供适应性的加热效果，还能够通过固定环对穿过其的加热丝进行针对性的温度检测，从而对加热效果进行实时的调节。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；
[0014]图1是本技术的优选实施例的加热丝与固定环配合结构图；
[0015]图中：1、固定环；2、加热丝。
具体实施方式
[0016]现在结合附图和实施例对本技术作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成，此外在本技术的描述中，“实施例”、“一个实施例”或“其他实施例”的提及表示结合实施例说明的特定特征、结构或特性包括在至少一些实施例中，但不必是全部实施例。
[0017]如图1所示的一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与加热模块连接的检测模块，加热模块贴合真空容器的表面，用于对加热模块对应的真空容器的加热区域进行加热；若干加热模块在真空容器表面规律排布，布满其表面，且若干加热模块之间独立加热，从而确保加热效果不会应距离过远而降低，具体的，加热模块包括加热丝以及温度控制器，温度控制器控制对应的加热模块温度，使若干加热模块之间的温度均匀；检测模块包括固定环以及设置在固定环内的温度传感器，加热丝从固定环内环穿过，且与温度传感器贴合；固定环与真空容器的表面可拆卸连接；温度控制器与对应的温度传感器电连接，用于根据接收到的对应的加热区域的温度，并控制对应的加热丝的加热温度，以使加热区域的温度达到目标温度。
[0018]一优选例中，固定环与真空容器表面通过磁力连接，使得固定环能够便捷的在真空容器表面移动，能够将加热丝在局部密集布置。
[0019]优选的，固定环在真空容器表面交错布置，加热丝穿过固定环后，呈弯曲布置密集分布在对应的加热区域内，从而覆盖全部的真空容器表面。
[0020]一实施例中，固定环外圈设置有温度显示装置，温度显示装置与温度传感器电连接，能够便于操作者实时监控加热状态。
[0021]本技术通过可拆卸式的固定环对加热丝在真空设备表面进行固定，不但能够便捷的调节加热丝的弯曲布置结构，从而提供适应性的加热效果，还能够通过固定环对穿过其的加热丝进行针对性的温度检测，从而对加热效果进行实时的调节。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]以上依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与所述加热模块连接的检测模块，所述加热模块贴合真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热；所述加热模块包括加热丝以及温度控制器，所述温度控制器控制对应的所述加热模块温度，使若干所述加热模块之间的温度均匀；所述检测模块包括固定环以及设置在所述固定环内的温度传感器，所述加热丝从所述固定环内环穿过，且与所述温度传感器贴合；所述固定环与所述真空容器的表面可拆卸连接；所述温度控制器与对应的所述温度传感器电连接，用于根据接收到的对应的加热区域的温度，并控制对应的所述加热丝的加热温度，以使所述加热区域的温度...

【专利技术属性】
技术研发人员：周广福，韩广龙，高洪涛，
申请(专利权)人：苏州昶明微电子科技合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：