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本实用新型公开了一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与加热模块连接的检测模块，用于对加热模块对应的真空容器的加热区域进行加热；加热模块包括加热丝以及温度控制器，温度控制器控制对应的加热模块温度，使若干加热模块之间的温度均匀；检测...
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