一种张网设备及张网设备的控制方法技术

本发明专利技术提供了一种张网设备，用于将目标对象固定于目标网框上，包括：至少一对运动调节机构，每对运动调节机构沿第一方向设置且并列排布于目标对象的相对两侧，运动调节机构包括夹持单元、第一移动单元和设于夹持单元上的标记单元，夹持单元用于夹持目标对象，第一移动单元用于带动夹持单元沿第一方向移动；视觉装置设置于夹持单元的上方，用于通过与标记单元对准，以获取夹持单元的当前位置坐标；控制装置用于计算当前位置坐标与目标位置坐标之间的位置偏差，并根据位置偏差控制第一移动单元移动，直至夹持单元运动至目标位置坐标。本发明专利技术使得运动调节机构的调整次数减少，提升了张网设备的调整的效率，有利于提高张网作业的效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种张网设备及张网设备的控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种张网设备及张网设备的控制方法。

技术介绍

[0002]张网设备是OLED小分子有机材料蒸镀产线的关键设备，主要用于将高精度的蒸镀网版固定。蒸镀网版的有效蒸镀区域(由像素孔阵列构成)具有特定的图案。多种有机材料和无机材料经真空蒸镀后，在玻璃基板上形成具有特定图案的膜层。蒸镀网版固定情况良好，使得蒸镀网版上的特定的图案在后续的工作过程中位置正确、不发生变形和扭曲。
[0003]张网设备在张网的过程，通过运动调节机构夹持蒸镀网版，视觉装置对蒸镀网版上的多个标记进行对准测量，求得与期望位置的偏差值。依据偏差值调整运动调节机构，再用视觉装置复测标记与期望位置的偏差值，再调整运动调节机构，直至将蒸镀网版上的多个标记都调整到精度范围内，张网作业完成。
[0004]由于运动调节机构本身由于存在换向间隙、滞环、非线性区间等因素的影响，如图1所示，运动调节机构的移动单元和夹持单元之间位移关系不是线性的关系。另外，张网作业中，我们希望所使用的运动调节机构的拉伸参数的差异越小越好，而实际是运动调节机构存在机械安装误差，每个运动调节机构都有差异。这导致了运动调节机构的拉伸参数各异，运动调节机构无法准确到达期望位置，使得每次张网作业的过程中，需增加调节运动调节机构的次数，导致张网作业的效率低，影响张网设备的产率。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种张网设备及张网设备的控制方法，能够减少运动调节机构的调整次数，提升张网作业的效率。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种张网设备，用于将目标对象固定于目标网框上，包括：
[0007]至少一对运动调节机构，每对所述运动调节机构沿第一方向设置且并列排布于所述目标对象的相对两侧，所述运动调节机构包括夹持单元、第一移动单元和设于所述夹持单元上的标记单元，所述夹持单元用于夹持所述目标对象，所述第一移动单元用于沿第一方向移动，以带动所述夹持单元沿第一方向移动；
[0008]视觉装置，设置于所述夹持单元的上方，用于通过与所述标记单元对准，以获取所述夹持单元的当前位置坐标；
[0009]控制装置，用于计算所述当前位置坐标与目标位置坐标之间的位置偏差，并根据所述位置偏差控制所述第一移动单元移动，直至所述夹持单元运动至目标位置坐标。
[0010]可选的，所述张网设备包括多对运动调节机构，多对所述运动调节机构沿第二方向依次排布，所述运动调节机构还包括第二移动单元，所述第二移动单元用于沿第二方向移动，以带动所述夹持单元和所述第一移动单元沿第二方向移动，其中，所述第二方向垂直
于所述第一方向。
[0011]可选的，所述控制装置根据所述位置偏差控制所述第一移动单元移动的方法还包括：
[0012]判断所述位置偏差是否小于误差阈值，若否，则根据所述位置偏差控制所述第一移动单元按对所述位置偏差进行补偿的方向移动。
[0013]可选的，所述夹持单元包括第一承载台、上夹爪和下夹爪，所述标记单元设置于所述承载台，所述上夹爪和所述下夹爪在所述承载台的侧壁沿所述承载台的高度方向发生相对移动，以对所述目标对象进行夹持。
[0014]可选的，所述张网设备还包括第二承载台，用于承载所述运动调节机构和所述视觉装置，所述第二承载台为减振平台。
[0015]此外，本专利技术还提供了一种张网设备的控制方法，包括：
[0016]步骤S1：向控制装置输入夹持单元的目标位置坐标；
[0017]步骤S2：通过视觉装置对标记单元进行对准测量，获取所述夹持单元的当前位置坐标；
[0018]步骤S3：所述控制装置计算所述当前位置坐标与目标位置坐标之间的位置偏差，并根据所述位置偏差控制所述第一移动单元移动，直至所述夹持单元运动至目标位置坐标。
[0019]可选的，所述张网设备的控制方法还包括：在执行步骤S1时，向控制装置输入一误差阈值，在执行步骤S3时，所述控制装置判断所述位置偏差是否小于误差阈值，若否，则根据所述位置偏差控制所述第一移动单元按对所述位置偏差进行补偿的方向移动。
[0020]可选的，所述张网设备的控制方法还包括：在执行步骤S1前，所述控制装置对所述夹持单元进行零位标定以获得零位位置偏差，在执行步骤S3时，所述控制装置根据所述零位位置偏差、所述当前位置坐标和所述目标位置坐标计算出所述位置偏差。
[0021]可选的，所述零位标定的步骤包括：
[0022]向所述控制装置输入所述夹持单元在所述张网设备中的理论位置坐标；
[0023]在所述张网设备空载的状态下，通过所述视觉装置对所述标记单元进行对准测量，以获取所述夹持单元在所述张网设备中的实际位置坐标；
[0024]所述控制装置根据所述实际位置坐标和所述理论位置坐标的计算出所述零位位置偏差。
[0025]可选的，所述张网设备的控制方法还包括：在执行步骤S1前，所述控制装置对所述夹持单元进行第一方向轴系偏差标定和第二方向轴系偏差标定以分别获得第一方向轴系位置偏差和第二方向轴系位置偏差，在执行步骤S3时，所述控制装置还根据所述第一方向轴系位置偏差、所述第二方向轴系位置偏差、所述零位位置偏差、所述当前位置坐标和所述目标位置坐标计算出所述位置偏差。
[0026]可选的，所述第一方向轴系位置偏差包括：第一方向轴的轴缩放误差补偿量和第一方向轴对第二方向轴的轴移动串扰补偿量。
[0027]可选的，所述第二方向轴系位置偏差包括：第二方向轴的轴缩放误差补偿量和第二方向轴对第一方向轴的轴移动串扰补偿量。
[0028]可选的，所述控制装置对所述夹持单元进行第一方向轴系偏差标定的步骤包括：
[0029]在所述张网设备空载的状态下，通过所述视觉装置对所述标记单元进行对准测量，获取所述夹持单元在所述张网设备中的第一理论位置坐标；
[0030]让所述夹持单元沿第一方向轴向，按第一固定步距步进n步，每移动一次，所述视觉装置对所述标记单元进行对准测量，以获取所述夹持单元的第一实际位置坐标；
[0031]将所述第一理论位置坐标和所述第一实际位置坐标相减，得到第一位置偏差量(Δx1,Δy1)、(Δx3,Δy3)、
…
(Δx
i
,Δy
i
)；
[0032]由公式求得所述第一方向轴的轴缩放误差补偿量；
[0033]由公式求得所述第二方向轴对第一方向轴的轴移动串扰补偿量。
[0034]可选的，所述控制装置对所述夹持单元进行第二方向轴系偏差标定的步骤包括：
[0035]在所述张网设备空载的状态下，通过所述视觉装置对所述标记单元进行对准测量，获取所述夹持单元在所述张网设备中的第二理论位置坐标；
[0036]让所述夹持单元沿第二方向轴向，按第二固定步距步进n步，每移动一次，所述视觉装置对所述标记单元进行对准测量，以获取所述夹持单元的第二实际位置坐标；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种张网设备，用于将目标对象固定于目标网框上，其特征在于，包括：至少一对运动调节机构，每对所述运动调节机构沿第一方向设置且并列排布于所述目标对象的相对两侧，所述运动调节机构包括夹持单元、第一移动单元和设于所述夹持单元上的标记单元，所述夹持单元用于夹持所述目标对象，所述第一移动单元用于沿第一方向移动，以带动所述夹持单元沿第一方向移动；视觉装置，设置于所述夹持单元的上方，用于通过与所述标记单元对准，以获取所述夹持单元的当前位置坐标；控制装置，用于计算所述当前位置坐标与目标位置坐标之间的位置偏差，并根据所述位置偏差控制所述第一移动单元移动，直至所述夹持单元运动至目标位置坐标。2.如权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述张网设备包括多对运动调节机构，多对所述运动调节机构沿第二方向依次排布，所述运动调节机构还包括第二移动单元，所述第二移动单元用于沿第二方向移动，以带动所述夹持单元和所述第一移动单元沿第二方向移动，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。3.如权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述控制装置根据所述位置偏差控制所述第一移动单元移动的方法还包括：判断所述位置偏差是否小于误差阈值，若否，则根据所述位置偏差控制所述第一移动单元按对所述位置偏差进行补偿的方向移动。4.如权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述夹持单元包括第一承载台、上夹爪和下夹爪，所述标记单元设置于所述第一承载台，所述上夹爪和所述下夹爪在所述第一承载台的侧壁沿所述第一承载台的高度方向发生相对移动，以对所述目标对象进行夹持。5.如权利要求4所述的张网设备，其特征在于，所述张网设备还包括第二承载台，用于承载所述运动调节机构和所述视觉装置，所述第二承载台为减振平台。6.一种利用如权利要求1
‑
5中任一项所述的张网设备的控制方法，其特征在于，包括：步骤S1：向控制装置输入夹持单元的目标位置坐标；步骤S2：通过视觉装置对标记单元进行对准测量，获取所述夹持单元的当前位置坐标；步骤S3：所述控制装置计算所述当前位置坐标与目标位置坐标之间的位置偏差，并根据所述位置偏差控制所述第一移动单元移动，直至所述夹持单元运动至目标位置坐标。7.如权利要求6所述的张网设备的控制方法，其特征在于，还包括：在执行步骤S1时，向控制装置输入一误差阈值，在执行步骤S3时，所述控制装置判断所述位置偏差是否小于误差阈值，若否，则根据所述位置偏差控制所述第一移动单元按对所述位置偏差进行补偿的方向移动。8.如权利要求7所述的张网设备的控制方法，其特征在于，还包括：在执行步骤S1前，所述控制装置对所述夹持单元进行零位标定以获得零位位置偏差，在执行步骤S3时，所述控制装置根据所述零位位置偏差、所述当前位置坐标和所述目标位置坐标计算出所述位置偏差。9.如权利要求8所述的张网设备的控制方法，其特征在于，所述零位标定的步骤包括：向所述控制装置输入所述夹持单元在所述张...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏柏林，宋涛，李煜芝，周畅，徐兵，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：