一种立式晶圆加工减薄机制造技术

本实用新型专利技术提供的一种立式晶圆加工减薄机，涉及立式晶圆加工减薄机技术领域,包括：防护外壳，所述防护外壳的内壁底部固定安装有传感控制器，启动高压气泵，就会抽取空气进入初级腔内，膜片在压缩空气的作用下发生弯曲，空气进入二级腔内，然后膜片进行收缩，进入二级腔内的空气束快速离开发声头，反复震动，再经过扩声筒进行放大，形成低频高能声波，通过空气介质把声能传递到相应的积灰点，由于声波振荡的反复作用，施加于灰、渣的挤压达到一定的循环应力次数时，灰、渣的结构因疲劳而破坏，从而达到清灰的作用，这样就解决了现有技术中装置使用传感控制器对设备进行加工的工作，导致不能完全去除设备内部的污渍，还会造成设备损坏的问题。坏的问题。坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种立式晶圆加工减薄机


[0001]本技术涉及立式晶圆加工减薄机
，尤其涉及一种立式晶圆加工减薄机。

技术介绍

[0002]立式晶圆加工减薄机的功能是用于主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件。
[0003]传统立式晶圆加工减薄机在使用一段时间后会造成堵塞，从而影响设备的正常使用，所以隔一段时间就需要对立式晶圆加工减薄机进行加工工作，而现有的立式晶圆加工减薄机的工作都是利用传感器智能控制，同时立式晶圆加工减薄机在作业的过程中，由于工作频率高，很容易对设备造成损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中装置使用传感控制器对设备进行加工的工作，导致不能完全去除设备内部的污渍，还会造成设备损坏的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种立式晶圆加工减薄机，包括：防护外壳，所述防护外壳的内壁底部固定安装有传感控制器，所述传感控制器的内部开设有两个初级腔，所述传感控制器的内壁底部固定安装有两个矩形块，两个矩形块的顶部之间固定安装有膜片，所述传感控制器的外壁一侧开设有进气口，所述进气口的输出端固定连通有高压气泵，所述高压气泵的输入端固定联通有进气管，且进气管的输入端贯穿防护外壳的外壁一侧，所述声波请灰器的顶部固定连通有二级腔，所述二级腔的顶部固定安装有珐琅盘，且通过珐琅盘固定安装有扩声筒，所述扩声筒的顶部固定安装有圆筒，传感控制器是以压缩空气作为声波或次声波的能源，启动高压气泵，就会抽取外部的空气进入初级腔内，膜片在压缩空气的作用下发生弯曲，空气由此进入二级腔内，然后膜片进行收缩，进入二级腔内的空气束快速离开发声头，反复震动，再经过扩声筒进行放大，形成低频高能声波，通过空气介质把声能传递到相应的积灰点，使声波对灰渣起到“声致疲劳”的作用，由于声波振荡的反复作用，施加于灰、渣的挤压循环变化的载荷，达到一定的循环应力次数时，灰、渣的结构因疲劳而破坏，然后由水将灰渣清除出附着体表面，从而达到清灰的作用。
[0006]优选的，所述防护外壳的外壁一侧固定安装有加工液箱，所述加工液箱的输出端固定连通有水泵，所述水泵的输出端固定连通有出液管，便于给装置加注加工液，以便能更好的对装置进行加工。
[0007]优选的，所述加工液箱的顶部开设有进液端，所述进液端的顶部活动套设有第一顶盖，便于加注加工液。
[0008]优选的，所述防护外壳和圆筒的外壁一侧均开设有出水端，所述出水端的外表壁活动套设有第二顶盖，便于排出脏水。
[0009]优选的，所述防护外壳的外壁两侧均固定安装有把手，便于移动整个装置。
[0010]优选的，所述防护外壳的底部固定安装有四个橡胶支腿，便于支撑整个装置，且对装置有一定的减震作用。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0012]1、本技术中，传感控制器是以压缩空气作为声波或次声波的能源，启动高压气泵，就会抽取外部的空气进入初级腔内，膜片在压缩空气的作用下发生弯曲，空气由此进入二级腔内，然后膜片进行收缩，进入二级腔内的空气束快速离开发声头，反复震动，再经过扩声筒进行放大，形成低频高能声波，通过空气介质把声能传递到相应的积灰点，使声波对灰渣起到“声致疲劳”的作用，由于声波振荡的反复作用，施加于灰、渣的挤压循环变化的载荷，达到一定的循环应力次数时，灰、渣的结构因疲劳而破坏，然后由水将灰渣清除出附着体表面，从而达到清灰的作用，这样就不用传感控制器就能把设备表面和内部的污渍进行加工，这样就解决了现有技术中装置使用传感控制器对设备进行加工的工作，导致不能完全去除设备内部的污渍，还会造成设备损坏的问题。
[0013]2、本技术中，启动水泵，就会抽取加工液箱内的加工剂，加工剂再由出液管进入到圆筒内，从而对圆筒内的设备进行深层次的加工，就能加工掉传感控制器加工不掉的顽固污渍，由传感控制器进行物理清灰，再由加工剂辅助配合进行化学清灰，这样就能把设备内部的污渍给加工干净了。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种立式晶圆加工减薄机中主视结构立体图；
[0015]图2为本技术提出的一种立式晶圆加工减薄机中剖视结构立体图；
[0016]图3为本技术提出的一种立式晶圆加工减薄机中声波机构结构立体图。
[0017]图例说明：1、防护外壳；2、传感控制器；3、初级腔；4、矩形块；5、膜片；6、进气口；7、高压气泵；8、进气管；9、二级腔；10、珐琅盘；11、扩声筒；12、圆筒；13、加工液箱；14、水泵；15、出液管；16、进液端；17、第一顶盖；18、出水端；19、第二顶盖；20、把手；21、橡胶支腿。
具体实施方式
[0018]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0019]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0020]实施例1，如图1
‑
3所示，本技术提供了一种立式晶圆加工减薄机，包括：防护外壳1，防护外壳1的内壁底部固定安装有传感控制器2，传感控制器2的内部开设有两个初级腔3，传感控制器2的内壁底部固定安装有两个矩形块4，两个矩形块4的顶部之间固定安装有膜片5，传感控制器2的外壁一侧开设有进气口6，进气口6的输出端固定连通有高压气泵7，高压气泵7的输入端固定联通有进气管8，且进气管8的输入端贯穿防护外壳1的外壁一侧，传感控制器2的顶部固定连通有二级腔9，二级腔9的顶部固定安装有珐琅盘10，且通过
珐琅盘10固定安装有扩声筒11，扩声筒11的顶部固定安装有圆筒12，传感控制器2是以压缩空气作为声波或次声波的能源，启动高压气泵7，就会抽取外部的空气进入初级腔3内，膜片5在压缩空气的作用下发生弯曲，空气由此进入二级腔9内，然后膜片5进行收缩，进入二级腔9内的空气束快速离开发声头，反复震动，再经过扩声筒11进行放大，形成低频高能声波，通过空气介质把声能传递到相应的积灰点，使声波对灰渣起到“声致疲劳”的作用，由于声波振荡的反复作用，施加于灰、渣的挤压循环变化的载荷，达到一定的循环应力次数时，灰、渣的结构因疲劳而破坏，然后由水将灰渣清除出附着体表面，从而达到清灰的作用。
[0021]防护外壳1的外壁一侧固定安装有加工液箱13，加工液箱13的输出端固定连通有水泵14，水泵14的输出端固定连通有出液管15，以便能更好的对装置进行加工。
[0022]加工液箱13的顶部开设有进液端16，进液端16的顶部活动套设有第一顶盖17，便于加注加工液。
[0023]防护外壳1和圆筒12的外壁一侧均开设有出水端18，出水端18的外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式晶圆加工减薄机，其特征在于：包括：防护外壳(1)，所述防护外壳(1)的内壁底部固定安装有传感控制器(2)，所述传感控制器(2)的内部开设有两个初级腔(3)，所述传感控制器(2)的内壁底部固定安装有两个矩形块(4)，两个矩形块(4)的顶部之间固定安装有膜片(5)，所述传感控制器(2)的外壁一侧开设有进气口(6)，所述进气口(6)的输出端固定连通有高压气泵(7)，所述高压气泵(7)的输入端固定联通有进气管(8)，且进气管(8)的输入端贯穿防护外壳(1)的外壁一侧，所述传感控制器(2)的顶部固定连通有二级腔(9)，所述二级腔(9)的顶部固定安装有珐琅盘(10)，且通过珐琅盘(10)固定安装有扩声筒(11)，所述扩声筒(11)的顶部固定安装有圆筒(12)。2.根据权利要求1所述的一种立式晶圆加工减薄机，其特征在于：所述防...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬祥，邱祥文，王选，胡旭南，
申请(专利权)人：深圳市方达研磨技术有限公司，
类型：新型
国别省市：