一种芯片端面抛光研磨机制造技术

本实用新型专利技术属于抛光研磨领域，尤其是一种芯片端面抛光研磨机，针对现有的芯片端面加工不可多片芯片同时在研磨抛光机上进行加工，废弃抛光液没有回收装置，抛光效果易被灰尘等环境因数影响的问题，现提出如下方案，其包括主体外框，所述主体外框顶端固定连接有顶部电机，所述顶部电机输出端贯穿主体外框顶端固定连接有大螺纹轴，所述大螺纹轴外侧螺纹套设有内螺纹杆，所述内螺纹杆外侧滑动连接有固定套筒，可多片芯片同时在研磨抛光机上进行精密加工，大幅提高了工作效率，能够对废弃抛光液及时回收，排除了外部环境因数对芯片抛光效果的影响，实际使用效果佳。实际使用效果佳。实际使用效果佳。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片端面抛光研磨机


[0001]本技术涉及抛光研磨
，尤其涉及一种芯片端面抛光研磨机。

技术介绍

[0002]在半导体光通讯芯片的加工处理过程中，需要对芯片的端面进行研磨和抛光处理。研磨是去除掉一定量的材料，使芯片露出需要的部分或角度，以方便后续的加工处理(如耦合，封装等)。抛光的过程是对研磨产生的表面损伤层进行处理，提高表面光洁度，达到合符要求的表面质量(粗糙度，洁净度，损伤层厚度)等。
[0003]现有技术中，芯片端面在研磨和抛光加工时有以下问题：
[0004]1.不能多片芯片同时在研磨抛光机上进行加工，影响工作效率；
[0005]2.废弃抛光液没有回收装置，不能有效的维护工作环境干净整洁；
[0006]3.不能保持研磨和抛光时加工环境被隔离，使灰尘等环境因素影响抛光效果；
[0007]本技术提供了一种芯片端面抛光研磨机来解决以上问题。

技术实现思路

[0008]本技术的目的是为了解决现有技术中存在芯片端面加工不可多片芯片同时在研磨抛光机上进行加工，废弃抛光液没有回收装置，抛光效果易被灰尘等环境因数影响的缺点，而提出的一种芯片端面抛光研磨机。
[0009]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0010]一种芯片端面抛光研磨机，包括主体外框，所述主体外框顶端固定连接有输出端向下竖直设置的顶部电机，顶部电机用来提供升降结构的动力，所述顶部电机输出端贯穿主体外框顶端固定连接有大螺纹轴，大螺纹轴用来转化顶部电机的动力，所述大螺纹轴外侧螺纹套设有内螺纹杆，所述内螺纹杆外侧滑动连接有固定套筒，且内螺纹杆底端固定连接有夹具外壳，内螺纹杆用来升降具外壳，所述夹具外壳底端螺栓固定连接有夹具，所述夹具外侧开设有六个内设真空吸附的限位槽，且夹具外侧每个限位槽两边均个设置有一个位于限位凹槽内的电磁铁；
[0011]所述主体外框内侧底端固定连接有输出端向上竖直设置的底部电机和内设抽水泵的抛光液桶，抛光液桶用来储存抛光液，所述底部电机输出端贯穿主体外框内侧的中间隔板固定连接有抛光研磨轮，抛光研磨轮用来研磨抛光，所述抛光液桶顶端滑动连接有废水收集箱，且抛光液桶通过管道固定连接有抛光液喷口，所述废水收集箱通过水管和主体外框内侧中间隔板贯通并固定连接。
[0012]优选的，所述固定套筒内侧设置有限位凸块，且固定套筒的顶端和主体外框内侧顶端固定连接，所述内螺纹杆外侧开设有凹槽，所述凹槽和限位凸块配合使用。
[0013]优选的，所述主体外框内侧中间隔板上开设有方形凹槽，且主体外框内侧中间隔板上的方形凹槽内开设有和底部电机输出端转动连接的圆形凹槽，所述抛光研磨轮在圆形凹槽内工作，所述主体外框背面固定连接有散热风扇，且主体外框内侧上部固定连接有两
个工作灯。
[0014]优选的，所述主体外框外侧上部两边个开设有一个透明玻璃窗，所述主体外框外侧上部铰接有两扇对称设置的带框透明玻璃门，且主体外框外侧下部铰接有两扇对称设置的带锁金属门。
[0015]优选的，所述夹具外壳内部固定连接有上隔板和下隔板，且夹具外壳外侧设置有开关，所述上隔板上固定连接有输出端向下竖直设置的小电机，所述小电机输出端穿过上隔板固定连接有小螺纹轴，所述小螺纹轴外侧螺纹套设有精密内螺纹杆，所述精密内螺纹杆底端固定连接有固定底座，所述固定底座底端固定连接有螺帽，所述螺帽和夹具通过螺栓固定连接。
[0016]优选的，所述下隔板和套筒固定连接，所述套筒和精密内螺纹杆滑动连接，所述夹具外壳和夹具滑动连接。
[0017]优选的，所述夹具上可接触连接有芯片盖板，所述芯片盖板上固定连接有橡胶垫，且芯片盖板上橡胶垫两边均固定连接有一个限位铁块，所述限位铁块和电磁铁可磁性吸附连接。
[0018]本技术中，所述一种芯片端面抛光研磨机通过主体外框上的透明玻璃门和透明玻璃窗的设置，在不影响工作的情况下提供了一个干净无尘的工作环境，间接提高了产品品质；通过废水收集箱的设置保护了环境的干净无尘，通过散热风扇和工作灯的设置提高了实际使用体验，通过电磁铁的夹持设置提高了工作效率，通过紧密升降机构螺纹固定连接的夹具上可同时安装多个芯片，大幅提高了工作效率，
[0019]具备可多片芯片同时在研磨抛光机上进行精密加工的功能，大幅提高了工作效率，能够对废弃抛光液及时回收，排除了灰尘等环境因数对芯片抛光效果的影响，实际使用效果佳。
附图说明
[0020]图1为本技术提出的一种芯片端面抛光研磨机的主体三维结构示意图；
[0021]图2为本技术提出的一种芯片端面抛光研磨机的主视立体结构示意图；
[0022]图3为本技术提出的一种芯片端面抛光研磨机的背面立体结构示意图；
[0023]图4为本技术提出的一种芯片端面抛光研磨机的局部分解结构示意图；
[0024]图5为本技术提出的一种芯片端面抛光研磨机的剖面结构示意图。
[0025]图中：1、顶部电机；2、工作灯；3、主体外框；4、固定套筒；5、开关；6、夹具外壳；7、抛光研磨轮；8、底部电机；9、管道；10、废水收集箱；11、抛光液桶；12、散热风扇；13、抛光液喷口；14、内螺纹杆；15、芯片盖板；16、夹具；17、电磁铁；18、限位铁块；19、橡胶垫；20、大螺纹轴；21、小螺纹轴；22、小电机；23、上隔板；24、固定底座；25、螺帽；26、下隔板；27、套筒；28、精密内螺纹杆；29、限位凸块；30、凹槽。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]实施例一
[0028]参照图1
‑
5，一种芯片端面抛光研磨机，包括主体外框3，主体外框3顶端固定连接有输出端向下竖直设置的顶部电机1，顶部电机1用来提供升降结构的动力，顶部电机1输出端贯穿主体外框3顶端固定连接有大螺纹轴20，大螺纹轴20用来转化顶部电机1的动力，大螺纹轴20外侧螺纹套设有内螺纹杆14，内螺纹杆14外侧滑动连接有固定套筒4，且内螺纹杆14底端固定连接有夹具外壳6，内螺纹杆14用来升降具外壳6，夹具外壳6底端螺栓固定连接有夹具16，夹具16外侧开设有六个内设真空吸附的限位槽，且夹具16外侧每个限位槽两边均个设置有一个位于限位凹槽内的电磁铁17；
[0029]主体外框3内侧底端固定连接有输出端向上竖直设置的底部电机8和内设抽水泵的抛光液桶11，抛光液桶11用来储存抛光液，底部电机8输出端贯穿主体外框3内侧的中间隔板固定连接有抛光研磨轮7，抛光研磨轮7用来研磨抛光，抛光液桶11顶端滑动连接有废水收集箱10，且抛光液桶11通过管道9固定连接有抛光液喷口13，废水收集箱10通过水管和主体外框3内侧中间隔板贯通并固定连接。
[0030]实施例二
[0031]一种芯片端面抛光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片端面抛光研磨机，包括主体外框(3)，其特征在于：所述主体外框(3)顶端固定连接有输出端向下竖直设置的顶部电机(1)，所述顶部电机(1)输出端贯穿主体外框(3)顶端固定连接有大螺纹轴(20)，所述大螺纹轴(20)外侧螺纹套设有内螺纹杆(14)，所述内螺纹杆(14)外侧滑动连接有固定套筒(4)，且内螺纹杆(14)底端固定连接有夹具外壳(6)，所述夹具外壳(6)底端螺栓固定连接有夹具(16)，所述夹具(16)外侧开设有六个内设真空吸附的限位槽，且夹具(16)外侧每个限位槽两边均设置有一个位于限位凹槽内的电磁铁(17)；所述主体外框(3)内侧底端固定连接有输出端向上竖直设置的底部电机(8)和内设抽水泵的抛光液桶(11)，所述底部电机(8)输出端贯穿主体外框(3)内侧的中间隔板固定连接有抛光研磨轮(7)，所述抛光液桶(11)顶端滑动连接有废水收集箱(10)，且抛光液桶(11)通过管道(9)固定连接有抛光液喷口(13)，所述废水收集箱(10)通过水管和主体外框(3)内侧中间隔板贯通并固定连接。2.根据权利要求1所述的一种芯片端面抛光研磨机，其特征在于，所述固定套筒(4)内侧设置有限位凸块(29)，且固定套筒(4)的顶端和主体外框(3)内侧顶端固定连接，所述内螺纹杆(14)外侧开设有凹槽(30)，所述凹槽(30)和限位凸块(29)配合使用。3.根据权利要求1所述的一种芯片端面抛光研磨机，其特征在于，所述主体外框(3)内侧中间隔板上开设有方形凹槽，且主体外框(3)内侧中间隔板上的方形凹槽内开设有和底部电机(8)输出端转动连接的圆形凹槽，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬祥，邱祥文，王选，胡旭南，
申请(专利权)人：深圳市方达研磨技术有限公司，
类型：新型
国别省市：