【技术实现步骤摘要】
本技术涉及减薄机，具体为一种全自动晶圆减薄机。
技术介绍
1、在晶圆的加工过程中可能需要对晶圆进行减薄处理，此时可能需要使用到一种全自动晶圆减薄机专利授权公告号为cn219053834u的技术专利提出一种全自动单轴晶圆减薄机，包括机座，机座上设置有晶圆盒、对中机构、研磨台、磨削机构、和清洗机构，晶圆盒可拆卸设置在机座的前端，研磨台通过其底部纵向设置的磨台滑轨活动连接在机座的纵向中轴线上，对中机构和清洗机构分别设置在研磨台的左右两侧，磨削机构设置在机座的后端，晶圆盒、对中机构和清洗机构三者围成的几何中心处设置有取放料臂。本申请通过机座上集成设置的对中机构、磨削机构和清洗机构，并通过取放料臂和第一、第二装载臂带动晶圆片在机构间传输，提升了晶圆片吸附的可靠性及磨削质量，设备功能模块结构紧凑，设备集成度高、占地小，大大提高了生产效率和质量。但是上述专利还存在以下不足：通过喷头喷水对晶圆进行清理，水流清洗完后不便于回收，通过常规的安装结构对晶圆进行安装，此时可能会对晶圆造成损伤。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种全自动晶圆减薄机，解决了通过喷头喷水对晶圆进行清理，水流清洗完后不便于回收的问题，还解决了通过常规的安装结构对晶圆进行安装，此时可能会对晶圆造成损伤的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种全自动晶圆减薄机，包括箱体、清理机构、安装机构，所述箱体上设置有清理机构，所述箱体内固定连接有透水板，所述透水板上设置有安装机构，所述透水板的上端接触有晶圆，
3、优选的，所述清理机构包括滤网、水泵、喷头、卡槽、顶杆、移动杆、导杆、弹簧，所述箱体内接触有滤网，所述箱体上固定安装有水泵，所述箱体内开设有卡槽，所述卡槽内滑动连接有顶杆，所述顶杆上固定连接有移动杆，所述滤网内固定连接有导杆，所述导杆的外侧设置有弹簧，通过设计清理机构，可通过清理机构对晶圆进行清理。
4、优选的，所述水泵的输入端固定套接于箱体内，所述水泵的输出端固定连接于箱体内，所述水泵的输出端上固定连接有喷头，通过设计水泵，可通过水泵实现对水资源的重复利用。
5、优选的，所述导杆的外侧滑动连接有移动杆，所述移动杆滑动连接于滤网内，通过设计导杆，可给予移动杆一定程度的限位。
6、优选的，所述弹簧的一端固定连接于移动杆上，所述弹簧的另一端固定连接于滤网内，通过设计弹簧，可在弹簧的弹性作用下使得移动杆移动。
7、优选的，所述安装机构包括吸盘、套筒、活塞、螺纹套、正反转电机、丝杆、限位槽、限位杆，所述晶圆上接触有吸盘，所述吸盘上固定连接有套筒，所述透水板内固定连接有套筒，所述套筒内滑动连接有活塞，所述活塞上固定连接有螺纹套，所述套筒的下端固定安装有正反转电机，所述正反转电机的输出端转动连接于套筒内，所述正反转电机的输出端上固定连接有丝杆，所述丝杆的外侧通过螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套内开设有限位槽，所述限位槽内滑动连接有限位杆，所述限位杆固定连接于套筒内，通过设计安装机构，可通过安装机构对晶圆进行安装。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
9、1、本技术通过设计滤网、水泵、卡销、顶杆、喷头等部件，通过水泵从箱体内抽水通过喷头喷出对晶圆进行清理，清理后的水通过透水板后再经过滤网的过滤进入箱体底部，而后可通过水泵再次输送至喷头处，可实现水资源的重复利用，并且当滤网出现堵塞需要进行拆卸时，可通过拉动顶杆，使得顶杆滑出卡槽中，此时解除滤网和箱体之间的限位，此时便可对滤网进行拆卸清理。
10、2、本技术通过设计吸盘、活塞、螺纹套、正反转电机、丝杆等部件，通过将晶圆放置于活塞上，启动正反转电机，使得丝杆转动，进而使得丝杆和螺纹套之间发生螺纹运动，使得活塞移动，进而使得吸盘内产生负压，可对晶圆进行安装，并且吸盘多为弹性制品，不易损伤晶圆。
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1.一种全自动晶圆减薄机，包括箱体(1)、清理机构(2)、安装机构(4)，其特征在于：所述箱体(1)上设置有清理机构(2)，所述箱体(1)内固定连接有透水板(3)，所述透水板(3)上设置有安装机构(4)，所述透水板(3)的上端接触有晶圆(5)，所述箱体(1)内固定安装有气缸(6)，所述气缸(6)的输出端上固定连接有安装板(7)，所述安装板(7)的下端固定安装有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)的输出端上固定连接有打磨片(9)，所述箱体(1)的下端固定连接有支脚(10)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机，其特征在于：所述清理机构(2)包括滤网(21)、水泵(22)、喷头(23)、卡槽(24)、顶杆(25)、移动杆(26)、导杆(27)、弹簧(28)，所述箱体(1)内接触有滤网(21)，所述箱体(1)上固定安装有水泵(22)，所述箱体(1)内开设有卡槽(24)，所述卡槽(24)内滑动连接有顶杆(25)，所述顶杆(25)上固定连接有移动杆(26)，所述滤网(21)内固定连接有导杆(27)，所述导杆(27)的外侧设置有弹簧(28)。
3.根据权利要求
4.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆减薄机，其特征在于：所述导杆(27)的外侧滑动连接有移动杆(26)，所述移动杆(26)滑动连接于滤网(21)内。
5.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆减薄机，其特征在于：所述弹簧(28)的一端固定连接于移动杆(26)上，所述弹簧(28)的另一端固定连接于滤网(21)内。
6.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机，其特征在于：所述安装机构(4)包括吸盘(41)、套筒(42)、活塞(43)、螺纹套(44)、正反转电机(45)、丝杆(46)、限位槽(47)、限位杆(48)，所述晶圆(5)上接触有吸盘(41)，所述吸盘(41)上固定连接有套筒(42)，所述透水板(3)内固定连接有套筒(42)，所述套筒(42)内滑动连接有活塞(43)，所述活塞(43)上固定连接有螺纹套(44)，所述套筒(42)的下端固定安装有正反转电机(45)，所述正反转电机(45)的输出端转动连接于套筒(42)内，所述正反转电机(45)的输出端上固定连接有丝杆(46)，所述丝杆(46)的外侧通过螺纹连接有螺纹套(44)，所述螺纹套(44)内开设有限位槽(47)，所述限位槽(47)内滑动连接有限位杆(48)，所述限位杆(48)固定连接于套筒(42)内。
...【技术特征摘要】
1.一种全自动晶圆减薄机，包括箱体(1)、清理机构(2)、安装机构(4)，其特征在于：所述箱体(1)上设置有清理机构(2)，所述箱体(1)内固定连接有透水板(3)，所述透水板(3)上设置有安装机构(4)，所述透水板(3)的上端接触有晶圆(5)，所述箱体(1)内固定安装有气缸(6)，所述气缸(6)的输出端上固定连接有安装板(7)，所述安装板(7)的下端固定安装有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)的输出端上固定连接有打磨片(9)，所述箱体(1)的下端固定连接有支脚(10)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机，其特征在于：所述清理机构(2)包括滤网(21)、水泵(22)、喷头(23)、卡槽(24)、顶杆(25)、移动杆(26)、导杆(27)、弹簧(28)，所述箱体(1)内接触有滤网(21)，所述箱体(1)上固定安装有水泵(22)，所述箱体(1)内开设有卡槽(24)，所述卡槽(24)内滑动连接有顶杆(25)，所述顶杆(25)上固定连接有移动杆(26)，所述滤网(21)内固定连接有导杆(27)，所述导杆(27)的外侧设置有弹簧(28)。
3.根据权利要求2所述的一种全自动晶圆减薄机，其特征在于：所述水泵(22)的输入端固定套接于箱体(1)内，所述水泵(22)的输出端固定连接于箱体(1)内，所述水泵(22...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬祥，王选，邱祥文，
申请(专利权)人：深圳市方达研磨技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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