一种清洗装置及晶圆减薄设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种清洗装置及晶圆减薄设备，属于晶圆制造技术领域。清洗装置包括箱体、设于箱体上的第一清洗机构和第二清洗机构，第一清洗机构和第二清洗机构分别位于箱体的第一端和第二端，且二者均能够在箱体上沿第一方向移动；清洗装置还包括：第一罩体，设于箱体的第一端与第一清洗机构之间；第二罩体，设于箱体的第二端与第二清洗机构之间；第三罩体，设于第一清洗机构和第二清洗机构之间。晶圆减薄设备包括上述的清洗装置。本实用新型专利技术通过第一罩体、第二罩体和第三罩体的设置对箱体进行充分罩设，避免飞屑或者水雾进入箱体内部，对清洗机构的相关机械电气部件进行保护，保证清洗装置清洗功能的顺利实现。保证清洗装置清洗功能的顺利实现。保证清洗装置清洗功能的顺利实现。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗装置及晶圆减薄设备


[0001]本技术涉及晶圆制造
，尤其涉及一种清洗装置及晶圆减薄设备。

技术介绍

[0002]在晶圆减薄工作完成后，会有很多小颗粒的硅渣粘附在晶圆表面上，此时需要对其进行初步的清洗，一方面是有利于移载传输手的吸盘抓取，另一方面是防止硅渣在移载过程中掉落，对其它机构造成污染；晶圆取走后，晶圆减薄过程中掉落的硅渣会堵塞卡盘工作台的气孔，所以还必须对卡盘工作台清洗，以不影响后续的使用。
[0003]清洗装置在清洗时会移动到工作台面处，并在清洗完后回到原位，清洗装置的移动依靠机械导轨来实现，而机械导轨的精确定位又需要电路控制系统及传感器来实现。清洗装置在清洗时不可避免地会有飞屑和水雾飞溅起来，会对清洗装置内部的机械电气元件造成损害，影响其使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种清洗装置及晶圆减薄机，能够实现晶圆及卡盘工作台清洗的同时，对清洗装置内部的机械电气元件进行保护，避免水雾或者杂质进入。
[0005]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0006]一种清洗装置，包括箱体、设于所述箱体上的第一清洗机构和第二清洗机构，所述箱体具有沿第一方向的第一端和第二端，所述第一清洗机构和所述第二清洗机构分别位于所述箱体的所述第一端和所述第二端，且二者均能够在所述箱体上沿所述第一方向移动；所述清洗装置还包括：
[0007]第一罩体，所述第一罩体设于所述箱体的所述第一端与所述第一清洗机构之间；
[0008]第二罩体，所述第二罩体设于所述箱体的第二端与所述第二清洗机构之间；
[0009]第三罩体，所述第三罩体设于所述第一清洗机构和所述第二清洗机构之间。
[0010]进一步地，所述第一罩体、所述第二罩体及所述第三罩体的结构相同，均包括双向卷簧、第一遮盖体和第二遮盖体；所述双向卷簧包括中间轴、上行卷簧和下行卷簧，所述上行卷簧和所述下行卷簧叠设后，一端均卷接在所述中间轴上，另一端位于外侧的上行卷簧在上方伸出，位于内侧的下行卷簧在下方伸出，所述上行卷簧和所述下行卷簧的伸出方向相背；所述第一遮盖体设于所述上行卷簧上，所述第二遮盖体设于所述下行卷簧上。
[0011]进一步地，所述上行卷簧和所述下行卷簧的伸出方向均与所述第一方向平行。
[0012]进一步地，所述第一罩体的所述第一遮盖体和所述第二遮盖体二者中的一个与所述箱体的所述第一端相连，另一个与所述第一清洗机构相连；
[0013]所述第二罩体的所述第一遮盖体和所述第二遮盖体二者中的一个与所述箱体的所述第二端相连，另一个与所述第二清洗机构相连；
[0014]所述第三罩体的所述第一遮盖体和所述第二遮盖体二者中的一个与所述第一清洗机构相连，另一个与所述第二清洗机构相连。
[0015]进一步地，所述第一清洗机构包括第一工作台和设于所述第一工作台上的第一清洗件，所述第一清洗件包括第一驱动件、设于所述第一驱动件输出端的油石磨轮、第二驱动件和设于所述第二驱动件输出端的第一刷体；
[0016]所述第一罩体连接于所述箱体与所述第一工作台之间。
[0017]进一步地，所述第二清洗机构包括第二工作台和设于所述第二工作台上的第二清洗件，所述第二清洗件包括第三驱动件和设于所述第三驱动件输出端的第二刷体；
[0018]所述第二罩体连接于所述箱体与所述第二工作台之间；所述第三罩体连接于所述第一工作台与所述第二工作台之间。
[0019]进一步地，所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件均用于输出转矩。
[0020]一种晶圆减薄设备，包括机台和在所述机台上沿第二方向依次设置的晶圆盒、上下料装置和减薄装置，所述上下料装置用于将所述晶圆盒中的晶圆上料至所述减薄装置或由所述减薄装置将减薄完成的晶圆下料至所述晶圆盒内；所述减薄装置包括回转工作台和设于所述回转工作台上的卡盘工作台，晶圆置于所述卡盘工作台上；所述晶圆减薄设备还上述任一所述的清洗装置，所述清洗装置用于对所述卡盘工作台及所述卡盘工作台上的晶圆进行清洗。
[0021]进一步地，所述晶圆减薄设备还包括机架，所述机架设于所述上下料装置与所述减薄装置之间，所述清洗装置设于所述机架上，且位于所述回转工作台上方。
[0022]进一步地，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
[0023]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0024]通过第一罩体使得箱体的第一端与第一清洗机构之间的区域得以被罩设住，第二罩体使得箱体的第二端与第二清洗机构之间的区域被罩设住，第三罩体则罩设两个清洗机构之间的区域，进而无论清洗机构怎么移动，都会有罩体在箱体上进行充分罩设，避免飞屑或者水雾进入箱体内部，对清洗机构的相关机械电气部件进行保护，保证清洗装置清洗功能的顺利实现。
附图说明
[0025]图1为本技术实施例中一种清洗装置的结构示意图；
[0026]图2为本技术实施例中一种罩体的结构示意图；
[0027]图3为本技术实施例中一种晶圆减薄设备的结构示意图一；
[0028]图4为本技术实施例中一种晶圆减薄设备的结构示意图二。
[0029]附图标记：
[0030]100、清洗装置；200、晶圆盒；300、上下料装置；400、减薄装置；500、机台；600、机架；401、回转工作台；402、卡盘工作台；
[0031]10、箱体；20、第一清洗机构；30、第二清洗机构；40、第一罩体；50、第二罩体；60、第三罩体；
[0032]21、第一工作台；22、第一清洗件；221、第一驱动件；222、油石磨轮；223、第二驱动件；224、第一刷体；31、第二工作台；32、第二清洗件；321、第三驱动件；322、第二刷体；41、双向卷簧；411、中间轴；412、上行卷簧；413、下行卷簧；42、第一遮盖体；43、第二遮盖体。
具体实施方式
[0033]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0034]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0036]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括箱体(10)、设于所述箱体(10)上的第一清洗机构(20)和第二清洗机构(30)，所述箱体(10)具有沿第一方向的第一端和第二端，所述第一清洗机构(20)和所述第二清洗机构(30)分别位于所述箱体(10)的所述第一端和所述第二端，且二者均能够在所述箱体(10)上沿所述第一方向移动；所述清洗装置还包括：第一罩体(40)，所述第一罩体(40)设于所述箱体(10)的所述第一端与所述第一清洗机构(20)之间；第二罩体(50)，所述第二罩体(50)设于所述箱体(10)的第二端与所述第二清洗机构(30)之间；第三罩体(60)，所述第三罩体(60)设于所述第一清洗机构(20)和所述第二清洗机构(30)之间。2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一罩体(40)、所述第二罩体(50)及所述第三罩体(60)的结构相同，均包括双向卷簧(41)、第一遮盖体(42)和第二遮盖体(43)；所述双向卷簧(41)包括中间轴(411)、上行卷簧(412)和下行卷簧(413)，所述上行卷簧(412)和所述下行卷簧(413)叠设后，一端均卷接在所述中间轴(411)上，另一端位于外侧的上行卷簧(412)在上方伸出，位于内侧的下行卷簧(413)在下方伸出，所述上行卷簧(412)和所述下行卷簧(413)的伸出方向相背；所述第一遮盖体(42)设于所述上行卷簧(412)上，所述第二遮盖体(43)设于所述下行卷簧(413)上。3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述上行卷簧(412)和所述下行卷簧(413)的伸出方向均与所述第一方向平行。4.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述第一罩体(40)的所述第一遮盖体(42)和所述第二遮盖体(43)二者中的一个与所述箱体(10)的所述第一端相连，另一个与所述第一清洗机构(20)相连；所述第二罩体(50)的所述第一遮盖体(42)和所述第二遮盖体(43)二者中的一个与所述箱体(10)的所述第二端相连，另一个与所述第二清洗机构(30)相连；所述第三罩体(60)的所述第一遮盖体(42)和所述第二遮盖体(43)二者中的一个与所述第一清洗机构(20)相连，另一个与所述第二清洗机构(30)相连。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：万先进，单保淋，李文超，边逸军，
申请(专利权)人：宁波芯丰精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：