一种自动晶圆贴膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种自动晶圆贴膜机，包括柜体，所述柜体分为上半部分和下半部分，上半部分的后方及上班部分的左侧及右侧均为双开门设置，且两两相对，下半部分的后侧为单开门设置，下半部分的左侧及右侧均为两个单开门设置，下半部分左侧的一个单开门上安装有输入输出模块，柜体的前方安装有电控前右门，电控前右门上安装有操控面板，柜体位于操作面板的下方安装有键盘连接架，柜体位于操作面板的上端安装有空气洁净检测模块和显示器。本发明专利技术结构简单，四面都设有双开门和单开门，使得能在任意一面打开柜体，且透过封板能清晰的看清内部的设备，方便了观察，外观设计合理，并且外观简洁大方，配色鲜明。配色鲜明。配色鲜明。

【技术实现步骤摘要】
一种自动晶圆贴膜机


[0001]本专利技术涉及贴膜
，具体涉及一种自动晶圆贴膜机。

技术介绍

[0002]贴膜机是专门用于电子/通讯/半导体等行业贴保护膜及防暴膜的机器，可确保无气泡无擦痕贴膜。目前，有些设备的外观设计不合理，四周的阻挡面积较大，造成不方便观察和操作。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种自动晶圆贴膜机，设备的外观设计合理，并且外观简洁大方，配色鲜明。
[0004]本专利技术是通过以下技术方案来实现的：一种自动晶圆贴膜机，包括柜体，所述柜体分为上半部分和下半部分，上半部分的后方及上班部分的左侧及右侧均为双开门设置，且两两相对，下半部分的后侧为单开门设置，下半部分的左侧及右侧均为两个单开门设置，下半部分左侧的一个单开门上安装有输入输出模块，柜体的前方安装有电控前右门，电控前右门上安装有操控面板，柜体位于操作面板的下方安装有键盘连接架，柜体位于操作面板的上端安装有空气洁净检测模块和显示器。
[0005]作为优选的技术方案，柜体上半部分的后方的双开门为后左门和后右门，上半部分左侧的双开门为左侧左侧门和左侧右侧门，上半部分右侧的双开门为右侧左侧门和右侧右侧门，后左门、后右门、左侧左侧门、左侧右侧门、右侧左侧门和右侧右侧门均相对设置，且均通过低沉合页安装于柜体上，后左门、后右门、左侧左侧门、左侧右侧门、右侧左侧门和右侧右侧门的中间均设有观察口，观察口中均安装有封板。
[0006]作为优选的技术方案，柜体下半部分的后方的单开门为下后门，下半部分左侧的两个单开门为电控左侧左门和电控左侧右门，下半部分右侧的两个单开门为电控右侧左门和电控右侧右门，下后门、电控左侧左门、电控左侧右门、电控右侧左门和电控右侧右门均通过圆柱锁固定于柜体上，下后门、电控左侧左门、电控左侧右门、电控右侧左门和电控右侧右门上均安装有风扇百叶窗，下后门、电控左侧左门、电控左侧右门、电控右侧左门和电控右侧右门位于风扇百叶窗上端处均安装后拉手。
[0007]作为优选的技术方案，柜体的顶面上设有通孔和四色灯，通孔中安装有空气净化器。
[0008]作为优选的技术方案，柜体的底面上安装有方通机架，柜体底面的四个角上均安装有脚杯和脚轮。
[0009]作为优选的技术方案，上半部分的后方、左侧及右侧的双开门上均安装有急停按钮。
[0010]本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，四面都设有双开门和单开门，使得能在任意一面打开柜体，方便了对其进行操作，且双开门上均设有封板，透过封板能清晰的看清内
部的设备，方便了观察，且外观设计合理，并且外观简洁大方，配色鲜明。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0013]图2为本专利技术的前视图；
[0014]图3为本专利技术的左视图；
[0015]图4为本专利技术的右视图；
[0016]图5为本专利技术的俯视图；
[0017]图6为本专利技术的仰视图。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0019]本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
[0020]本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
[0021]如图1
‑
图6所示，本专利技术的一种自动晶圆贴膜机，包括柜体1，所述柜体1分为上半部分和下半部分，上半部分的后方及上班部分的左侧及右侧均为双开门设置，且两两相对，下半部分的后侧为单开门设置，下半部分的左侧及右侧均为两个单开门设置，下半部分左侧的一个单开门上安装有输入输出模块，柜体1的前方安装有电控前右门13，电控前右门13上安装有操控面板4，柜体1位于操作面板的下方安装有键盘连接架5，柜体1位于操作面板的上端安装有空气洁净检测模块12和显示器3。
[0022]本实施例中，柜体1上半部分的后方的双开门为后左门和后右门，上半部分左侧的双开门为左侧左侧门16和左侧右侧门17，上半部分右侧的双开门为右侧左侧门6和右侧右侧门7，后左门、后右门、左侧左侧门16、左侧右侧门17、右侧左侧门6和右侧右侧门7均相对设置，且均通过低沉合页安装于柜体1上，后左门、后右门、左侧左侧门16、左侧右侧门17、右侧左侧门6和右侧右侧门7的中间均设有观察口，观察口中均安装有封板14。
[0023]本实施例中，柜体1下半部分的后方的单开门为下后门，下半部分左侧的两个单开门为电控左侧左门26和电控左侧右门18，下半部分右侧的两个单开门为电控右侧左门37和电控右侧右门8，下后门、电控左侧左门26、电控左侧右门18、电控右侧左门37和电控右侧右门8均通过圆柱锁固定于柜体1上，下后门、电控左侧左门26、电控左侧右门18、电控右侧左门37和电控右侧右门8上均安装有风扇百叶窗9，下后门、电控左侧左门、电控左侧右门、电
控右侧左门和电控右侧右门位于风扇百叶窗上端处均安装后拉手15。
[0024]本实施例中，柜体1的顶面上设有通孔和四色灯2，通孔中安装有空气净化器13。
[0025]本实施例中，柜体1的底面上安装有方通机架31，柜体1底面的四个角上均安装有脚杯33和脚轮32，方通机架材质为A3碳素钢。
[0026]本实施例中，上半部分的后方、左侧及右侧的双开门上均安装有急停按钮11。
[0027]其中，操控面板上安装有触摸屏、气源负压数显压力开关、气源正压数显压力开关、贴合滚轮正压数显压力开关、供膜张紧正压数显压力开关、收膜张紧正压数显压力开关、机械手臂负压数显压力开关、操作盒、急停按钮开关、载台接料负压数显压力开关、电源按钮；载台外圈负压数显压力开关、启动按钮、载台内圆负压数显压力开关、通讯接口和校准托盘负压数显压力开关，其中，键盘连接架上安装有鼠键托板，鼠标托板的丝印颜色为PANTONE 7545U。
[0028]其中，输入输出模块的丝印字体为紫色宋体，输入输出模块安装于接口安装板上，接口安装板安装于左侧左侧门上，输入输出模块包括负压起源隔板直通28、正压气源隔板直通27、排气洁净器29、调压过滤器25、电源开关21、串口A22、串口B23、网口A37、网口B34、接地香蕉插头35、交流220V电源接口36。
[0029]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动晶圆贴膜机，其特征在于：包括柜体(1)，所述柜体(1)分为上半部分和下半部分，上半部分的后方及上班部分的左侧及右侧均为双开门设置，且两两相对，下半部分的后侧为单开门设置，下半部分的左侧及右侧均为两个单开门设置，下半部分左侧的一个单开门上安装有输入输出模块，柜体(1)的前方安装有电控前右门(13)，电控前右门(13)上安装有操控面板(4)，柜体(1)位于操作面板的下方安装有键盘连接架(5)，柜体(1)位于操作面板的上端安装有空气洁净检测模块(12)和显示器(3)。2.根据权利要求1所述的自动晶圆贴膜机，其特征在于：柜体(1)上半部分的后方的双开门为后左门和后右门，上半部分左侧的双开门为左侧左侧门(16)和左侧右侧门(17)，上半部分右侧的双开门为右侧左侧门(6)和右侧右侧门(7)，后左门、后右门、左侧左侧门(16)、左侧右侧门(17)、右侧左侧门(6)和右侧右侧门(7)均相对设置，且均通过低沉合页安装于柜体(1)上，后左门、后右门、左侧左侧门(16)、左侧右侧门(17)、右侧左侧门(6)和右侧右侧门(7)的中间均设有观察口，观察口中均安装有封板(14)。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：孙勇，杨其生，贺东林，
申请(专利权)人：深圳市博辉特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：