本申请公开了一种植球装置，涉及植球技术领域，其包括植球网板，设有与晶圆PAD点对应的网孔，用于让锡球落入晶圆上；供球组件，用于定量供应锡球至植球网板上；植球组件，用于使锡球从植球网板植入到晶圆上；所述供球组件包括料盒和驱动料盒沿X方向转动的驱动件，所述料盒内设有填料腔、与填料腔连通的输料道，所述填料腔和输料道的连通处形成有进料口，初始状态下，所述填料腔内的锡球从进料口进入输料道内，当驱动件驱动料盒转动进入供球状态，所述进料口位于填料腔和输料道的上方，锡球从所述输料道落入植球网板上。本申请实现了锡球的自动、定量供应。定量供应。定量供应。
【技术实现步骤摘要】
一种植球装置
[0001]本申请涉及植球
，尤其是涉及一种植球装置。
技术介绍
[0002]晶圆植球是一种高端半导体封装技术，用于将锡球精准放置于已经印刷助焊剂的晶圆上，植球时需要大量的锡球，供球是其关键技术之一。
[0003]目前植球设备主要是采用人工供球的方式，授权公告号CN203774257U的中国专利公开了采用手工操作，此种方式不能把握锡球的供应量，有时会出现浪费锡球的现象，在工厂大批量生产情况下，植球质量受人工操作的影响，即现有供球方式，存在改进之处。
技术实现思路
[0004]为了实现自动、定量供应锡球，本申请提供一种植球装置。
[0005]本申请提供的一种植球装置采用如下的技术方案：一种植球装置，包括植球网板，设有与晶圆PAD点对应的网孔，用于让锡球落入晶圆上；供球组件，用于定量供应锡球至植球网板上；植球组件，用于使锡球从植球网板植入到晶圆上；所述供球组件包括料盒和驱动料盒沿X方向转动的驱动件，所述料盒内设有填料腔、与填料腔连通的输料道，所述填料腔和输料道的连通处形成有进料口，初始状态下，所述填料腔内的锡球从进料口进入输料道内，当驱动件驱动料盒转动进入供球状态，所述进料口位于填料腔和输料道的上方，锡球从所述输料道落入植球网板上。
[0006]通过采用上述技术方案，将晶圆固定在植球网板对应位置的下方，等待植球，而后将锡球填充进填料腔内，填料腔内的锡球会进入输料道内，处于待供球状态，驱动件驱动料盒转动一定角度，使得输料道的输料口朝向植球网板上，此时进料口位于填料腔和输料道的上方，即填料腔内的锡球不会再进入输料道内，即输料道内落入植球网板上的锡球是定量的，实现了定量、自动供球作业，随后植球组件将锡球植入到晶圆上，实现植球作业。
[0007]优选的，所述输料道由定量存料腔和出料腔组成，所述进料口形成于定量存料腔和填料腔之间，所述出料腔位于定量存料腔远离进料口的一端，所述定量存料腔沿远离进料口的方向呈倾斜向下设置，所述出料腔沿远离定量存料腔的方向呈倾斜向上设置，所述填料腔位于定量存料腔的上方。
[0008]通过采用上述技术方案，存料腔呈倾斜向下设置，便于锡球进入存料腔内，另外出料腔呈倾斜向上设置，即存料腔内的锡球不会立马进入其中，即定量中的量指的是定量存料腔可容纳的锡球数量，在驱动件驱动料盒转动一定角度后，锡球会经过出料腔的缓冲之后均匀滑落出，有助于提高锡球滑落的均匀度。
[0009]优选的，包括基台，所述植球网板设置在基台的中部，所述基台位于植球网板的一侧滑移连接有安装座，所述料盒转动连接在安装座上，所述驱动件设置在安装座上，所述基
台上设置有用于驱动安装座往复滑移的驱动组件，所述安装座的滑移方向与料盒的转动轴线方向平行。
[0010]通过采用上述技术方案，在供球状态下，可利用驱动组件驱动安装座滑移，此时从出料腔滑落出来的锡球，会均匀沿着植球网板一侧的长度方向排布，不会冗余在一起，便于后续植球时，能够高效地将锡球植入晶圆内。
[0011]优选的，所述驱动组件包括皮带轮组件和驱使皮带轮组件运动的伺服电机，所述安装座固设在皮带轮组件的皮带上。
[0012]通过采用上述技术方案，在运转驱动件使得料盒转动至供料状态的同时，运转伺服电机，使得安装座带动料盒沿X方向做直线运动，实现安装座的往复运动。
[0013]优选的，所述驱动件设置为固设在安装座上的驱动气缸，所述驱动气缸活塞杆的伸缩方向呈水平且与安装座的滑移方向垂直，所述驱动气缸的活塞杆端部固设置有联动板，所述料盒的侧壁上设有联动块，所述联动块位于料盒转动连接处远离植球网板的一侧，所述联动板上沿竖直方向开设有滑移槽，所述联动块滑移在滑移槽内。
[0014]通过采用上述技术方案，运转驱动气缸，驱使联动板移动，此时联动块会在滑移槽内进行滑移，实现料盒的翻转动作。
[0015]优选的，所述安装座位于远离料盒转动连接处的一侧设有缓冲器，所述缓冲器与料盒的底部抵接并使料盒具有向植球网板一侧翻转的趋势。
[0016]通过采用上述技术方案，利用缓冲器与料盒的底部抵接，使得料盒具有向植球网板一侧翻转的趋势，即使得联动块在滑移槽内具有向上滑移的趋势，有助于联动板移动时，联动块能够流畅的在滑移槽内移动，以防出现卡死的情况；另外在驱动件驱动料盒回转时，利用缓冲器可起到缓冲的作用。
[0017]优选的，所述基台沿安装座的滑移方向设有安装块，所述安装块的两端均设有接近型传感器，所述安装座上设置有感应块，用于与接近型传感器的感应面接触，所述接近型传感器与外部报警器信号连接。
[0018]通过采用上述技术方案，安装座的往复运动范围在两个接近型传感器之间，当安装座上的感应块与接近型传感器的感应面接触时，代表安装座偏离了自身的运动行程，此时会传递信号至报警器发出报警声音，并关闭伺服电机，起到保护作用，有助于提高该装置的安全性能。
[0019]优选的，所述植球组件包括固设在基台上的六轴机械手和安装在六轴机械手上的刮板，所述刮板将锡球通过植球网板上的网孔植入晶圆上。
[0020]通过采用上述技术方案，六轴机械手带动刮板移动，使得刮板沿设定路径刮动锡球，使得锡球均匀从植球网板上的网孔落入晶圆上，实现植球作业。
[0021]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.首先将锡球填充进料盒的填料腔内，而后填料腔内的锡球会从进料口进入定量存料腔内，而后驱动件驱动料盒转动一定角度，使得进料口位于填料腔和定量存料腔的上部，即使得两个腔室分离，此时定量存料腔内的锡球会定量从出料腔滚落进植球网板上，即该植球装置实现了自动、定量供球作业；2.借助缓冲器与料盒的底部抵接，使得料盒处于向植球网板侧翻转的趋势，即使得联动块在滑移槽内有向上滑移的趋势，即有助于使得联动板在移动的时候，联动块能够
流畅的在滑移槽内滑移，进而实现料盒的转动，以防联动块在联动板上卡死。
附图说明
[0022]图1为本申请实施例的整体结构示意图；图2为本申请实施例的部分机构示意图，主要体现供球组件和驱动组件的结构；图3为本申请实施例中料盒的内部结构示意图；图4为本申请实施例料盒的的供料状态示意图，主要体现联动板和联动块的结构。
[0023]附图标记：1、基台；11、安装块；12、接近型传感器；2、植球网板；3、供球组件；31、料盒；311、分隔板；312、联动块；32、驱动气缸；4、植球组件；41、六轴机械手；42、刮板；5、安装座；51、缓冲器；52、感应块；6、驱动组件；61、皮带轮组件；62、伺服电机；7、填料腔；8、输料道；81、定量存料腔；82、出料腔；821、出料口；9、进料口；10、联动板；101、滑移槽。
具体实施方式
[0024]以下结合附图1
‑
4对本申请作进一步详细说明。
[0025]本申请实施例公开一种植球装置。
[0026]参照图1，植球装置包括基台1，基台1的中部固定连接有植球网板2，植球网板2上设有与晶本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种植球装置，其特征在于：包括植球网板(2)，设有与晶圆PAD点对应的网孔，用于让锡球落入晶圆上；供球组件(3)，用于定量供应锡球至植球网板(2)上；植球组件(4)，用于使锡球从植球网板(2)植入到晶圆上；所述供球组件(3)包括料盒(31)和驱动料盒(31)沿X方向转动的驱动件，所述料盒(31)内设有填料腔(7)、与填料腔(7)连通的输料道(8)，所述填料腔(7)和输料道(8)的连通处形成有进料口(9)，初始状态下，所述填料腔(7)内的锡球从进料口(9)进入输料道(8)内，当驱动件驱动料盒(31)转动进入供球状态，所述进料口(9)位于填料腔(7)和输料道(8)的上方，锡球从所述输料道(8)落入植球网板(2)上。2.根据权利要求1所述的一种植球装置，其特征在于：所述输料道(8)由定量存料腔(81)和出料腔(82)组成，所述进料口(9)形成于定量存料腔(81)和填料腔(7)之间，所述出料腔(82)位于定量存料腔(81)远离进料口(9)的一端，所述定量存料腔(81)沿远离进料口(9)的方向呈倾斜向下设置，所述出料腔(82)沿远离定量存料腔(81)的方向呈倾斜向上设置，所述填料腔(7)位于定量存料腔(81)的上方。3.根据权利要求2所述的一种植球装置，其特征在于：包括基台(1)，所述植球网板(2)设置在基台(1)的中部，所述基台(1)位于植球网板(2)的一侧滑移连接有安装座(5)，所述料盒(31)转动连接在安装座(5)上，所述驱动件设置在安装座(5)上，所述基台(1)上设置有用于驱动安装座(5)往复滑移的驱动组件(6)，所述安装座(5)的滑移方向与料盒(31)的转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽洋，张杰，杨帆，
申请(专利权)人：上海微松工业自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：
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