发光器件及其制备方法、显示器件技术

本申请属于显示技术领域，尤其涉及一种发光器件及其制备方法。其中，发光器件的制备方法包括步骤：获取待蒸镀金属电极层的半器件；在预设温度条件下在所述半器件的待蒸镀表面进行蒸镀沉积金属电极层，得到发光器件。本申请发光器件的制备方法，在金属电极动态沉积的同时，半器件在加热环境中进行原位热处理，不但使金属电极膜层致密性好，厚度均一；而且促进了界面层粒子的扩散，从而优化了功能层界面接触，有利于载流子迁移传输，提高了载流子迁移传输效率，提高了发光器件稳定性。提高了发光器件稳定性。提高了发光器件稳定性。

【技术实现步骤摘要】
发光器件及其制备方法、显示器件


[0001]本申请属于显示
，尤其涉及一种发光器件及其制备方法，一种显示器件。

技术介绍

[0002]量子点发光二极管(QLED)、有机发光二极管(OLED)等发光器件，由于具有连续可调的发光光谱、亮度高、色纯度高等的独特光学物理特性，成为下一代显示和照明领域的有力竞争者。其中，QLED器件，广泛采用由阳极、有机空穴传输层、发光层、无机电子传输层和金属阴极构成的三明治结构。
[0003]目前，对于器件中的阴极金属电极广泛采用真空蒸镀的沉积方式，该方式沉积金属电极时，在低真空度下，电加热蒸发金属作为蒸发源，然后再沉积在常温下的有其他功能层的半成品器件上，通过掩模板形成相应所需形状面积的阴极金属电极。然而，目前阴极金属电极采用的真空蒸镀沉积方式，容易产生金属原子的聚集堆积，形成不规则的金属颗粒，粗糙度增加，电极致密性降低，金属电极容易产生针孔或者凸起等缺陷，容易产生水氧侵蚀。并且，对于氧化锌等无机金属纳米颗粒沉积成的电子传输薄膜层表面缺陷的填充性能效果有待提升，影响金属电极与其他功能层之间的界面接触，不利于电荷的界面传输。另外，金属电极在真空蒸镀沉积时，由于蒸发源是一个点状的独立源，在散射状的金属原子束流的边缘浓度相对较低，致使掩膜版边缘的器件上沉积的金属原子较中间少，器件之间的电极厚度差异会导致器件性能的差异。
[0004]因此，如何通过优化金属电极在功能层上的沉积过程，来提高金属电极的致密性、与功能之间的界面接触，以及缩短或者消除器件在提高性能时所需正向老化的时间，成了改善器件性能和缩短器件后处理的时间成本关键。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种发光器件及其制备方法，一种显示器件，旨在一定程度上解决现有真空蒸镀方式制备的金属电极致密性差的问题。
[0006]为实现上述申请目的，本申请采用的技术方案如下：
[0007]第一方面，本申请提供一种发光器件的制备方法，包括以下步骤：
[0008]获取待蒸镀金属电极层的半器件；
[0009]在预设温度条件下，在所述半器件的待蒸镀表面进行蒸镀沉积金属电极层，得到发光器件。
[0010]第二方面，本申请提供一种发光器件，所述发光器件由上述的制备方法制得。
[0011]第三方面，本申请提供一种显示器件，包含有上述的发光器件。
[0012]本申请第一方面提供的发光器件的制备方法，在预设温度条件下，在所述半器件的待蒸镀表面进行蒸镀沉积金属电极层，得到发光器件。一方面，在制备金属电极的同时半器件处于预设温度的加热环境中，即达到金属电极动态沉积下的原位热处理作用，金属蒸气达到在半器件表面时半器件表面有一定的温度，减少因金属蒸气骤冷沉积产生的金属颗
粒无规则运动所引发的针孔和大凸起。同时，边沉积边在预设温度的加热环境中也能让金属原子保持更高的迁移性活性，不但能使表面晶粒的排列更加紧密均匀，形成更加致密厚度均一的金属电极层，而且能促进金属粒子向半器件功能层界面扩散，使金属粒子更好地沉积填充在半器件的待蒸镀表面形成光滑致密的界面接触，有利于载流子在界面传输。另一方面，在制备金属电极的同时半器件处于预设温度的加热环境中，能结合蒸镀沉积时的环境更好地去除半器件功能层表面附着的气体，从而降低金属蒸气在功能层表面沉积的表面应力，降低功能层表面附着气体分子对金属粒子沉积的影响。再一方面，在预设温度的加热环境中沉积金属电极，可直接促进金属粒子在界面功能层扩散，优化接触界面，而不需要在形成金属电极薄膜后再通过加热处理促进界面融合，缩短甚至消除器件在提高性能时所需正向老化的时间，减少了后期老化处理的时间成本。
[0013]本申请第二方面提供的发光器件，由采用了上述在金属电极动态沉积的同时，半器件在预设温度的加热环境中进行原位热处理的方式进行制备，不但使金属电极膜层致密性好，厚度均一；而且促进了界面层粒子的扩散，从而优化了功能层界面接触，有利于载流子迁移传输，提高了载流子迁移传输效率，提高了发光器件稳定性。
[0014]本申请第三方面提供的显示器件，由于包含有上述载流子迁移传输效率高，发光稳定性的发光器件，因而显示器件发光效率高，光电性能稳定。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本申请实施例提供的发光器件的制备方法的流程示意图；
[0017]图2是本申请实施例提供的发光器件蒸镀金属电极的示意图；
[0018]图3是本申请实施例提供的加热源沿固定盘中心向边缘温度递增示意图。
[0019]图4是本申请实施例提供的发光器件结构示意图；
[0020]图5是本申请实施例2提供的加热温度随蒸镀时间的变化关系图；
[0021]图6是本申请实施例和对比例提供的发光器件的电流密度测试图。
具体实施方式
[0022]为了使本申请要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0023]本申请中，术语“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B的情况。其中A，B可以是单数或者复数。
[0024]本申请中，“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，“a,b,或c中的至少一项(个)”，或，“a,b,和c中的至少一项(个)”，均可以表
示：a,b,c,a
‑
b(即a和b),a
‑
c,b
‑
c,或a
‑
b
‑
c，其中a,b,c分别可以是单个，也可以是多个。
[0025]应理解，在本申请的各种实施例中，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，部分或全部步骤可以并行执行或先后执行，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
[0026]如附图1所示，本申请实施例第一方面提供一种发光器件的制备方法，包括以下步骤：
[0027]S10.获取待蒸镀金属电极层的半器件；
[0028]S20.在预设温度条件下，在半器件的待蒸镀表面进行蒸镀沉积金属电极层，得到发光器件。
[0029]本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：获取待蒸镀金属电极层的半器件；在预设温度条件下，在所述半器件的待蒸镀表面进行蒸镀沉积金属电极层，得到发光器件。2.如权利要求1所述的发光器件的制备方法，其特征在于，所述预设温度范围为50℃～150℃。3.如权利要求1所述的发光器件的制备方法，其特征在于，所述预设温度与所述金属电极层的沉积厚度呈线性或非线性递增的趋势。4.如权利要求2所述的发光器件的制备方法，其特征在于，所述预设温度沿所述半器件的中心向边缘方向呈递增趋势。5.如权利要求4所述的发光器件的制备方法，其特征在于，沿所述半器件的中心向边缘方向，将所述半器件划分成若干个同中心区域，越靠近中心的区域预设温度越低。6.如权利要求5所述的发光器件的制备方法，其特征在于，各区域的预设温度沿所述半器件的中心向边缘方向以30℃～50℃的幅度递增。7.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖学森，严怡然，张建新，敖资通，杨帆，
申请(专利权)人：TCL科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：