单晶炉加料装置及单晶生产设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶生产领域，提供一种单晶炉加料装置及单晶生产设备，其中，单晶炉加料装置，包括：转斗机构和加料机构，转斗机构包括转斗和角度调节模块，转斗用于承装物料，角度调节模块与转斗连接，用以控制转斗中物料的倾倒角度；加料机构用以将进入加料机构的物料输送至单晶炉。用以解决现有技术中结构复杂，成本高，重心较高，在加料装置移动过程中稳定性较差的缺陷，本实用新型专利技术提供的单晶炉加料装置，通过在加料机构上方设置转斗机构，转斗机构的角度调节模块控制转斗的倾斜角度，以控制转斗中物料的倾倒速度，简化加料装置，降低成本，同时降低加料装置的重心，使加料装置在移动过程中稳定性更好。动过程中稳定性更好。动过程中稳定性更好。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉加料装置及单晶生产设备


[0001]本技术涉及单晶生产
，尤其涉及一种单晶炉加料装置及单晶生产设备。

技术介绍

[0002]半导体产业的快速发展促使单晶炉的生产具有连续性，高效性，且需要节省拉晶生产的成本，在单晶炉第一次投料时，由于硅料呈固态颗粒状，在石英坩埚内成堆积状态，但是在经过高温熔化后，硅料变成液态，体积会比原来的固态的体积大幅缩小，石英坩埚的上部还会有很大的空间，这样会造成拉出的晶棒长度不够长。多次加料可以在硅料融化成液体后，继续增加硅料，使石英坩埚内的硅液尽量盛满，这样可以在充分利用石英坩埚的体积，一次拉出较长的硅棒。
[0003]目前，单晶炉多采用侧面多次加料，充分利用晶棒在副室和炉内冷却的时间对单晶炉进行阶段性加料，能有效降低无效时间，提高单晶产能。现有技术采用上下两级振动器进行加料，该种加料方式结构复杂，增加了加料装置的成本，由于重心较高，在加料装置移动过程中稳定性较差。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种单晶炉加料装置及单晶生产设备，用以解决现有技术中采用上下两级振动器进行加料，该种加料方式结构复杂，增加了加料装置的成本，由于重心较高，在加料装置移动过程中稳定性较差的缺陷，实现简化加料装置，降低成本，降低加料装置重心，使其更加稳定。
[0005]本技术提供一种单晶炉加料装置，包括：
[0006]转斗机构，所述转斗机构包括转斗和角度调节模块，所述转斗用于承装物料，所述角度调节模块与所述转斗连接，用以控制所述转斗中物料的倾倒角度；
[0007]加料机构，所述加料机构置于所述转斗的第一出料口的下方，用以将进入所述加料机构的物料输送至单晶炉。
[0008]根据本技术提供的单晶炉加料装置，还包括料仓，所述料仓用于存储物料，所述料仓包括第二出料口，所述转斗置于所述第二出料口下方，所述转斗用以控制所述第二出料口的出料速度。
[0009]根据本技术提供的单晶炉加料装置，所述转斗的所述第一出料口相对的一端可转动连接，所述角度调节模块的伸缩端与所述转斗连接，所述角度调节模块的伸缩量用以控制所述转斗中物料的倾倒角度。
[0010]根据本技术提供的单晶炉加料装置，所述转斗机构还包括门模块，所述门模块一端与所述第一出料口侧的所述转斗可转动连接，所述门模块另一端与固定杆可转动连接，所述门模块用以控制所述第一出料口的开口大小。
[0011]根据本技术提供的单晶炉加料装置，所述加料机构包括加料模块和伸缩模
块；
[0012]所述加料模块置于所述第一出料口下方，所述加料模块用于将落入其中的物料输送至所述单晶炉；
[0013]所述伸缩模块与所述加料模块连接，用于驱动所述加料模块相对于所述单晶炉伸缩。
[0014]根据本技术提供的单晶炉加料装置，所述伸缩模块包括驱动件和导向件；
[0015]所述导向件与所述加料模块滑动配合，以对所述加料模块的运动进行导向；
[0016]所述驱动件与所述加料模块连接，用以驱动所述加料模块沿所述导向件运动。
[0017]根据本技术提供的单晶炉加料装置，还包括支架机构，所述料仓置于所述支架机构的上方，所述支架机构用于承托所述料仓，所述转斗机构安装在所述支架机构上。
[0018]根据本技术提供的单晶炉加料装置，所述支架机构包括第一支架、第二支架和称重组件；
[0019]所述第一支架置于所述第二支架上方，所述料仓安装在所述第一支架上方，所述转斗机构安装在所述第一支架上；
[0020]所述称重组件置于所述第一支架与所述第二支架之间，用以称取所述第一支架、所述料仓和所述转斗机构的重量。
[0021]根据本技术提供的单晶炉加料装置，所述支架机构还包括U型板，所述U型板置于所述第一支架与所述称重组件之间，所述转斗机构安装在所述U型板上；
[0022]其中，所述U型板朝向所述加料机构的一侧开设有U型缺口，以使所述第一出料口倾倒的物料越过所述U型缺口进入所述加料机构中。
[0023]本技术还提供了一种单晶生产设备，包括单晶炉和上述的单晶炉加料装置。
[0024]本技术提供的单晶炉加料装置，通过在加料机构上方设置转斗机构，转斗机构的角度调节模块控制转斗的倾斜角度，以控制转斗中物料的倾倒速度，简化加料装置，降低成本，同时降低加料装置的重心，使加料装置在移动过程中稳定性更好。
[0025]进一步，在本技术提供的单晶生产设备中，由于具备如上所述的单晶炉加料装置，因此同样具备如上所述的各种优势。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1是本技术提供的单晶炉加料装置结构示意图之一；
[0028]图2是本技术提供的单晶炉加料装置结构示意图之二；
[0029]图3是本技术提供的转斗机构示意图；
[0030]图4是本技术提供的单晶炉加料装置外壳示意图。
[0031]附图标记：
[0032]100：转斗机构；101：转斗；102：角度调节模块；103：第一出料口；104：门模块；105：容料腔；106：固定杆；107：支座；200：加料机构；201：加料模块；202：伸缩模块；210：加料管；
211：进料口；212：振动器；220：导轨；221：丝杆；222：电机；300：料仓；301：第二出料口；400：支架机构；401：第一支架；402：称重组件；403：第二支架；404：U型板；410：U型缺口；500：外壳。
具体实施方式
[0033]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0035]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加料装置，其特征在于，包括：转斗机构，所述转斗机构包括转斗和角度调节模块，所述转斗用于承装物料，所述角度调节模块与所述转斗连接，用以控制所述转斗中物料的倾倒角度；加料机构，所述加料机构置于所述转斗的第一出料口的下方，用以将进入所述加料机构的物料输送至单晶炉。2.根据权利要求1所述的单晶炉加料装置，其特征在于，还包括料仓，所述料仓用于存储物料，所述料仓包括第二出料口，所述转斗置于所述第二出料口下方，所述转斗用以控制所述第二出料口的出料速度。3.根据权利要求1或2所述的单晶炉加料装置，其特征在于，所述转斗的所述第一出料口相对的一端可转动连接，所述角度调节模块的伸缩端与所述转斗连接，所述角度调节模块的伸缩量用以控制所述转斗中物料的倾倒角度。4.根据权利要求1或2所述的单晶炉加料装置，其特征在于，所述转斗机构还包括门模块，所述门模块一端与所述第一出料口侧的所述转斗可转动连接，所述门模块另一端与固定杆可转动连接，所述门模块用以控制所述第一出料口的开口大小。5.根据权利要求1或2所述的单晶炉加料装置，其特征在于，所述加料机构包括加料模块和伸缩模块；所述加料模块置于所述第一出料口下方，所述加料模块用于将落入其中的物料输送至所述单晶炉；所述伸缩模块与所述加料模块连接，用于驱动所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国久，石鹏飞，汪火成，
申请(专利权)人：三一集团有限公司，
类型：新型
国别省市：