一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置制造方法及图纸

技术编号:35509914 阅读:16 留言:0更新日期:2022-11-09 14:23
本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置,包括炉体,所述炉体的内顶部固定连接有斜管,所述斜管远离炉体的一侧固定连接有落料筒,所述落料筒与炉体之间共同安装有开闭组件,所述炉体的顶部固定连接有安装壳,所述安装壳的顶部安装有控量组件。本实用新型专利技术中,通过设置的开闭组件、落料筒、斜管、安装壳、控量组件和料斗,当料斗内添加一定量多晶硅料时,控量组件打开,多晶硅料通过安装壳和斜管进入落料筒内,需要加料时,通过闭合组件打开落料斗,多晶硅料落入石英坩埚内,加料更为方便快捷,无需另外使用升降装置进行操作,节省加料时间,同时控量组件有利于控制每次所需添加多晶硅料的量。次所需添加多晶硅料的量。次所需添加多晶硅料的量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置


[0001]本技术涉及单晶硅棒加工
,尤其涉及一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置。

技术介绍

[0002]单晶硅棒在生产时,需要将多晶硅料加入到单晶炉内,然后利用石墨加热器熔融石英坩埚中的多晶硅,然后在特定晶向的籽晶引导下,向上边旋转提拉边冷却,使液态硅逐渐按预定籽晶的晶向定向凝固成单晶硅棒;
[0003]目前再次加料装置在使用时,需要通过升降装置将添加有原料的投料桶提升至炉盖上部,接着将投料桶降至炉筒内坩埚的上方,效率极低,不利于连续加料,影响单晶硅棒的生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置,包括炉体,所述炉体的内顶部固定连接有斜管,所述斜管远离炉体的一侧固定连接有落料筒,所述落料筒与炉体之间共同安装有开闭组件,所述炉体的顶部固定连接有安装壳,所述安装壳的顶部安装有控量组件,所述安装壳的顶部固定连接有料斗。
[0006]进一步的,所述开闭组件包括第一固定块和第二固定块,且第一固定块和第二固定块均与炉体之间固定连接,所述第一固定块的顶部固定连接有第一电机,所述第一电机的驱动端固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮的底部啮合连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮的中心处固定连接有螺纹套,且螺纹套与第二固定块之间转动连接,第一电机驱动第一锥齿轮转动,从而通过第二锥齿轮带动螺纹套转动。
[0007]进一步的,所述螺纹套的内表面螺纹连接有丝杆,且丝杆垂直贯穿第二固定块的顶部延伸至落料筒的内部并与第二固定块之间滑动连接,所述丝杆的底部固定连接有锥形阀板,锥形阀板的设置,有利于多晶硅下落,同时也对下落的多晶硅具有缓冲作用。
[0008]进一步的,所述控量组件包括第二电机,且第二电机固定安装在安装壳的外表面,所述第二电机的驱动端固定连接有转轴,所述转轴的外表面固定连接有挡板,第二电机可以驱动转轴转动,从而通过转轴带动挡板转动。
[0009]进一步的,所述挡板的顶部固定安装有多个弹簧,多个所述弹簧的顶部共同固定连接料板,所述挡板的顶部对称安装有两个压力传感器,多晶硅落在料板上,从而通过料板对压力传感器进行挤压。
[0010]进一步的,所述炉体的顶部固定连接有炉管。
[0011]进一步的,所述炉体的内部安装有石英坩埚,且落料筒与石英坩埚相匹配。
[0012]本技术的有益效果:
[0013]本技术在使用时,该用于单晶硅棒加工的再次加料装置,通过设置的开闭组件、落料筒、斜管、安装壳、控量组件和料斗,当料斗内添加一定量多晶硅料时,控量组件打开,多晶硅料通过安装壳和斜管进入落料筒内,需要加料时,通过闭合组件打开落料斗,多晶硅料落入石英坩埚内,加料更为方便快捷,无需另外使用升降装置进行操作,节省加料时间,同时控量组件有利于控制每次所需添加多晶硅料的量。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图;
[0015]图2为本技术的控量组件结构示意图;
[0016]图3为本技术的第二电机安装示意图;
[0017]图4为本技术的开闭组件局部结构示意图。
[0018]图例说明:
[0019]1、炉体;2、石英坩埚;3、丝杆;4、炉管;5、第一电机;6、料斗;7、挡板;8、安装壳;9、斜管;10、落料筒;11、锥形阀板;12、转轴;13、压力传感器;14、料板;15、弹簧;16、第二电机;17、第一固定块;18、第二固定块;19、第二锥齿轮;20、螺纹套;21、第一锥齿轮。
具体实施方式
[0020]图1至图4所示,涉及一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置,包括炉体1,炉体1的内顶部固定连接有斜管9,斜管9远离炉体1的一侧固定连接有落料筒10,落料筒10与炉体1之间共同安装有开闭组件,炉体1的顶部固定连接有安装壳8,安装壳8的顶部安装有控量组件,安装壳8的顶部固定连接有料斗6。
[0021]炉体1的顶部固定连接有炉管4。
[0022]炉体1的内部安装有石英坩埚2,且落料筒10与石英坩埚2相匹配。
[0023]图1、图2和图3所示,控量组件包括第二电机16,且第二电机16固定安装在安装壳8的外表面,第二电机16的驱动端固定连接有转轴12,转轴12的外表面固定连接有挡板7。
[0024]挡板7的顶部固定安装有多个弹簧15,多个弹簧15的顶部共同固定连接料板14,挡板7的顶部对称安装有两个压力传感器13。
[0025]图1和图4所示,开闭组件包括第一固定块17和第二固定块18,且第一固定块17和第二固定块18均与炉体1之间固定连接,第一固定块17的顶部固定连接有第一电机5,第一电机5的驱动端固定连接有第一锥齿轮21,第一锥齿轮21的底部啮合连接有第二锥齿轮19,第二锥齿轮19的中心处固定连接有螺纹套20,且螺纹套20与第二固定块18之间转动连接。
[0026]螺纹套20的内表面螺纹连接有丝杆3,且丝杆3垂直贯穿第二固定块18的顶部延伸至落料筒10的内部并与第二固定块18之间滑动连接,丝杆3的底部固定连接有锥形阀板11。
[0027]在使用用于单晶硅棒加工的再次加料装置时,首先将料斗6与外部上料机构连接,上料机构间歇性将多晶硅料输送至料斗6内,多晶硅料落在料斗6内会对料板14产生压力,料板14会对压力传感器13进行挤压,当压力超过设定值时,压力传感器13将信号发送至单晶炉控制器,单晶炉控制器控制上料机构停止上料,同时控制第二电机16启动,第二电机16带动转轴12转动,从而通过挡板7带动料板14转动,多晶硅料通过安装壳8和斜管9落入落料筒10内,一段时间后控量组件复位,上料机构继续启动上料,当需要加料时,第一电机5带动
第一锥齿轮21转动,从而通过第二锥齿轮19带动螺纹套20转动,从而带动丝杆3下降,丝杆3带动锥形阀板11下降,多晶硅料落入石英坩埚2内,一段时间后,开闭组件将落料筒10底部封闭。
[0028]以上所述仅为本技术的较佳实施例,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内顶部固定连接有斜管(9),所述斜管(9)远离炉体(1)的一侧固定连接有落料筒(10),所述落料筒(10)与炉体(1)之间共同安装有开闭组件,所述炉体(1)的顶部固定连接有安装壳(8),所述安装壳(8)的顶部安装有控量组件,所述安装壳(8)的顶部固定连接有料斗(6)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置,其特征在于:所述开闭组件包括第一固定块(17)和第二固定块(18),且第一固定块(17)和第二固定块(18)均与炉体(1)之间固定连接,所述第一固定块(17)的顶部固定连接有第一电机(5),所述第一电机(5)的驱动端固定连接有第一锥齿轮(21),所述第一锥齿轮(21)的底部啮合连接有第二锥齿轮(19),所述第二锥齿轮(19)的中心处固定连接有螺纹套(20),且螺纹套(20)与第二固定块(18)之间转动连接。3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅棒加工的再次加料装置,其特征在于:所述螺纹套(20)的内表面螺纹连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:王永超李充郭城吕明李震郑学功王绍翔惠大成
申请(专利权)人:内蒙古科晟科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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