本实用新型专利技术公开了一种单晶硅棒生长检测装置，包括生长炉本体，所述生长炉本体的表面上设置有观察窗，所述生长炉本体的表面上对称固定安装有两个安装架，两个所述安装架位于观察窗的两侧，两个所述安装架的内部均设置有卡紧机构，所述卡紧机构的内部设置有安装板。本实用新型专利技术中，在对于单晶硅棒生长检测时，激光扫描仪对垂直向上生长的单晶硅棒进行实时扫描，扫描内部，单晶硅棒的表面生长状态，并反馈给处理器，通过处理器进行识别处理与预存的扫描样本进行对比，判断是否表面出现断棱或凹凸不平等缺陷，若出现断棱或凹凸不平等缺陷，报警器发出警报，同时配合设置的摄像头能够实时观察和生长炉本体内环境和生长状况。观察和生长炉本体内环境和生长状况。观察和生长炉本体内环境和生长状况。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒生长检测装置
[0001]本技术涉及单晶硅棒
，尤其涉及一种单晶硅棒生长检测装置。
技术介绍
[0002]单晶生长是将多晶体硅料经加热熔化，待温度合适后，经过将籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制。
[0003]目前，在单晶硅棒向上拉制生长过程中，只是从单晶棒生长炉的观察窗单纯依靠人眼观察来判断单晶硅棒是否断棱，这就不仅耗费人力，而且存在检测的不及时性和人为失误的情况发生，同时部分观察窗的外部设置有扫描检测设备，但安装的过程中较为繁琐，当检测设备出现损坏时，无法快速的拆除进行维修，为了解决这一难题，因此提出一种单晶硅棒生长检测装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶硅棒生长检测装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种单晶硅棒生长检测装置，包括生长炉本体，所述生长炉本体的表面上设置有观察窗，所述生长炉本体的表面上对称固定安装有两个安装架，两个所述安装架位于观察窗的两侧，两个所述安装架的内部均设置有卡紧机构，所述卡紧机构的内部设置有安装板，所述安装板位于观察窗的正前方，所述安装板的表面一侧固定安装有激光扫描仪，所述安装板的表面一侧固定安装有摄像头，所述摄像头位于激光扫描仪的正下方，所述安装板表面另一侧固定安装有处理器，所述安装板的表面另一侧固定安装有报警器，所述报警器位于处理器的一侧。
[0006]进一步的，所述卡紧机构包括两个竖杆，两个所述竖杆固定连接在安装架的内部，两个所述竖杆的外部套设滑动连接有滑板，两个所述竖杆的外部均套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与安装架的内侧壁和滑板的表面一侧固定连接，所述滑板的底部开设有卡口，所述滑板的顶部固定连接有拉杆，所述拉杆的顶部贯穿延伸至安装架的外部固定连接有手柄，能够便于快速的对安装板上的检测设备进行安装和拆卸，操作的过程中更加的便捷，实用性更强。
[0007]进一步的，所述生长炉本体的顶部对称固定安装有进料管，便于通过进料管进行加料，十分方便。
[0008]进一步的，所述激光扫描仪与处理器为电性连接，所述处理器与报警器为电性连接。
[0009]进一步的，所述激光扫描仪和摄像头分别与外部计算机相连接，能够便于通过计算机观察检测的结果情况，十分便捷。
[0010]进一步的，所述卡口与安装板为卡接连接，结构简单，便于对安装板安装时更加稳定。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]1、本技术通过设置的处理器、报警器和激光扫描仪，在对于单晶硅棒生长检测时，激光扫描仪对垂直向上生长的单晶硅棒进行实时扫描，扫描内部，单晶硅棒的表面生长状态，并反馈给处理器，通过处理器进行识别处理与预存的扫描样本进行对比，判断是否表面出现断棱或凹凸不平等缺陷，若出现断棱或凹凸不平等缺陷，报警器发出警报，同时配合设置的摄像头能够实时观察和生长炉本体内环境和生长状况。
[0013]2、本技术通过设置的卡接机构，当单晶硅棒生长检测的设备出现损坏时，利用手柄拉动拉杆进行移动，拉杆移动时可带动滑板进行移动，滑板在竖杆上滑动时可进行挤压弹簧，将滑板底部的卡口与安装板进行脱离，便于将其进行拆除，以便于对损坏的设备进行维修，避免以往方式时拆卸时较为繁琐，提高一定的工作效率，实用性更强。
附图说明
[0014]图1为本技术的一种单晶硅棒生长检测装置的主视图；
[0015]图2为本技术的一种单晶硅棒生长检测装置的卡紧机构的立体图；
[0016]图3为本技术的一种单晶硅棒生长检测装置的安装板的仰视图。
[0017]图例说明：
[0018]1、生长炉本体；2、处理器；3、观察窗；4、激光扫描仪；5、进料管；6、报警器；7、安装架；8、卡紧机构；81、手柄；82、竖杆；83、卡口；84、拉杆；85、弹簧；86、滑板；9、摄像头；10、安装板。
具体实施方式
[0019]参考图1
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3，一种单晶硅棒生长检测装置，包括生长炉本体1，生长炉本体1的表面上设置有观察窗3，生长炉本体1的表面上对称固定安装有两个安装架7，两个安装架7位于观察窗3的两侧，两个安装架7的内部均设置有卡紧机构8，卡紧机构8的内部设置有安装板10，安装板10位于观察窗3的正前方，安装板10的表面一侧固定安装有激光扫描仪4，安装板10的表面一侧固定安装有摄像头9，摄像头9位于激光扫描仪4的正下方，安装板10表面另一侧固定安装有处理器2，安装板10的表面另一侧固定安装有报警器6，报警器6位于处理器2的一侧，生长炉本体1的顶部对称固定安装有进料管5，激光扫描仪4与处理器2为电性连接，处理器2与报警器6为电性连接，激光扫描仪4和摄像头9分别与外部计算机相连接。
[0020]参考图2
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3，卡紧机构8包括两个竖杆82，两个竖杆82固定连接在安装架7的内部，两个竖杆82的外部套设滑动连接有滑板86，两个竖杆82的外部均套设有弹簧85，弹簧85的两端分别与安装架7的内侧壁和滑板86的表面一侧固定连接，滑板86的底部开设有卡口83，滑板86的顶部固定连接有拉杆84，拉杆84的顶部贯穿延伸至安装架7的外部固定连接有手柄81，卡口83与安装板10为卡接连接。
[0021]本技术在使用时，在对于单晶硅棒生长检测时，激光扫描仪4对垂直向上生长的单晶硅棒进行实时扫描，扫描内部，单晶硅棒的表面生长状态，并反馈给处理器2，通过处理器2进行识别处理与预存的扫描样本进行对比，判断是否表面出现断棱或凹凸不平等缺陷，若出现断棱或凹凸不平等缺陷，报警器6发出警报，同时配合设置的摄像头9能够实时观察和生长炉本体1内环境和生长状况，当单晶硅棒生长检测的设备出现损坏时，利用手柄81
拉动拉杆84进行移动，拉杆84移动时可带动滑板86进行移动，滑板86在竖杆82上滑动时可进行挤压弹簧85，将滑板86底部的卡口83与安装板10进行脱离，便于将其进行拆除，以便于对损坏的设备进行维修，避免以往方式时拆卸时较为繁琐，提高一定的工作效率，实用性更强。
[0022]以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒生长检测装置，包括生长炉本体（1），其特征在于：所述生长炉本体（1）的表面上设置有观察窗（3），所述生长炉本体（1）的表面上对称固定安装有两个安装架（7），两个所述安装架（7）位于观察窗（3）的两侧，两个所述安装架（7）的内部均设置有卡紧机构（8），所述卡紧机构（8）的内部设置有安装板（10），所述安装板（10）位于观察窗（3）的正前方，所述安装板（10）的表面一侧固定安装有激光扫描仪（4），所述安装板（10）的表面一侧固定安装有摄像头（9），所述摄像头（9）位于激光扫描仪（4）的正下方，所述安装板（10）表面另一侧固定安装有处理器（2），所述安装板（10）的表面另一侧固定安装有报警器（6），所述报警器（6）位于处理器（2）的一侧。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生长检测装置，其特征在于：所述卡紧机构（8）包括两个竖杆（82），两个所述竖杆（82）固定连接在安装架（7）的内部，两个所述竖杆（82）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李充，王永超，郭城，吕明，李震，郑学功，王绍翔，惠大成，
申请(专利权)人：内蒙古科晟科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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