一种单晶硅棒的制备工艺制造技术

本发明专利技术涉及单晶硅棒的制备技术领域，具体提出了一种单晶硅棒的制备工艺，用单晶硅棒的制备工艺在对单晶硅棒进行制作的过程中还具体涉及到一种单晶硅棒的制作设备，包括固定支座、裁切机构和清洗机构，根据提供的裁切机构和清洗机构的配合，能够将切割之后的单晶硅棒及时放置到清洗组件内，通过清洗组件对其进行酸洗处理，避免了传统的全部切割完成后在放置到另一个装置内进行酸洗处理，造成的增大劳动力和操作步骤繁琐的问题发生，根据提供的清洗组件，能够使得对单晶硅棒进行酸洗处理的酸洗液始终处于流动状态，通过液体的流动性使酸液均匀分布在单晶硅棒的表面，确保整个表面都能得到充分的清洗和处理。得到充分的清洗和处理。得到充分的清洗和处理。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒的制备工艺


[0001]本专利技术涉及单晶硅棒的制备
，具体提出了一种单晶硅棒的制备工艺。

技术介绍

[0002]单晶硅棒，也称为单晶硅块或硅单晶，是由纯度极高的硅材料制成的长形棒状晶体，单晶硅棒是制造集成电路和其他半导体器件的关键原材料，通过将单晶硅棒切割成薄片，可以制成晶体管、二极管、太阳能电池等各种半导体器件,同时单晶硅棒也广泛用于太阳能电池的制造，太阳能电池片通常是通过将单晶硅棒切割成薄片，并进行掺杂和涂层等工艺制成的,单晶硅棒的制备步骤一般如下所示：线锯切割：将单晶硅棒通过金刚石线锯切割成所需长度
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酸洗处理：以去除切割面上的氧化物和杂质
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超声波清洗：去除残留的污染物和杂质
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掺杂处理：杂质离子定向排列形成掺杂区
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抛光处理：以去除表面缺陷和提高光洁度
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氧化处理：形成绝缘层或氧化膜，得到所需单晶硅棒。
[0003]但是目前在对单晶硅棒进行制备的过程中还存在以下问题：1、在对单晶硅棒进行制备的过程中，传统的一般是将单晶硅棒全部进行切割之后再利用其他装置进行酸洗处理，这种方式需要操作者进行来回上下料，使得操作步骤繁琐的同时还增大了劳动力。
[0004]2、在对单晶硅棒进行酸洗处理的过程中，传统的酸洗液一般是静置状态，静置状态的酸洗液容易使得单晶硅棒表面无法得到充分的清洗和处理，进而使得单晶硅棒表面局部区域出现清理不均匀的现象发生，且静置状态的酸洗液还会影响单晶硅棒表面的污染物的溶解和扩散，进而降低了清洗的效率。
[0005]所以为了避免影响单晶硅棒在制备过程中清洗效率低和增大劳动力的问题，本专利技术提供了一种单晶硅棒的制备工艺。

技术实现思路

[0006]基于此，有必要提供一种单晶硅棒的制备工艺，旨在解决现有技术影响单晶硅棒在制备过程中清洗效率和增大劳动力的问题。
[0007]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案来实现：一种单晶硅棒的制备工艺，该单晶硅棒的制备工艺具体包括以下步骤。
[0008]S1、线锯切割：首先通过裁切机构对单晶硅棒切割成所需长度。
[0009]S2、酸洗处理：通过设置的清洗机构对步骤1中切割之后的单晶硅棒进行表面酸洗处理。
[0010]S3、超声波清洗：对步骤2中酸洗处理后的单晶硅棒进行超声波清洗。
[0011]S4、掺杂处理：通过离子注入设备将所需的杂质离子注入到步骤3清洗后的单晶硅棒表面。
[0012]S5、抛光处理：对步骤4掺杂处理后的单晶硅棒进行表面抛光处理。
[0013]S6、氧化处理：最后对步骤5抛光处理后的单晶硅棒暴露在特定气氛中进行氧化处理。
[0014]采用上述步骤S1
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S6的用于单晶硅棒的制备工艺在对单晶硅棒进行制作的过程中还具体涉及到一种单晶硅棒的制作设备，包括呈T形结构的固定支座，固定支座的左侧水平段顶部设置有对单晶硅棒进行切割的裁切机构，固定支座的右侧水平段顶部设置有对切割之后的单晶硅棒进行酸洗的清洗机构。
[0015]所述裁切机构包括在固定支座的左侧水平段顶部开设的移动槽，移动槽内通过驱动件滑动设置有竖直板，竖直板的顶部固定安装有一号半弧形板，一号半弧形板的顶部靠近后侧的位置通过销轴铰接有二号半弧形板，一号半弧形板和二号半弧形板之间位于前侧的位置通过螺钉相连接，一号半弧形板和二号半弧形板的内侧壁固定安装有橡胶垫，固定支座的顶部位于移动槽的右侧设置有对单晶硅棒进行切割的裁切组件。
[0016]所述清洗机构包括在固定支座的右侧水平段固定安装有呈倒L形结构的固定板，固定板的水平段通过移动组件设置有夹紧组件，固定支座的顶部位于固定板的左侧设置有清洗组件，清洗组件内由前至后均匀设置有多组缓冲组件。
[0017]根据本专利技术的一个实施例，所述裁切组件包括在固定支座的顶部开设的矩形槽，矩形槽内转动设置有螺纹杆，螺纹杆的前端面穿过固定支座后向前延伸，固定支座的前端面通过电机座固定安装有和螺纹杆的前端面固定连接的正反转电机，矩形槽内还滑动设置有和螺纹杆通过螺纹连接的结构板，结构板的顶部固定安装有开口向后的匚形板，匚形板的两个水平段的开口处共同设置有金刚石线锯，匚形板位于上侧的水平段靠近金刚石线锯的位置设置有用于喷射切削液的冷却喷雾器，结构板的后端面位于匚形板的正下方固定安装有支撑板，支撑板的顶部固定安装有盛料箱。
[0018]根据本专利技术的一个实施例，所述移动组件包括在固定板的水平段中部滑动设置的圆柱杆，圆柱杆位于固定板水平段的底部固定安装有水平板，水平板和固定板之间通过复位弹簧固定连接，圆柱杆位于固定板水平段的顶部固定安装有方形板，固定板水平段顶部靠近后侧的位置固定安装有安装板，安装板的前端面固定安装有电动机，电动机的输出轴固定安装有和方形板的顶部相接触的凸轮。
[0019]根据本专利技术的一个实施例，所述夹紧组件包括在水平板的底部开设的滑移槽，滑移槽内通过电动滑块滑动设置有伸出板，伸出板的中部固定安装有双向电动推杆，双向电动推杆的前后两个移动端均固定安装有呈L形结构的夹紧板，两个夹紧板的水平段相对面均固定安装有呈半弧形结构的弧形块，弧形块的内侧壁固定安装有用于增大摩擦的防滑垫，两个弧形块的右端面均固定安装有限位块。
[0020]根据本专利技术的一个实施例，所述清洗组件包括在固定支座顶部位于固定板的左侧开设的位移槽，位移槽内通过驱动件滑动设置有开口向上的一号矩形框体，一号矩形框体内靠近上方的位置设置有二号矩形框体，一号矩形框体和二号矩形框体之间通过多个连接板固定连接，一号矩形框体和二号矩形框体内设置有用于对单晶硅棒进行清洗的酸洗液，二号矩形框体的左右两侧壁位于缓冲组件的下方开设有由前至后均匀排布的矩形通槽。
[0021]根据本专利技术的一个实施例，所述缓冲组件包括在二号矩形框体内由前至后均匀设置的呈直角结构的梯形块，梯形块的竖直段和二号矩形框体的内侧壁之间通过多个弹簧杆固定连接，左右两侧梯形块的倾斜面顶部均开设有弧形槽，位于右侧梯形块的倾斜面开设有和弧形槽相连通的限位槽。
[0022]根据本专利技术的一个实施例，所述二号矩形框体的左右两侧壁位于矩形通槽的上方
通过固定支架固定安装有圆形通管，二号矩形框体的左右两侧壁均由前至后固定安装有和圆形通管相连通的排水管，左右两侧连接板的底部固定安装有抽泵，抽泵的出水端和圆形通管相连通，抽泵的进水端固定安装有圆形管。
[0023]本专利技术实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：
[0024]根据本专利技术第一方面实施例提供的裁切机构和清洗机构的配合，能够将切割之后的单晶硅棒及时放置到清洗组件内，通过清洗组件对其进行酸洗处理，避免了传统的全部切割完成后在放置到另一个装置内进行酸洗处理，造成的增大劳动力和操作步骤繁琐的问题发生。
[0025]进一步地，根据本专利技术第二方面实施例提供的清洗组件，能够使得对单晶硅棒进行酸洗处理的酸洗液始终处于流动状态，通过液体的流动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒的制备工艺，其特征在于：该单晶硅棒的制备工艺具体包括以下步骤：S1、线锯切割：首先通过裁切机构(2)对单晶硅棒切割成所需长度；S2、酸洗处理：通过设置的清洗机构(3)对步骤1中切割之后的单晶硅棒进行表面酸洗处理；S3、超声波清洗：对步骤2中酸洗处理后的单晶硅棒进行超声波清洗；S4、掺杂处理：通过离子注入设备将所需的杂质离子注入到步骤3清洗后的单晶硅棒表面；S5、抛光处理：对步骤4掺杂处理后的单晶硅棒进行表面抛光处理；S6、氧化处理：最后对步骤5抛光处理后的单晶硅棒暴露在特定气氛中进行氧化处理；采用上述步骤S1
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S6的用于单晶硅棒的制备工艺在对单晶硅棒进行制作的过程中还具体涉及到一种单晶硅棒的制作设备，包括呈T形结构的固定支座(1)，固定支座(1)的左侧水平段顶部设置有对单晶硅棒进行切割的裁切机构(2)，固定支座(1)的右侧水平段顶部设置有对切割之后的单晶硅棒进行酸洗的清洗机构(3)；所述裁切机构(2)包括在固定支座(1)的左侧水平段顶部开设的移动槽，移动槽内通过驱动件滑动设置有竖直板(21)，竖直板(21)的顶部固定安装有一号半弧形板(22)，一号半弧形板(22)的顶部靠近后侧的位置通过销轴铰接有二号半弧形板(23)，一号半弧形板(22)和二号半弧形板(23)之间位于前侧的位置通过螺钉相连接，一号半弧形板(22)和二号半弧形板(23)的内侧壁固定安装有橡胶垫，固定支座(1)的顶部位于移动槽的右侧设置有对单晶硅棒进行切割的裁切组件(24)；所述清洗机构(3)包括在固定支座(1)的右侧水平段固定安装有呈倒L形结构的固定板(31)，固定板(31)的水平段通过移动组件(32)设置有夹紧组件(33)，固定支座(1)的顶部位于固定板(31)的左侧设置有清洗组件(34)，清洗组件(34)内由前至后均匀设置有多组缓冲组件(35)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒的制备工艺，其特征在于：所述裁切组件(24)包括在固定支座(1)的顶部开设的矩形槽，矩形槽内转动设置有螺纹杆(241)，螺纹杆(241)的前端面穿过固定支座(1)后向前延伸，固定支座(1)的前端面通过电机座固定安装有和螺纹杆(241)的前端面固定连接的正反转电机，矩形槽内还滑动设置有和螺纹杆(241)通过螺纹连接的结构板(242)，结构板(242)的顶部固定安装有开口向后的匚形板(243)，匚形板(243)的两个水平段的开口处共同设置有金刚石线锯(244)，匚形板(243)位于上侧的水平段靠近金刚石线锯(244)的位置设置有用于喷射切削液的冷却喷雾器，结构板(242)的后端面位于匚形板(243)的正下方固定安装有支撑板(245)，支撑板(245)的顶部固定安装有盛料箱(246)。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李充，李震，
申请(专利权)人：内蒙古科晟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：