本实用新型专利技术公开了一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置，包括石英筒（1）及其上的上法兰（2）和中法兰（3），上法兰（2）与防护罩（4）相配合，中法兰（3）与导向环（5）相配合；防护罩（4）为两半式对称结构，其中部设有通孔（4a），防护罩（4）包括底座（41）、圆台结构的盖板（42）和手柄（43）；导向环（5）为圆环形，其中部设有通孔（5a）、外沿设有倾斜的导向面（51），导向面（51）上设有螺栓安装位（52）和紧固螺栓（6），导向环（5）通过紧固螺栓（6）与中法兰（3）相连。本实用新型专利技术的优点是避免石英法兰磕碎，降低生产成本，对加料口有效封闭和防护，提高防尘效果，保证原料的纯净度和品质。证原料的纯净度和品质。证原料的纯净度和品质。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置
[0001]本技术涉及单晶炉生产设备
，尤其涉及一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体以氮气、氦气为主的环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。目前，单晶炉利用RCZ多次直拉技术，通过多次加料进行多根晶体棒的拉制。
[0003]加料时需要使用石英加料器，通过单晶炉副室的钨丝绳将石英加料器吊入单晶炉内加料。按照加料工艺的要求，需要在石英加料器中部和上端设有法兰，辅助石英加料器加料。现有石英加料器中部和上端分别设有石英法兰，在石英加料器吊入副室时，因石英加料器自由晃动，石英法兰易磕到副室下沿，导致石英法兰碎裂而退出使用，而石英加料器中部和上端法兰制作成本高，约占石英加料器总成本20%。
[0004]此外，由于多晶硅纯净度要求高，石英加料器装料后需封闭加料口，防止污染原料。目前，采用纱布套封口，吊料时将纱布套取下，因纱布套隔尘效果不佳，容易吸附灰尘，在使用过程中存在原料污染的风险。
技术实现思路
[0005]本技术目的就是为了解决现有单晶炉法兰易碎裂、成本高、加料口隔尘效果差的问题，提供了一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置，不仅可以避免石英法兰易磕碎的风险，降低生产成本，还可以对加料口进行有效封闭和防护，提高防尘效果，保证原料的纯净度和品质。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置，包括石英筒，其上部和中部分别连有上法兰和中法兰，石英筒的上部还设有一个与上法兰相互配合的防护罩，石英筒的中部还设有一个与中法兰相互配合的导向环；
[0008]所述防护罩为两半式对称结构，防护罩的中部设有通孔，以用于避让加料器提拉杆；
[0009]防护罩的下部设有与石英筒嵌合的底座，底座上设有一个盖板，盖板为两个相同的半盖板组成的圆台结构，其横截面直径由上至下逐渐增大，且盖板底面的直径与上法兰的直径相同，每个半盖板上均连有一个手柄，以便于将半盖板打开加料；
[0010]所述导向环套设在石英筒的外壁上且与中法兰相连，导向环为圆环形，其中部设有通孔，通孔的直径与石英筒的外径相同，导向环的外沿设有倾斜的导向面，导向面上设有一组凹陷的螺栓安装位，每个螺栓安装位内连接一个紧固螺栓，导向环通过紧固螺栓与中法兰相连。
[0011]进一步地，所述通孔的轴线与石英筒的轴线相互重合设置。
[0012]进一步地，所述半盖板上设有半圆形孔，两个半圆形孔正对着通孔设置，两个半盖板之间设有一对缺口，缺口设置在圆台结构的斜面处，且缺口以两个半盖板的连接处为中线左右对称设置。
[0013]进一步地，所述盖板的斜面与上法兰水平面的夹角α为45
°
~60
°
，以用于起导向作用。
[0014]进一步地，所述导向环亦为两半式对称结构，以便于拆卸和组装。
[0015]进一步地，所述导向面与中法兰水平面的夹角β为45
°
~60
°
，以用于起导向作用。
[0016]进一步地，所述螺栓安装位设为四个，且其沿着导向面的一圈等间距均布。
[0017]与现有技术相比，本技术的技术方案的优点具体在于：
[0018]（1）本技术的法兰防护装置设计为左右结构对称，可以互换，结构简单，安装便捷；
[0019]（2）本技术的防护罩可直接放置于上部法兰面，吊料时不需要取下；
[0020]（3）本技术的导向环在石英筒投入使用时安装，使用过程中不需要拆装，节约了人力和时间；
[0021]（4）本技术的装置通过倾斜的导向面，避免了石英法兰易磕的问题，提高了石英筒使用寿命，降低了使用成本。
附图说明
[0022]图1为本技术的单晶炉石英加料器用法兰防护装置整体装配图；
[0023]图2为本技术的防护罩正视图；
[0024]图3为本技术的防护罩俯视图；
[0025]图4为本技术的导向环正视图；
[0026]图5为本技术的导向环俯视图。
具体实施方式
[0027]实施例1
[0028]为使本技术更加清楚明白，下面结合附图对本技术的一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置进一步说明，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，并不用于限定本技术。
[0029]参见图1，一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置，包括石英筒1，其上部和中部分别连有上法兰2和中法兰3，其特征在于：
[0030]参见图1、图2和图3，石英筒1的上部还设有一个与上法兰2相互配合的防护罩4，石英筒1的中部还设有一个与中法兰3相互配合的导向环5；
[0031]所述防护罩4为两半式对称结构，防护罩4的中部设有通孔4a，通孔4a的轴线与石英筒1的轴线相互重合设置，以用于避让加料器提拉杆；
[0032]防护罩4的下部设有与上法兰2嵌合的底座41，底座41上设有一个盖板42，盖板42为两个相同的半盖板421组成的圆台结构，其横截面直径由上至下逐渐增大，且盖板42底面的直径与上法兰2的直径相同，每个半盖板421上均连有一个手柄43，以便于将半盖板打开加料；
[0033]半盖板421上设有半圆形孔421a，两个半圆形孔421a正对着通孔4a设置，两个半盖板421之间设有一对缺口421b，缺口421b设置在圆台结构的斜面42a处，且缺口421b以两个半盖板421的连接处为中线左右对称设置，盖板42的斜面42a与上法兰2水平面的夹角α为60
°
，以用于起导向作用；
[0034]参见图1、图4和图5，所述导向环5亦为两半式对称结构，其套设在石英筒1的外壁上且与中法兰3相连，导向环5为圆环形，其中部设有通孔5a，通孔5a的直径与石英筒1的外径相同；
[0035]导向环5的外沿设有倾斜的导向面51，导向面51与中法兰3水平面的夹角β为60
°
，导向面51上等间距设有四个凹陷的螺栓安装位52，每个螺栓安装位52内连接一个紧固螺栓6，导向环5通过紧固螺栓6与中法兰3相连。
[0036]本技术中，法兰防护装置由安装于石英筒1上部的防护罩4和安装于石英筒1中部的导向环5两部分组成；加料器由法兰防护装置、石英筒和其他辅助备件组成。
[0037]参见图2和图3，防护罩4为对称两半结构，顶部分别设一个把手，外沿最大直径φ310mm，斜面与法兰平面夹角60
°
，起导向作用；参见图4和图5，导向环5为对称两半结构，外沿最大直径φ370mm，斜面与法兰平面夹角60
°
，起导向作用；石英筒的外径为φ240mm，高度为2400mm。
[0038]加料器装料时，将防护罩4取下一半即可加料，另一个能够封闭一半装料口，防止硅粉溢出；加料完成后，将防本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置，包括石英筒（1），其上部和中部分别连有上法兰（2）和中法兰（3），其特征在于：石英筒（1）的上部还设有一个与上法兰（2）相互配合的防护罩（4），石英筒（1）的中部还设有一个与中法兰（3）相互配合的导向环（5）；所述防护罩（4）为两半式对称结构，防护罩（4）的中部设有通孔（4a），防护罩（4）的下部设有与石英筒（1）嵌合的底座（41），底座（41）上设有一个盖板（42），盖板（42）为两个相同的半盖板（421）组成的圆台结构，其横截面直径由上至下逐渐增大，且盖板（42）底面的直径与上法兰（2）的直径相同，每个半盖板（421）上均连有一个手柄（43）；所述导向环（5）套设在石英筒（1）的外壁上且与中法兰（3）相连，导向环（5）为圆环形，其中部设有通孔（5a），通孔（5a）的直径与石英筒（1）的外径相同，导向环（5）的外沿设有倾斜的导向面（51），导向面（51）上设有一组凹陷的螺栓安装位（52），每个螺栓安装位（52）内连接一个紧固螺栓（6），导向环（5）通过紧固螺栓（6）与中法兰（3）相连。2.根据权利要求1所述的单晶炉石英加料器用法兰防护装置，其特征在于：所述通孔（4a）的轴线与石英筒（1）的轴线相互重合设置。3.根据权利要求1或2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王燕飞，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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