本发明专利技术公开了一种晶体生长炉复投送料装置，送料装置包括：第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将硅料输送至晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动送料机构；晶体生长炉包括坩埚，坩埚用于接收送料机构输送的硅料，硅料能够在坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时送料机构停止投料：第一料仓的重量小于等于第一预设重量、坩埚的重量大于等于第二预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；送料机构包括用于输送硅料的螺旋轴，当送料机构停止投料后，螺旋轴反向旋转，以使硅料向远离晶体生长炉的方向输送。通过上述设置，可以防止送料机构发生黏料。可以防止送料机构发生黏料。可以防止送料机构发生黏料。
【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉复投送料装置
[0001]本专利技术涉及单晶硅制造
，尤其是指一种晶体生长炉复投送料装置。
技术介绍
[0002]随着光伏产业的迅速发展，作为光伏材料的单晶硅需求也逐渐加大，单晶硅炉的价值也愈加彰显出来。晶体生长炉，是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]晶体生长炉复投送料装置是用于将硅料投入到晶体生长炉中，现有的晶体生长炉复投送料装置大多采用振动送料的方式将硅料通过石英料管振入晶体生长炉坩埚内。
[0004]但本申请人在实现本申请实施例中技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：晶体生长炉复投送料装置在投料过程中输送都为小颗粒硅料。具体地，在投料过程中的尾段（此时，料仓对外输出硅料中小料、碎料、粉料的占比增加）输送的的小颗粒硅料比重逐渐增加。在投料结束时，这些小颗粒硅料部分会留在送料装置的末端。由于投料结束后送料装置并不会在第一时间完成抽离操作，导致位于送料装置末端的小颗粒硅料容易受晶体生长炉影响而发生融化，从而粘连到送料装置末端的端口壁上。在下次进行复投时粘连在送料装置末端口壁上的硅料会氧化变成杂质，污染复投。
技术实现思路
[0005]为了解决现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种可以解决投料结束后硅料黏料的晶体生长炉复投送料装置。
[0006]为实现上述目的，本专利技术采用如下的技术方案：一种晶体生长炉复投送料装置，送料装置包括：第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将硅料输送至晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动送料机构；晶体生长炉包括坩埚，坩埚用于接收送料机构输送的硅料，硅料能够在坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时送料机构停止投料：第一料仓的重量小于等于第一预设重量、坩埚的重量大于等于第二预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；送料机构包括用于输送硅料的螺旋轴，当送料机构停止投料后，螺旋轴反向旋转，以使硅料向远离晶体生长炉的方向输送。
[0007]进一步地，螺旋轴反向旋转的时间设置为第二预设时间。
[0008]进一步地，送料机构远离晶体生长炉的一端设置有传感模块，当螺旋轴反向旋转时，若硅料处于预设位置，传感模块控制螺旋轴停止反向旋转。
[0009]进一步地，传感模块为压力传感器和/或距离传感器。
[0010]进一步地，当满足第一料仓的重量小于等于第三预设重量、坩埚的重量大于等于第四预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第二预设高度、送料装置的送料时间大于等于第三预设时间中至少之一时，螺旋轴的转速逐渐下降；当送料机构停止投料后，螺旋轴
反向转动。
[0011]进一步地，当满足第一料仓的重量小于等于第五预设重量、坩埚的重量大于等于第六预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第三预设高度、送料装置的送料时间大于等于第四预设时间中至少之一时，第一料仓停止供料至送料机构。
[0012]进一步地，送料装置还包括第二料仓，当满足第一料仓的重量小于等于第七预设重量、坩埚的重量大于等于第八预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第四预设高度、送料装置的送料时间大于等于第五预设时间中至少之一时，送料机构处于尾段投料阶段；此时，第二料仓输送硅料至送料机构，其中，第二料仓的硅料的粒径大于等于第一粒径。
[0013]进一步地，送料机构包括槽体，螺旋轴至少部分设置在槽体中；螺旋轴上设置有叶片，叶片的直径沿硅料的运输方向依次减小，叶片和槽体的内壁之间形成有第一输送通道；第一输送通道用于输送粒径小于等于第二粒径的硅料，螺旋轴用于输送粒径小于等于第三粒径的硅料，其中，第二粒径小于第三粒径。
[0014]进一步地，槽体上还设置有第二输送通道，第二输送通道至少部分沿送料装置的下侧延伸；当送料机构处于尾段投料阶段时，第二输送通道连通第一输送通道，第二输送通道用于将第一输送通道中的硅料输送至送料装置的外部。
[0015]进一步地，槽体上还设置有阻挡机构，当送料机构处于尾段投料阶段时，阻挡机构封闭第一输送通道。
[0016]本申请提供的一种晶体生长炉复投送料系统可以在投料结束时，控制螺旋轴反向旋转，从而使硅料向远离晶体生长炉的方向输送，进而避免残留在送料机构中的硅料因未及时抽离出晶体生长炉而融化，防止送料机构发生黏料。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的晶体生长炉和送料装置的结构示意图。
[0018]图2为本专利技术的送料装置的剖视图。
[0019]图3为本专利技术的送料结构的剖视图。
[0020]图4为本专利技术的控制原理示意图。
[0021]图5为图3中A处的局部放大图。
[0022]图6为本专利技术的投料阶段的流程图。
具体实施方式
[0023]以下将结合附图所示的具体实施方式对本专利技术进行详细描述，但这些实施方式并不限制本专利技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。
[0024]需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上 或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0025]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0026]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0027]如图1和图2所示，本实施例提供一种晶体生长炉复投送料装置100，其中送料装置100包括第一料仓11、送料机构12、驱动机构13和第一壳体14。第一壳体14内部形成有第一容纳空间141。第一料仓11至少部分设置在第一容纳空间141中，第一料仓11用于盛放硅料。送料机构12至少部分设置在第一容纳空间141中，送料机构12用于将第一料仓11中的硅料输送至晶体生长炉200中。驱动机构13至少部分设置在第一容纳空间141的外部，驱动机构13和送料机构12传动连接，从而使驱动机构13能够驱动送料机构12输送硅料至晶体生长炉200中。晶体生长炉200包括坩埚21和第二壳体22。第二壳体22内部形成有第二容纳空间221。坩埚21至少部分设置在第二容纳空间221中，坩埚21用于接收送料机构12输送的硅料，且硅料能够在坩埚21中融化形成硅液。为了清楚地说明本专利技术的技术方案，还定义了如图2所示的前侧、后侧、左侧、右侧、上侧、下侧，用以表示送料装置100的前侧、后侧、左侧、右侧、上侧、下侧。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉复投送料装置，所述送料装置包括：第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将所述硅料输送至所述晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动所述送料机构；所述晶体生长炉包括坩埚，所述坩埚用于接收所述送料机构输送的所述硅料，所述硅料能够在所述坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时所述送料机构停止投料：所述第一料仓的重量小于等于第一预设重量、所述坩埚的重量大于等于第二预设重量、所述坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、所述送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；所述送料机构包括用于输送所述硅料的螺旋轴，当所述送料机构停止投料后，所述螺旋轴反向旋转，以使所述硅料向远离所述晶体生长炉的方向输送。2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述螺旋轴反向旋转的时间设置为第二预设时间。3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述送料机构远离所述晶体生长炉的一端设置有传感模块，当所述螺旋轴反向旋转时，若所述硅料处于预设位置，所述传感模块控制所述螺旋轴停止反向旋转。4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述传感模块为压力传感器和/或距离传感器。5.根据权利要求1或2或3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，当满足所述第一料仓的重量小于等于第三预设重量、所述坩埚的重量大于等于第四预设重量、所述坩埚内硅液的液面高度大于等于第二预设高度、所述送料装置的送料时间大于等于第三预设时间中至少之一时，所述螺旋轴的转速逐渐下降；当所述送料机构停止投料后，所述螺旋轴反向转动。6.根据权利要求1或2或3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，当满足所述第一料仓的重量小于等于第五...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，傅林坚，张俊，叶钢飞，倪军夫，李玉刚，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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