【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学测量领域，特别是涉及载台倾斜角度检测方法和载台调平方法。
技术介绍
1、晶圆的表面形貌测量，作为晶圆生产检验过程中的关键环节，其能够提供晶圆表面的粗糙度、缺陷以及纹理等详细信息。在对晶圆进行表面形貌测量时，需要对晶圆载台平面的倾斜度进行检测和调平，以避免载台的倾斜影响被测晶圆的姿态，从而影响晶圆生产检验结果的正确性。
2、目前的载台调平方法往往是获取载台平面的多张相移干涉图，然后使用相移算法，根据多张相移干涉图计算得到载台的倾斜平面相位图以确定调平量。在相关技术中，由于相移算法需要采集载台平面的多张相移干涉图才能计算得到载台的倾斜平面相位图，然后再通过控制驱动装置实现载台调平，因此导致载台调平的耗时较长。
3、针对相关技术中存在载台调平耗时较长的问题，目前还没有提出有效的解决方案。
技术实现思路
1、在本实施例中提供了一种载台倾斜角度检测方法和载台调平方法，以解决相关技术中载台调平耗时较长的问题。
2、第一个方面，在本实施例中提供了一种载台倾斜角度检测方法，包括：
3、获取晶圆载台平面的单张激光干涉图；
4、将所述激光干涉图转换为频谱图，并从所述频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息；所述目标频率分量为+1级项或-1级项；
5、基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角；所述物参角为物光与参考光的夹
6、根据所述物参角，确定所述晶圆载台平面的倾斜角度。
7、在其中的一些实施例中，所述将所述激光干涉图转换为频谱图，并从所述频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息，包括：
8、对所述激光干涉图进行傅里叶变换，得到所述激光干涉图对应的频谱图；
9、获取所述频谱图的相位图，根据所述相位图获取所述频谱图中的所述0级项和所述目标频率分量各自的位置信息。
10、在其中的一些实施例中，所述基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角，包括：
11、基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息，确定所述0级项和所述目标频率分量之间的横向位置差异和纵向位置差异；
12、根据所述横向位置差异、所述激光器的激光波长以及所述成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的相对预设参考坐标系x轴方向的物参角；
13、根据所述纵向位置差异、所述激光波长以及所述像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的相对所述预设参考坐标系y轴方向的物参角。
14、在其中的一些实施例中，所述基于所述0级项和所述目标频率分量分别在在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角，包括：
15、基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的中心点坐标、所述激光器的激光波长、所述成像设备的像素点个数、以及所述成像设备的像元尺寸，确定所述晶圆载台平面对应的物参角。
16、第二个方面，在本实施例中提供了一种载台调平方法，所述方法包括：
17、基于上述第一个方面所述的载台倾斜角度检测方法，确定所述晶圆载台平面的倾斜角度；
18、根据所述晶圆载台平面的倾斜角度，控制所述晶圆载台平面的调节驱动部件对所述晶圆载台平面进行调平。
19、在其中的一些实施例中，所述根据所述晶圆载台平面的倾斜角度，控制所述晶圆载台平面的调节驱动部件对所述晶圆载台平面进行调平，包括：
20、根据所述晶圆载台平面在预设参考坐标系下绕x轴倾斜的第一倾斜角度，计算第一调节驱动部件的高度调节量；所述第一调节驱动部件用于控制所述晶圆载台平面绕x轴偏转；
21、根据所述晶圆载台平面在所述预设参考坐标系下绕y轴倾斜的第二倾斜角度，计算第二调节驱动部件的高度调节量；所述第二调节驱动部件用于控制所述晶圆载台平面绕y轴偏转；
22、根据所述第一调节驱动部件的高度调节量，和所述第二调节驱动部件的高度调节量，控制所述第一调节驱动部件和所述第二调节驱动部件对所述晶圆载台平面进行调平。
23、第三个方面，在本实施例中提供了一种载台倾斜角度检测装置，包括：获取模块、转换模块、第一计算模块以及第二计算模块；其中：
24、所述获取模块，用于获取晶圆载台平面的单张激光干涉图；
25、所述转换模块，用于将所述激光干涉图转换为频谱图，并从所述频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息；所述目标频率分量为+1级项或-1级项；
26、所述第一计算模块，用于基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角；所述物参角为物光与参考光的夹角；
27、所述第二计算模块，用于根据所述物参角，确定所述晶圆载台平面的倾斜角度。
28、第四个方面，在本实施例中提供了一种控制器，包括：检测模块以及调平模块；其中：
29、所述检测模块，用于基于上述第一个方面所述的载台倾斜角度检测方法，确定所述晶圆载台平面的倾斜角度；
30、所述调平模块，用于根据所述晶圆载台平面的倾斜角度，控制所述晶圆载台平面的调节驱动部件对所述晶圆载台平面进行调平。
31、第五个方面，在本实施例中提供了一种载台调平系统，包括：晶圆载台、调节驱动部件以及上述第四个方面所述的控制器；其中：所述调节驱动部件安装于所述晶圆载台下表面，所述控制器与所述调节驱动部件通信连接。
32、第六个方面，在本实施例中提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述第一个方面所述的载台倾斜角度检测方法。
33、与相关技术相比，在本实施例中提供了载台倾斜角度检测方法和载台调平方法。其中的载台倾斜角度检测方法，首先获取晶圆载台平面的单张激光干涉图；再者，将激光干涉图转换为频谱图，并从频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息；基于0级项和目标频率分量在频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定晶圆载台平面对应的物参角；最后，根据该物参角，确定晶圆载台平面的倾斜角度。其仅基于单张激光干涉图即能实现对载台平面倾斜角度的测量，从而无需采集多张干涉图，进而降低了载台调平耗时。
34、本申请的一个或多个实施例的细节在以下附图和描述中提出，以使本申请的其他特征、目的和优点更加简明易懂。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种载台倾斜角度检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的载台倾斜角度检测方法，其特征在于，所述将所述激光干涉图转换为频谱图，并从所述频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息，包括：
3.根据权利要求1或权利要求2所述的载台倾斜角度检测方法，其特征在于，所述基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角，包括：
4.根据权利要求1或权利要求2所述的载台倾斜角度检测方法，其特征在于，所述基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角，包括：
5.一种载台调平方法，其特征在于，所述方法包括：
6.根据权利要求5所述的载台调平方法，其特征在于，所述根据所述晶圆载台平面的倾斜角度，控制所述晶圆载台平面的调节驱动部件对所述晶圆载台平面进行调平，包括：
7.一种载台倾斜角度检测装置，其特征在于，包括：获取模块、转换模块、第一计
8.一种控制器，其特征在于，包括：检测模块以及调平模块；其中：
9.一种载台调平系统，其特征在于，包括：晶圆载台、调节驱动部件以及权利要求8所述的控制器；其中：所述调节驱动部件安装于所述晶圆载台下表面，所述控制器与所述调节驱动部件通信连接。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至权利要求4中任一项所述的载台倾斜角度检测方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种载台倾斜角度检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的载台倾斜角度检测方法，其特征在于，所述将所述激光干涉图转换为频谱图，并从所述频谱图中获取0级项和目标频率分量各自的位置信息，包括：
3.根据权利要求1或权利要求2所述的载台倾斜角度检测方法，其特征在于，所述基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角，包括：
4.根据权利要求1或权利要求2所述的载台倾斜角度检测方法，其特征在于，所述基于所述0级项和所述目标频率分量分别在所述频谱图中的位置信息、激光器的激光波长以及成像设备的像素参数，确定所述晶圆载台平面对应的物参角，包括：
5.一种载台调平方法，其特征在于，所述方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，王悦，张济帆，俞晨阳，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。