【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空腔室升降机构。
技术介绍
1、真空腔室密封门是在真空
中常用的一种设备，用于保持真空腔室与外界环境的有效隔离。
2、真空腔室密封门通常由金属或弹性材料制成，具有较好的密封性能，可有效隔离真空腔室内外的气体和物质。然而现有的真空腔室密封门在插入或拔出时需要特定的操作步骤和工具，操作过程相对复杂。在生产过程中需要频繁开启和关闭时，可能会增加时间和人力成本，而且密封门的重量大，常规的吊装式开闭也不利于人工精准、稳定地进行密封，存在密封性能差、稳定性和可靠性低的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术中的不足，本技术的目的是提供一种密封性能好、稳定性和可靠性高的真空腔室升降机构。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种真空腔室升降机构，包括真空腔室，密封装配在真空腔室上方的、且带有圆形密封口的密封固定板，装配在密封固定板上的升降密封机构，位于升降密封机构上方的、且通过外部机架进行固定的安装板，以及装配在安装板上的、连接密封机构的驱动机构，其特征在于：该升降密封机构包括下端与密封固定板密封固定的、上端延伸至安装板下方的轴套，一体成型在轴套下端的、能与密封固定板密封装配的轴套密封头，上端与驱动机构连接的、下端依次穿过轴套和安装板的丝杆，位于密封固定板下方的、且与丝杆连接固定的密封连接板，安装在密封连接板上方的支撑杆，以及位于密封连接板上方的、通过支撑杆支撑安装的密封板。
4、优选的，该轴套和丝杆设置有两根。<...
【技术保护点】
1.一种真空腔室升降机构，其特征在于：包括真空腔室，密封装配在真空腔室上方的、且带有圆形密封口的密封固定板，装配在密封固定板上的升降密封机构，位于升降密封机构上方的、且通过外部机架进行固定的安装板，以及装配在安装板上的、连接密封机构的驱动机构，其特征在于：该升降密封机构包括下端与密封固定板密封固定的、上端延伸至安装板下方的轴套，一体成型在轴套下端的、能与密封固定板密封装配的轴套密封头，上端与驱动机构连接的、下端依次穿过轴套和安装板的丝杆，位于密封固定板下方的、且与丝杆连接固定的密封连接板，安装在密封连接板上方的支撑杆，以及位于密封连接板上方的、通过支撑杆支撑安装的密封板。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔室升降机构，其特征在于：该轴套和丝杆设置有两根。
3.根据权利要求1所述的一种真空腔室升降机构，其特征在于：该密封板为圆形的橡胶密封板。
4.根据权利要求1所述的一种真空腔室升降机构，其特征在于：该轴套密封头为橡胶轴套密封头。
5.根据权利要求1所述的一种真空腔室升降机构，其特征在于：该驱动机构包括安装垫板，装配在安装垫板两端的、
6.根据权利要求5所述的一种真空腔室升降机构，其特征在于：该驱动电机的输出端上安装有驱动皮带轮。
...【技术特征摘要】
1.一种真空腔室升降机构，其特征在于：包括真空腔室，密封装配在真空腔室上方的、且带有圆形密封口的密封固定板，装配在密封固定板上的升降密封机构，位于升降密封机构上方的、且通过外部机架进行固定的安装板，以及装配在安装板上的、连接密封机构的驱动机构，其特征在于：该升降密封机构包括下端与密封固定板密封固定的、上端延伸至安装板下方的轴套，一体成型在轴套下端的、能与密封固定板密封装配的轴套密封头，上端与驱动机构连接的、下端依次穿过轴套和安装板的丝杆，位于密封固定板下方的、且与丝杆连接固定的密封连接板，安装在密封连接板上方的支撑杆，以及位于密封连接板上方的、通过支撑杆支撑安装的密封板。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔室升...
【专利技术属性】
技术研发人员：王恭时，江长福，吴文强，周贤权，陈幸权，
申请(专利权)人：厦门紫硅半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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