【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶硅制造，特别是涉及一种底加热器拉弧打火的规避方法。
技术介绍
1、单晶硅棒拉制行业所使用的单晶炉是一种利于热辐射工艺将原料融化的设备，热源主要来源于主加热器与底加热器。而加热器的拉弧、打火现象本质为大电场强度下电压压击穿绝缘介质导致加热器受损，进而造成电阻骤降的现象，总结可归类为3种主要原因，①绝缘介质（氩气）中混入杂质；②与其他炉内部件距离过近；③电压达到击穿电压。加热器电阻会随着正常使用炉数的增加而上升，而随着电阻的上升，在各阶段融化原料时因电压接近额定电压而无法达到指定功率或达到击穿电压导致打火。
2、目前底加热器厂家在出厂前会对加热器的冷态电阻进行测量，根据转换系数测算热态电阻是否能处于额定区间而判断加热器是否合格，而冷态电阻与热态电阻间的转换系数无法精确，进而导致一批不合格的底加热器投入使用。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种底加热器拉弧打火的规避方法。
2、为了解决以上技术问题，本专利技术的
【技术保护点】
1.一种底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：所述获取不同底加热器的电阻衰减数据，并绘制底加热器电阻衰减正态分布图，得到电阻衰减值期望包括：
3.根据权利要求1所述的底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：所述获取不同底加热器打火前一刻的电阻阻值，并绘制底加热器电阻峰值正态分布图，得到电阻阻值寿命期望包括：
4.根据权利要求3所述的底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：在所述获取底加热器的电阻衰减数据，并绘制底加热器电阻衰减正态分布图，得到电阻衰减值期望之前
<...【技术特征摘要】
1.一种底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：所述获取不同底加热器的电阻衰减数据，并绘制底加热器电阻衰减正态分布图，得到电阻衰减值期望包括：
3.根据权利要求1所述的底加热器拉弧打火的规避方法，其特征在于：所述获取不同底加热器打火前一刻的电阻阻值，并绘制底加热器电阻...
【专利技术属性】
技术研发人员：王鑫，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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