用于反应器系统的污染物捕集器系统技术方案

一种反应器系统的污染物捕集器系统可以包括挡板堆，该挡板堆包括至少一个挡板和主体部分，该挡板包括贯穿挡板的挡板主体的孔；以及至少一个互补挡板，其包括穿过互补挡板的互补挡板主体的互补孔和互补主体部分。至少一个挡板和至少一个互补挡板可以挡板顺序设置在挡板堆的第一端和第二端之间，其中挡板与互补挡板交替，使得没有两个挡板或没有两个互补挡板以挡板顺序相邻。至少一个挡板可以包括烧结材料。材料。材料。

【技术实现步骤摘要】
用于反应器系统的污染物捕集器系统


[0001]本专利技术总体涉及半导体处理或反应器系统以及其中包含的部件，尤其涉及防止污染其他部件的反应器系统部件。

技术介绍

[0002]反应室可以用于在半导体衬底上沉积各种材料层。衬底可以放置在反应室内的基座上。衬底和基座都可被加热到期望的衬底温度设定点。在示例衬底处理过程中，一种或多种反应物气体可以通过加热的衬底，导致材料薄膜沉积在衬底表面上。通过随后的沉积、掺杂、光刻、蚀刻和其他过程，这些层被制成集成电路。
[0003]对于任何给定的过程，反应物气体和/或任何副产物气体然后可以通过真空排出和/或从反应室中清除。来自反应室的反应物气体和其他气体或材料可以通过过滤器或污染物捕集器系统，其中反应物气体或其他材料(例如反应产物和/或副产物)被捕集以防止污染物捕集器系统下游的反应器系统部件的污染。然而，来自污染物捕集器系统的材料可能在某些条件下释放，这可能导致反应室或设置在其中的衬底的污染。

技术实现思路

[0004]提供本
技术实现思路
是为了以简化的形式介绍一些概念。这些概念在以下公开的示例实施例的详细描述中被进一步详细描述。本
技术实现思路
不旨在必要地标识所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求保护的主题的范围。
[0005]在一些实施例中，提供了一种用于反应器系统的污染物捕集器系统。本文公开的污染物捕集器系统可以允许从反应器系统的反应室收集材料，以减少或防止污染物捕集器系统下游的反应器系统部件的污染。本文公开的污染物捕集器系统还可以减少或防止可能的污染物移动到反应室或设置在其中的衬底并污染它们。
[0006]在各种实施例中，用于污染物捕集器系统的挡板堆可以包括：多个挡板，每个包括：贯穿多个挡板中的每个挡板的挡板主体的孔；和主体部分；以及多个互补挡板，每个包括：贯穿多个互补挡板中的每个互补挡板的互补挡板主体的互补孔；和互补主体部分。多个挡板和多个互补挡板可以挡板顺序设置在挡板堆的第一端和第二端之间，其中多个挡板与多个互补挡板交替，使得多个挡板中没有两个挡板和多个互补挡板中没有两个互补挡板以挡板顺序相邻。多个挡板和多个互补挡板可以挡板定向设置，其中，多个挡板的孔的至少一部分和多个互补挡板的互补主体部分的至少一部分可以沿着横跨在挡板堆的第一端和第二端之间的第一轴线对准，并且使得多个挡板的主体部分的至少一部分和多个互补挡板的互补孔的至少一部分可以沿着横跨在挡板堆的第一端和第二端之间的第二轴线对准。
[0007]在各种实施例中，挡板堆还可以包括联接到多个挡板中的每个和多个互补挡板中的每个的联接杆，其中联接杆可以横跨在挡板堆的第一端和第二端之间，其中联接杆包括横截面。多个挡板中的每个可以包括联接孔，并且多个互补挡板中的每个可以包括互补联接孔，其中联接孔和互补联接孔各自可以包括与联接杆的横截面互补的形状。在各种实施
例中，联接杆的横截面可以是非圆形的，其中多个挡板中的每个的联接孔可以第一定向设置，并且多个互补挡板中的每个的互补联接孔可以第二定向设置。第一定向和第二定向可以将多个挡板和多个互补挡板围绕联接杆设置，以实现挡板定向。
[0008]在各种实施例中，挡板堆还可以包括联接到联接杆的多个间隔件，其中多个间隔件中的至少一个可以挡板顺序设置在多个挡板和多个互补挡板中的每个挡板和互补挡板之间。在各种实施例中，挡板堆还可以包括设置在挡板堆的第一端或第二端中的至少一个处的端板，其中端板可以包括端板孔和端板主体部分。
[0009]在各种实施例中，多个挡板可以比多个互补挡板多一个，使得挡板堆可以从挡板堆的第一端和第二端包括相同顺序的多个挡板和多个互补挡板。在各种实施例中，多个挡板和多个互补挡板中的至少一个可以包括纹理表面。
[0010]在各种实施例中，反应器系统的污染物捕集器系统可以包括：包括壳体外壁的捕集器壳体；设置在捕集器壳体中的第一挡板，其中第一挡板可以包括：在第一挡板的第一顶部挡板表面和第一底部挡板表面之间贯穿第一挡板主体的第一孔，和第一主体部分；以及第一互补挡板，其设置在捕集器壳体中，在捕集器壳体的第一端和第二端之间与第一挡板串联，其中第一互补挡板可以包括：在第一互补挡板的第一顶部互补挡板表面和第一底部互补挡板表面之间贯穿第一互补挡板主体的第一互补孔；以及第一互补主体部分。第一挡板和第一互补挡板可以包含在挡板堆中。第一挡板和第一互补挡板可以挡板定向设置在捕集器壳体中，其中第一挡板的第一孔的至少一部分和第一互补挡板的第一互补主体部分的至少一部分可以沿着横跨捕集器壳体的第一端和第二端之间的第一轴线对准，并且使得第一挡板的第一主体部分的至少一部分和第一互补挡板的第一互补孔的至少一部分可以沿着横跨在捕集器壳体的第一端和第二端之间的第二轴线对准。在各种实施例中，第一挡板的第一孔可以包括在第一挡板的径向向内部分中，和/或第一互补挡板的第一互补孔可以包括在第一互补挡板的径向向外部分中。在各种实施例中，污染物捕集器系统还可以包括联接到收集器壳体的加热器套。
[0011]在各种实施例中，污染物捕集器系统还可以包括设置在收集器壳体中并横跨在收集器壳体的第一端和第二端之间的联接杆。第一挡板可以包括穿过第一挡板主体设置的第一联接孔，其中联接杆可以穿过第一联接孔设置。第一互补挡板可以包括穿过第一互补挡板主体设置的第一互补联接孔，其中联接杆可以穿过第一互补联接孔设置。在各种实施例中，联接杆可以包括非圆形横截面，其中第一挡板的第一联接孔和第一互补挡板的第一互补联接孔各自可以包括与联接杆的非圆形横截面互补的形状。在各种实施例中，第一联接孔的参考点可以第一定向设置，并且第一互补联接孔的互补参考点可以第一互补定向设置，其中第一定向和第一互补定向可以围绕联接杆设置第一挡板和第一互补挡板，以实现挡板定向。
[0012]在各种实施例中，污染物捕集器系统还可以包括在第一挡板和第一互补挡板之间的间隔件，以在其间提供空间。
[0013]在各种实施例中，污染物捕集器系统还可以包括设置在收集器壳体中的第二挡板，其中第二挡板可以包括在第二挡板的第二顶部挡板表面和第二底部挡板表面之间横跨第二挡板主体的第二孔，以及第二主体部分。第二挡板可以设置在捕集器壳体中，使得第一互补挡板可以在第一挡板和第二挡板之间，并且其中挡板定向还可以包括第二挡板的第二
孔的至少一部分和第一互补挡板的第一互补主体部分的至少一部分沿着第一轴对准，并且使得第二挡板的第二主体部分的至少一部分和第一互补挡板的第一互补孔的至少一部分可以沿着第二轴线对准。在各种实施例中，第一挡板和第二挡板可以包括相同的设计。
[0014]在各种实施例中，挡板堆还可以包括端板，该端板设置成使得第一挡板在端板和第一互补挡板之间，或者第一互补挡板在端板和第一挡板之间。端板可以包括端板孔和端板主体部分。
[0015]在各种实施例中，捕集器壳体的壳体外壁可以包括内壁表面。第一挡板和第一互补挡板中的至少一个的外边缘可以邻近内壁表面设置，使得至少部分密封可以形成在第一挡板和/或第一互补挡板的外边缘和内壁表面之间。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应器系统的污染物捕集器系统，包括：包括壳体外壁的捕集器壳体；设置在捕集器壳体中的第一挡板，其中第一挡板包括烧结材料，其中第一挡板配置为当流体从捕集器壳体的第一端流向第二端时允许流体从中通过，并且其中烧结材料配置为当流体接触烧结材料时从流体中收集污染物。2.根据权利要求1所述的污染物捕集器系统，其中，烧结材料包括金属材料或陶瓷材料中的至少一种。3.根据权利要求1所述的污染物捕集器系统，其中，所述第一挡板包括：在第一挡板的第一顶部挡板表面和第一底部挡板表面之间贯穿第一挡板主体的第一孔；以及第一主体部分，并且其中，所述污染物捕集器系统还包括：由第二烧结材料构成的第一互补挡板，其中第一互补挡板设置在所述捕集器壳体中，在捕集器壳体的第一端和第二端之间与第一挡板串联，其中第一互补挡板包括：在第一互补挡板的第一顶部互补挡板表面和第一底部互补挡板表面之间贯穿第一互补挡板主体的第一互补孔；以及第一互补主体部分，其中，第一挡板和第一互补挡板包含在挡板堆中，并且其中，第一挡板和第一互补挡板以挡板定向设置在捕集器壳体中，其中第一挡板的第一孔的至少一部分和第一互补挡板的第一互补主体部分的至少一部分沿着横跨捕集器壳体的第一端和第二端之间的第一轴线对准，并且使得第一挡板的第一主体部分的至少一部分和第一互补挡板的第一互补孔的至少一部分沿着横跨在捕集器壳体的第一端和第二端之间的第二轴线对准。4.根据权利要求3所述的污染物捕集器系统，还包括设置在所述收集器壳体中并横跨在收集器壳体的第一端和第二端之间的联接杆，其中，所述第一挡板包括穿过第一挡板主体设置的第一联接孔，其中联接杆穿过第一联接孔设置，并且其中，所述第一互补挡板包括穿过第一互补挡板主体设置的第一互补联接孔，其中联接杆穿过第一互补联接孔设置。5.根据权利要求4所述的污染物捕集器系统，其中，所述联接杆包括非圆形横截面，其中，所述第一挡板的第一联接孔和所述第一互补挡板的第一互补联接孔各自包括与联接杆的非圆形横截面互补的形状。6.根据权利要求5所述的污染物捕集器系统，其中，所述第一联接孔的参考点设置在第一定向，并且所述第一互补联接孔的互补参考点设置在第一互补定向，其中，第一定向和第一互补定向围绕联接杆设置所述第一挡板和所述第一互补挡板，以实现所述挡板定向。7.根据权利要求6所述的污染物捕集器系统，还包括在所述第一挡板和所述第一互补挡板之间的间隔件，以在其间提供空间。8.根据权利要求3所述的污染物捕集器系统，还包括设置在所述收集器壳体中的第二
挡板，其中第二挡板包括：在第二挡板的第二顶部挡板表面和第二底部挡板表面之间贯穿第二挡板主体的第二孔；以及第二主体部分，其中，第二挡板设置在捕集器壳体中，使得第一互补挡板位于第一挡板和第二挡板之间，并且其中挡板定向还包括第二挡板的第二孔的至少一部分和第一互补挡板的第一互补主体部分的至少一部分沿着第一轴线对准，并且第二挡板的第二主体部分的至少一部分和第一互补挡板的第一互补孔的至少一部分沿着第二轴线对准。9.根据权利要求8所述的污染物捕集器系统，其中，所述第一挡板和所述第二挡板包括相同的设计。10.根据权利要求6所述的污染物捕集器系统，其中，所述挡板堆还包括端板，所述端板设置成使得以下中的至少一个：第一挡板位于端板和第一互补挡板之间，或者第一互补挡板位于端板和第一挡板之间，其中端板包括端板孔和端板主体部分。11.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A金蒂，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：