基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法技术方案

本发明专利技术提供一种能够抑制玻璃基板的剥离和振动的基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法。基板载体具备多个基板保持件，用于通过多个基板保持件在铅垂方向下方保持并输送基板，其中，多个基板保持件至少包括：第1基板保持件，其粘附保持基板；以及第2基板保持件，其粘附保持基板，具有比第1基板保持件的剪切刚性高的剪切刚性，在基板保持面中，从第2基板保持件到基板的中心的距离比从第1基板保持件到基板的中心的距离短。基板的中心的距离短。基板的中心的距离短。

【技术实现步骤摘要】
基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法


[0001]本专利技术涉及基板载体、成膜系统及电子器件的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，在FPD(Flat Panel Display)产业中，考虑到生产效率而倾向于利用大型的玻璃基板。例如使用一个边超过2米的G7尺寸(1870
×
2200毫米)或G8尺寸(2160
×
2460毫米)等的玻璃基板。在对该大型的玻璃基板实施了成膜等制造工艺之后，对根据需要的产品面板尺寸进行拼版(日文：面取
り
)而成为最终产品。
[0003]作为对玻璃基板进行成膜的成膜装置，有将玻璃基板从基板载体悬挂保持并与基板载体一起输送的同时进行成膜的直列式的成膜装置。在专利文献1中公开了在该情况下使用粘附式保持件作为基板载体保持玻璃基板的一个手段。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2018－195670号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]作为大型的玻璃基板的拼版尺寸，有时采用65英寸或78英寸这样的大型的成品面板。若在大型的成品面板的画面显示区域内通过粘附式保持件保持大型的玻璃基板，则有可能在成膜工艺中发生不良。因此，有时避开成品面板的画面显示区域，仅在拼版交界部配置粘附式保持件。
[0009]若仅在拼版交界部配置粘附式保持件，则由于成品面板为大型，因此，由于因玻璃的自重变形导致的挠曲、因成膜工艺导致的热位移，使得在与玻璃基板的悬挂方向正交的剪切方向上很大的力施加于粘附式保持件。因此，有时玻璃基板会从粘附式保持件剥离，在成膜工艺等中发生不良。在专利文献1中公开了通过降低粘附式保持件的剪切方向刚性而使剪切方向的力缓和来防止玻璃基板的剥离，以避免玻璃基板从粘附式保持件剥离。
[0010]另一方面，若降低粘附式保持件的剪切方向的刚性，则存在基板载体在输送玻璃基板过程中受到干扰时玻璃基板振动、发生不良的问题。
[0011]鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制玻璃基板的剥离和振动的基板的保持技术。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]为了解决上述课题，本专利技术的基板载体具备多个基板保持件，用于通过所述多个基板保持件在铅垂方向下方保持并输送基板，其中，
[0014]所述多个基板保持件至少包括：
[0015]第1基板保持件，其粘附保持基板；以及
[0016]第2基板保持件，其粘附保持基板，具有比所述第1基板保持件的剪切刚性高的剪
切刚性，
[0017]在基板保持面中，从所述第2基板保持件到所述基板的中心的距离比从所述第1基板保持件到所述基板的中心的距离短。
[0018]专利技术的效果
[0019]根据本专利技术，能够提供一种能够抑制玻璃基板的剥离和振动的基板的保持技术。
附图说明
[0020]图1是表示第1实施方式的基板载体的俯视示意图。
[0021]图2是表示第1实施方式的基板载体的剖视示意图。
[0022]图3是表示第1实施方式的基板保持件的配置例的图。
[0023]图4(A)、图4(B)是表示第1实施方式的基板保持件的图。
[0024]图5(A)、图5(B)是说明作用在保持于基板载体的基样玻璃上的力的图。
[0025]图6是向本实施方式的基板载体安装/拆卸基样玻璃时的流程图。
[0026]图7是本实施方式的基板保持装置的动作说明图。
[0027]图8是本实施方式的基板保持装置的动作说明图。
[0028]图9是本实施方式的基板保持装置的动作说明图。
[0029]图10是本实施方式的基板保持装置的动作说明图。
[0030]图11是本实施方式的基板保持装置的翻转装置的动作说明图。
[0031]图12是本实施方式的基板保持装置的成膜装置的动作说明图。
[0032]图13是本实施方式的基板保持装置的剥离时的动作说明图。
[0033]图14是本实施方式的基板保持装置的剥离时的动作说明图。
[0034]图15(A)是表示基板载体上的基板保持件的配置的图，图15(B)是表示每个配置的剪切位移量的图。
[0035]图16(A)～图16(E)是表示基板保持件的变形例的图。
[0036]图17是第2实施方式的基板载体的概略图。
[0037]图18(A)是表示基板载体上的基板保持件的配置的图，图18(B)是表示每个配置的剪切位移量的图。
[0038]附图标记说明
[0039]100：基板载体，301、302：粘附式保持件，110：平板状构件，310、121、123：弹性体层，122：变形阻断层。
具体实施方式
[0040]以下，参照附图对实施方式进行详细说明。此外，以下的实施方式并不限定权利要求书的专利技术。虽然在实施方式中记载了多个特征，但不一定这多个特征全部是专利技术所必需的，另外，多个特征也可以任意地组合。并且，在附图中，对相同或同样的结构标注相同的附图标记，省略重复的说明。
[0041][第1实施方式][0042]参照图1和图2对本实施方式的基板载体进行说明。图1是本实施方式的设置粘附式保持件的基板载体的俯视示意图。为了便于说明，图1的比例有时与实际情况不同。图2是
本专利技术的基板载体的示意性剖视图，是通过图1的线A－A
’
的XZ平面的剖视图。此外，在图1和图2中，为了使配置关系容易理解，一部分部件用虚线表示。
[0043]图1所示的基板载体100具备平板状构件110和支承平板状构件110的框体115。另外，通过粘附式保持件120保持基样玻璃(玻璃基板)10的保持面(以下，称为基板保持面110X或玻璃保持面110X)在平板状构件110上由平面构成。另外，在平板状构件110中，在与拼版尺寸的交界部相当的部位设置有多个销用贯通孔111。如图2所示，通过经由销用贯通孔111使能够从基板保持面110X出没的销240上下移动，能够使玻璃基板10上下移动。另外，与销用贯通孔111邻接地也设置有多个保持件用贯通孔112。粘附式保持件120是插通于保持件用贯通孔112并安装于平板状构件110的基板保持件。粘附式保持件120采用能够在一定的范围内上下移动的结构，以便能够对从基板保持面110X的突出量进行管理。
[0044]在基板载体100中还具备多个支承件130，该支承件130用于供平板状构件110支承玻璃基板10的周围。作为支承件130，能够利用夹紧机构等任意的公知技术。即，玻璃基板10由配置有多个的粘附式保持件120和支承件130支承固定于基板保持面110X，与基板载体100一体地输送。此外，对于平板状构件110的形状及尺寸，根据玻璃基板10的尺寸和进行拼版的单件尺寸的尺寸(成膜区域)而适当设定。另外，销用贯通孔111、保持件用贯通孔112、粘附式保持件120以及支承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板载体，所述基板载体具备多个基板保持件，用于通过所述多个基板保持件在铅垂方向下方保持并输送基板，其特征在于，所述多个基板保持件至少包括：第1基板保持件，其粘附保持基板；以及第2基板保持件，其粘附保持基板，具有比所述第1基板保持件的剪切刚性高的剪切刚性，在基板保持面中，从所述第2基板保持件到所述基板的中心的距离比从所述第1基板保持件到所述基板的中心的距离短。2.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述剪切刚性对应于相对于与所述多个基板保持件的保持面平行的方向的力的、所述多个基板保持件的基板保持面的位移量。3.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述多个基板保持件中的、具有比所述第2基板保持件的剪切刚性低的剪切刚性的基板保持件全部配置在比所述第2基板保持件靠所述基板的外缘侧的位置。4.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第1基板保持件具备：第1弹性体层，其具有向所述基板粘附的粘附面；第2弹性体层，其粘接于所述基板载体侧的支持构件，相对于与...

【专利技术属性】
技术研发人员：下村嘉士，藤村秀彦，津田健人，大岛义人，荒井由高，本田淳雄，小室好民，关义晴，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：