一种检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种检测装置，所述装置包括载物台、照明组件和成像组件；所述载物台用于承载待检测物；所述照明组件向所述待检测物发出照明光束，经所述待检测物反射或散射后形成检测光束由所述成像组件采集生成所述待检测物的图像信息；其特征在于，所述照明光束或所述检测光束的光路上设置有可切换状态的孔径光阑，所述孔径光阑包括明场状态和暗场状态，所述孔径光阑处于明场状态的光通量大于所述暗场状态的光通量；所述成像组件用于分别生成对应所述明场状态和暗场状态的所述待检测物的图像信息。本检测装置能够提高晶圆检测的精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置


[0001]本技术涉及晶圆检测领域，特别涉及一种检测装置。

技术介绍

[0002]随着集成电路制造技术的快速发展，2.5D/3D集成与晶圆级封装等先进封装形式已是封装技术发展的主要方向，其特点是封装尺寸越来越小，互联密度增大，连接芯片的凸点尺寸和间距越来越小，焊料变形导致的互连短路问题日益突出，对晶圆凸点共面性三维检测的需求也更加迫切。
[0003]目前的晶圆凸点检测技术中，由于凸点的尺寸和间距在往更小的发展，从目前几十微米的尺寸向几微米发展，因此检测过程中，更加容易受到环境因素的干扰，导致传统技术中晶圆凸点检测的精度降低。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提供一种检测装置，所述装置包括载物台、照明组件和成像组件；
[0005]所述载物台用于承载待检测物；
[0006]所述照明组件向所述待检测物发出照明光束，经所述待检测物反射或散射后形成检测光束由所述成像组件采集生成所述待检测物的图像信息；
[0007]所述照明光束或所述检测光束的光路上设置有可切换状态的孔径光阑，所述孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，所述装置包括载物台、照明组件和成像组件；所述载物台用于承载待检测物；所述照明组件向所述待检测物发出照明光束，经所述待检测物反射或散射后形成检测光束由所述成像组件采集生成所述待检测物的图像信息；其特征在于，所述照明光束或所述检测光束的光路上设置有可切换状态的孔径光阑，所述孔径光阑包括明场状态和暗场状态，所述孔径光阑处于明场状态的光通量大于所述暗场状态的光通量；所述成像组件用于分别生成对应所述明场状态和暗场状态的所述待检测物的图像信息。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述孔径光阑为中空结构的通光孔径，所述孔径光阑的通光孔径中心处设置有通过电控切换的挡光片，所述挡光片在暗场状态时，阻挡所述通光孔径中心处部分光。3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述孔径光阑包括第一通光孔径和第二通光孔径，所述第一通光孔径和第二通光孔径通过电控切换至所述照明光束或所述检测光束的光路上，所述第一通光孔径对应明场状态，所述第二通光孔径对应暗场状态，所述第一通光孔径的光通量大于所述第二通光孔径的光通量。4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述照明组件沿所述照明光束的光路依次设置有光源、光整形组件、第一狭缝和第一显微物镜；...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘健鹏，顾玥，张鹏斌，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：