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本实用新型提供一种检测装置，所述装置包括载物台、照明组件和成像组件；所述载物台用于承载待检测物；所述照明组件向所述待检测物发出照明光束，经所述待检测物反射或散射后形成检测光束由所述成像组件采集生成所述待检测物的图像信息；其特征在于，所述照明...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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