镜体面形检测支撑装置及面形检测设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种镜体面形检测支撑装置及面形检测设备，该装置包括：基座；支撑组件，所述支撑组件包括多个设置在所述基座上的支撑柱，所述支撑柱的顶端具有气囊且其内部具有连接所述气囊的注气结构，所述气囊至少部分地嵌入所述支撑柱的顶端，多个所述支撑柱的所述气囊的安装高度相同；其中，多个所述支撑柱的布局结构对应其所支撑的镜体的安装接口的布局结构。基于本实用新型专利技术的技术方案，根据镜体的安装接口的位置分布，在接口支撑位置使用气囊进行支撑，使支撑接口位置处的应力局部化，避免出现应力集中。并且气囊具备良好的隔振作用，降低环境振动对测试的影响，从而降低测试误差，准确得到测试面的面形结果。准确得到测试面的面形结果。准确得到测试面的面形结果。

【技术实现步骤摘要】
镜体面形检测支撑装置及面形检测设备


[0001]本技术涉及镜体镜面面形检测
，特别地涉及一种镜体面形检测支撑装置及面形检测设备。

技术介绍

[0002]方镜作为光刻机工件台干涉测量的重要组件，具有高减重比，高精度，材质脆硬等特点，镜面面形检测时的支撑方式关系到光学镜面检测结果的精确性以及镜体的安全性。目前进行面形测试所采用的支撑工装，由于镜体的重力影响，会出现支撑位置处应力集中，导致镜面面形局部突变的问题。另外，大口径CCD以及高分辨率干涉仪易受振动影响，可能无法准确得到镜面面形形貌。
[0003]因此，必须根据方镜的使用工况，设计相应检测支撑工装，进而保证检测的准确性，故提出一种镜体面形检测支撑装置及面形检测设备。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种镜体面形检测支撑装置及面形检测设备。
[0005]第一方面，本技术提出了一种镜体面形检测支撑装置，包括：
[0006]基座；
[0007]支撑组件，所述支撑组件包括多个设置在所述基座上的支撑柱，所述支撑柱的顶端具有气囊且其内部具有连接所述气囊的注气结构，所述气囊至少部分地嵌入所述支撑柱的顶端，多个所述支撑柱的所述气囊的安装高度相同。
[0008]其中，多个所述支撑柱的布局结构对应其所支撑的镜体的安装接口的布局结构。
[0009]在一个实施方式中，气囊呈圆柱形并嵌设在所述支撑柱顶端的的气囊槽中，所述气囊的顶部为凸出所述气囊槽的形变支撑部。
[0010]在一个实施方式中，还包括密封组件，所述密封组件包括密封垫与密封块；
[0011]所述密封垫设置于所述支撑柱的所述气囊槽所在的端面上，并密封所述气囊与所述气囊槽槽口之间的间隙；
[0012]所述密封块设置在所述注气结构与所述气囊的气门的连接处，并密封所述连接处的间隙。
[0013]在一个实施方式中，所述密封组件还包括盖设在所述密封垫上的压盖，所述压盖通过紧固件固定在所述支撑柱顶端的端面上并挤压所述密封垫。
[0014]在一个实施方式中，所述注气结构包括穿设在所述支撑柱内部的注气管以及位于所述注气管与所述气囊之间的注气块，所述注气块内部具有气路。
[0015]在一个实施方式中，所述注气块的一端具有供所述注气管末端插入的第一装配槽、另一端形成外凸的气嘴且所述气嘴处具有配合所述气囊的气门的第二装配槽，所述第一装配槽与第二装配槽之间连通并形成所述气路。
[0016]在一个实施方式中，所述支撑柱顶端具有供所述气囊嵌入的气囊槽，所述注气块设置在所述气囊槽的底部，所述注气块整体呈柱状结构且其与所述气囊槽的槽壁通过螺纹连接。
[0017]在一个实施方式中，所述基座包括底座与设置在所述底座上的安装座，所述安装座上开设有多个安装槽，所述支撑柱的底部安装于所述安装槽中。
[0018]在一个实施方式中，所述注气结构中的注气管设置在所述底座上，所述注气管自所述底座贯穿所述安装座并穿入所述支撑柱的内部。
[0019]第二方面，本技术提出了一种面形检测设备，包括上述的镜体面形检测支撑装置，进而具备其所具备的全部技术效果。
[0020]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本技术的目的。
[0021]本技术提供的一种镜体面形检测支撑装置及面形检测设备，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：
[0022]本技术的一种镜体面形检测支撑装置及面形检测设备，根据镜体实际使用时的安装接口确定支撑点位置分布，在接口支撑位置使用气囊进行支撑，使支撑接口位置处的应力局部化，避免出现应力集中。并且气囊具备良好的隔振作用，降低环境振动对测试的影响，从而降低测试误差，准确得到测试面的面形结果。
附图说明
[0023]在下文中将基于实施例并参考附图来对本技术进行更详细的描述。其中：
[0024]图1显示了本技术的支撑装置的整体结构示意图；
[0025]图2显示了本技术的支撑装置中的支撑柱部分结构的剖视图。
[0026]在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
[0027]附图标记：
[0028]10
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基座，11
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底座，12
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安装座，121
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安装槽，20
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支撑柱，21
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气囊槽，22
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注气通道，30
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气囊，40
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注气结构，41
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注气管，42
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注气块，50
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密封组件，51
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密封垫，52
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密封块，53
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压盖，60
‑
镜体。
具体实施方式
[0029]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0030]本技术的实施例提供了一种镜体面形检测支撑装置，包括：
[0031]基座10；
[0032]支撑组件，支撑组件包括多个设置在基座10上的支撑柱20，支撑柱20的顶端具有气囊30且其内部具有连接气囊30的注气结构40，气囊30至少部分地嵌入支撑柱20的顶端，多个支撑柱20的气囊30的安装高度相同。
[0033]其中，多个支撑柱20的布局结构对应其所支撑的镜体60的安装接口的布局结构。
[0034]具体地，附图图1所示，本技术的支撑装置主要包括基座10与设置在基座10上的支撑组件两大部分，支撑组件由多个分布在基座10上的支撑柱20构成，支撑柱20的具体布局(支撑点布局)参照其支撑的镜体60上的安装接口的位置布局确定。
[0035]支撑柱20采用气囊30对镜体60进行支撑，气囊30嵌入性的设置在支撑柱20的顶端，其全部或部分嵌入支撑柱20，但是需要针对性的控制气囊30的嵌入深度，以保证气囊30充气时，其顶部可以凸出于支撑柱20顶端，以对镜体60进行支撑。优选地，气囊30部分地嵌入支撑柱20(未充气状态下，顶端凸出于支撑柱20)。支撑柱20内部设置有注气结构40，注气结构40连接外部的注气端，用于向气囊30中注气，以使气囊30形变来支撑镜体60。而将多个支撑柱20的气囊30安装高度设置为相同(气囊30本身为规格也相同)，这样在充入相同压力、流量的气体时，每个气囊30的鼓起高度相同(或处于可接受的误差范围内)，保证支撑高度的一致性。
[0036]此外，之所以采用嵌入式的安装方式，是为了利用支撑柱20限制气囊30在支撑柱20径向上的形变，保证气囊30在充气时，形变鼓起的方向是沿支撑柱20的轴向，这样单一的形变方向有利于通过控制注气压力来控制气囊30凸起的高度，进而控制支撑高度。
[0037]本专利技术的支撑装置，根据镜体60实际使用时的安装接口确定支撑点位置分布，在接口支撑位置使用气囊本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜体面形检测支撑装置，其特征在于，包括：基座；支撑组件，所述支撑组件包括多个设置在所述基座上的支撑柱，所述支撑柱的顶端具有气囊且其内部具有连接所述气囊的注气结构，所述气囊至少部分地嵌入所述支撑柱的顶端，多个所述支撑柱的所述气囊的安装高度相同；其中，多个所述支撑柱的布局结构对应其所支撑的镜体的安装接口的布局结构。2.根据权利要求1所述的镜体面形检测支撑装置，其特征在于，气囊呈圆柱形并嵌设在所述支撑柱顶端的的气囊槽中，所述气囊的顶部为凸出所述气囊槽的形变支撑部。3.根据权利要求2所述的镜体面形检测支撑装置，其特征在于，还包括密封组件，所述密封组件包括密封垫与密封块；所述密封垫设置于所述支撑柱的所述气囊槽所在的端面上，并密封所述气囊与所述气囊槽槽口之间的间隙；所述密封块设置在所述注气结构与所述气囊的气门的连接处，并密封所述连接处的间隙。4.根据权利要求3所述的镜体面形检测支撑装置，其特征在于，所述密封组件还包括盖设在所述密封垫上的压盖，所述压盖通过紧固件固定在所述支撑柱顶端的端面上并挤压所述密封垫。5.根据权利要求1所述的镜体面形检测支撑装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海，李孔孔，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：