本实用新型专利技术属于砂轮调节领域，尤其是用于硅片减薄机的砂轮调节装置，针对现有的将硅片通过砂轮进行粗磨减薄，减薄完成后，再将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分繁琐，增加了工作人员的工作量，同时也降低了工作效率的问题，现提出如下方案，其包括外箱，所述外箱的内顶部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有第一连接板，所述第一连接板的下端通过转动组件转动连接有第二连接板，两组所述转动轴的一端分别固定连接有粗磨砂轮和细磨砂轮；本实用新型专利技术在使用时，可以对硅片放进行粗磨和细磨用于硅片减薄，使得硅片制作工序十分简单，降低了工作人员的工作量，同时也提高了工作效率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
用于硅片减薄机的砂轮调节装置
[0001]本技术涉及砂轮调节
，尤其涉及用于硅片减薄机的砂轮调节装置。
技术介绍
[0002]硅片减薄工艺是一种将硅片背面多余材料去除掉，以有效的减小硅片的封装体积，同时提高器件散热、机械及电气等方面性能提高的技术，其中因机械研磨的加工效率高，加工后的硅片平整度好，且成本较低而被封装厂所广泛使用。
[0003]现有的硅片减薄机在使用过程中，先将硅片通过砂轮进行粗磨减薄，减薄完成后，再将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分繁琐，增加了工作人员的工作量，同时也降低了工作效率，因此我们提出用于硅片减薄机的砂轮调节装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在将硅片通过砂轮进行粗磨减薄，减薄完成后，再将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分繁琐，增加了工作人员的工作量，同时也降低了工作效率的缺点，而提出的用于硅片减薄机的砂轮调节装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]用于硅片减薄机的砂轮调节装置，包括外箱，所述外箱的内顶部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有第一连接板，所述第一连接板的下端通过转动组件转动连接有第二连接板，所述第二连接板的底部固定连接有两组第二连接杆，两组所述第二连接杆的一端固定连接有第三连接板，所述第三连接板的顶部固定连接有两组驱动电机，两组所述驱动电机输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴，两组所述转动轴的一端分别固定连接有粗磨砂轮和细磨砂轮。
[0007]优选的，所述转动组件包括有第一连接杆和固定套，所述固定套的一端固定连接于第一连接板的底部，所述第一连接杆的一端贯穿固定套转动连接于第一连接板的底部，且第一连接杆的另一端固定连接于第二连接板的顶部，所述第一连接杆的外壁上开设有限位孔。
[0008]优选的，所述固定套包括套筒和转动轮，所述转动轮的一侧设置有螺杆，所述螺杆的一端螺纹连接于套筒的外壁上，所述螺杆与限位孔呈对应设置。
[0009]优选的，所述外箱的内底部固定连接有安装支架，所述安装支架的顶部固定连接有防护圆盘，所述防护圆盘的一侧开设有凹槽，且凹槽的内底部固定连接有真空吸盘。
[0010]优选的，所述安装支架的一侧设置有冷却回收组件，所述冷却回收组件包括有水箱和水泵，且水箱和水泵均固定连接于安装支架的一侧，所述水泵吸水端连通有吸水管，且吸水管的一端延伸至水箱的内部，所述水泵的输出端连通有出水管，且出水管的一端贯穿防护圆盘并延伸至防护圆盘的内部，所述安装支架的内部设置有回收管。
[0011]优选的，所述外箱的一侧通过合页固定连接有箱门，所述箱门通过搭扣进行锁紧
固定
[0012]本技术通过电动伸缩杆、固定套、第一连接杆、驱动电机、粗磨砂轮和细磨砂轮等结构的设计，当待减薄的硅片安装在真空吸盘上以后，利用，通过电动伸缩杆带动粗磨砂轮向下移动，使得粗磨砂轮与硅片表面接触，然后利用其中一组驱动电机带动粗磨砂轮转动，用于对硅片进行减薄粗磨处理，当硅片粗磨完成以后，转动转动轮，使得螺杆脱离限位孔，然后转动第三连接板，使得细磨砂轮位于硅片的正上方，然后电动伸缩杆带动细磨砂轮向下移动，使得细磨砂轮与硅片表面接触，然后利用其中另一组驱动电机带动细磨砂轮转动，用于对硅片进行减薄细磨处理，避免了将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分简单，降低了工作人员的工作量，同时也提高了工作效率。
附图说明
[0013]图1为本技术提出的用于硅片减薄机的砂轮调节装置的立体图；
[0014]图2为本技术提出的用于硅片减薄机的砂轮调节装置的升降转动结构示意图；
[0015]图3为本技术提出的用于硅片减薄机的砂轮调节装置的冷却回收结构示意图。
[0016]图中：1、外箱；2、电动伸缩杆；3、第一连接板；4、固定套；5、第一连接杆；6、第二连接板；7、第二连接杆；8、第三连接板；801、驱动电机；9、转动轴；10、粗磨砂轮；101、细磨砂轮；11、安装支架；12、防护圆盘；13、真空吸盘；14、水箱；15、吸水管；16、水泵；17、出水管；18、回收管；19、箱门。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]实施例一
[0019]参照图1
‑
3，用于硅片减薄机的砂轮调节装置，包括外箱1，外箱1的内顶部固定连接有电动伸缩杆2，可以将粗磨砂轮10和细磨砂轮101升降至打磨位置，电动伸缩杆2的一端固定连接有第一连接板3，第一连接板3的下端通过转动组件转动连接有第二连接板6，第二连接板6的底部固定连接有两组第二连接杆7，两组第二连接杆7的一端固定连接有第三连接板8，第三连接板8的顶部固定连接有两组驱动电机801，两组驱动电机801输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴9，两组转动轴9的一端分别固定连接有粗磨砂轮10和细磨砂轮101，通过粗磨砂轮10可以将需要减薄的硅片进行粗磨减薄，通过细磨砂轮101可以将减薄过后的硅片进行细磨抛光，使得一台减薄设备不仅可以减薄，在减薄完成后也可以进行抛光作业，这样无需将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分简单，降低了工作人员的工作量，同时也提高了工作效率；
[0020]通过转动组件可以对粗磨砂轮10和细磨砂轮101进行位置互换，互换后的粗磨砂轮10和细磨砂轮101能够进行粗磨工序与细磨工序，使用起来十分简单。
[0021]实施例二
[0022]参照图1
‑
3，在实施例一的基础上改进：用于硅片减薄机的砂轮调节装置，包括外箱1，外箱1的一侧通过合页固定连接有箱门19，箱门19通过搭扣进行锁紧固定，外箱1的内底部固定连接有安装支架11，安装支架11的顶部固定连接有防护圆盘12，防护圆盘12的一侧开设有凹槽，且凹槽的内底部固定连接有真空吸盘13，外箱1的内顶部固定连接有电动伸缩杆2，电动伸缩杆2的一端固定连接有第一连接板3，第一连接板3的下端通过转动组件转动连接有第二连接板6，第二连接板6的底部固定连接有两组第二连接杆7，两组第二连接杆7的一端固定连接有第三连接板8，第三连接板8的顶部固定连接有两组驱动电机801，两组驱动电机801输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴9，两组转动轴9的一端分别固定连接有粗磨砂轮10和细磨砂轮101，通过粗磨砂轮10可以将需要减薄的硅片进行粗磨减薄，通过细磨砂轮101可以将减薄过后的硅片进行细磨抛光，使得一台减薄设备不仅可以减薄，在减薄完成后也可以进行抛光作业，这样无需将减薄后的硅片放置在抛光机中进行细磨工序，使得硅片制作工序十分简单，降低了工作人员的工作量，同时也提高了工作效率；
[0023]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于硅片减薄机的砂轮调节装置，包括外箱(1)，其特征在于，所述外箱(1)的内顶部固定连接有电动伸缩杆(2)，所述电动伸缩杆(2)的一端固定连接有第一连接板(3)，所述第一连接板(3)的下端通过转动组件转动连接有第二连接板(6)，所述第二连接板(6)的底部固定连接有两组第二连接杆(7)，两组所述第二连接杆(7)的一端固定连接有第三连接板(8)，所述第三连接板(8)的顶部固定连接有两组驱动电机(801)，两组所述驱动电机(801)输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴(9)，两组所述转动轴(9)的一端分别固定连接有粗磨砂轮(10)和细磨砂轮(101)。2.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述转动组件包括有第一连接杆(5)和固定套(4)，所述固定套(4)的一端固定连接于第一连接板(3)的底部，所述第一连接杆(5)的一端贯穿固定套(4)转动连接于第一连接板(3)的底部，且第一连接杆(5)的另一端固定连接于第二连接板(6)的顶部，所述第一连接杆(5)的外壁上开设有限位孔。3.根据权利要求2所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述固定套(4)包括套筒和转...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬祥，邱祥文，王选，胡旭南，
申请(专利权)人：深圳市方达研磨技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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