一种真空吸笔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空吸笔，属于半导体技术领域，包括真空腔体，真空腔体一端设有与吸嘴匹配的真空接头，吸嘴用于吸取半导体器件；真空腔体上设有活动握把，活动握把一端与真空腔体活动连接，另一端经弹簧与真空腔体外部连接；真空腔体内设有活塞，活塞连接有活塞杆，活塞杆另一端连接有支撑杆，支撑杆另一端活动连接至活动握把。本实用新型专利技术通过握紧握把带动支撑杆、活塞杆运动，进而使活塞在真空腔体内移动，以使真空接头端的真空腔体内产生负压，并通过吸嘴对半导体器件进行吸附；当半导体器件转移至目的地时，松开握把，在弹簧作用力下，间接使活塞反向移动，释放真空，半导体器件失去吸力而脱离，实现芯片转移目的。实现芯片转移目的。实现芯片转移目的。

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸笔


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种真空吸笔。

技术介绍

[0002]在半导体器件制备领域，尤其在半导体器件封装环节，装片工段需要手动安装芯片进而制作部分样品，由于芯片的脆弱易损坏性，所以搬取安装芯片时需要用到专业的真空吸笔(带匹配的吸嘴)，而目前的真空吸笔需要连接真空气管和抽真空装置以实现吸附作用。由于真空气管的布设需要提前安装，在某些没有布设真空气管的位置就无法使用此种基于真空装置、真空气管进行工作的真空吸笔。综上，一种无需连接真空气管的真空吸笔的专利技术就显得很有必要。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的问题，提供了一种无需连接真空吸管的真空吸笔。
[0004]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种真空吸笔，包括真空腔体，真空腔体一端设有与吸嘴匹配的真空接头，吸嘴用于吸取半导体器件；
[0005]真空腔体上设有活动握把，活动握把一端与真空腔体活动连接，另一端经弹簧与真空腔体外部连接；
[0006]真空腔体内设有活塞，活塞连接有活塞杆，活塞杆另一端连接有支撑杆，支撑杆另一端活动连接至活动握把。
[0007]在一示例中，所述真空腔体外部对称设置第一活动握把和第二活动握把。
[0008]在一示例中，所述活动握把为经过光滑处理的握把。
[0009]在一示例中，所述活动握把表面开设有圆弧槽。
[0010]在一示例中，所述真空腔体上设有滑轨，滑轨上设有滑块，活动握把与滑块铰接。
[0011]在一示例中，所述活动握把与支撑杆铰接。
[0012]在一示例中，所述活塞杆远离活塞的一端设有环扣，环扣与支撑杆连接。
[0013]在一示例中，所述真空腔体上远离真空接头的一端设有定位孔，定位孔匹配连接有定位栓。
[0014]在一示例中，所述真空腔体上远离活塞的一端等间距设有多个定位孔，任一定位孔匹配连接有定位栓。
[0015]在一示例中，所述真空接头与真空腔体一体成型。
[0016]在一示例中，所述真活塞为PE材质活塞。
[0017]需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。
[0018]与现有技术相比，本技术有益效果是：
[0019]1.在一示例中，本技术通过握紧握把带动支撑杆、活塞杆运动，进而使活塞在
真空腔体内移动，以使真空接头端的真空腔体内产生负压，并通过吸嘴对半导体器件进行吸附；当半导体器件转移至目的地时，松开握把，在弹簧作用力下，间接使活塞反向移动，释放真空，半导体器件失去吸力而脱离，实现芯片转移目的。
[0020]2.在一示例中，通过在远离真空接头一端的真空腔体上设置定位栓，能够限制活塞移动距离，进而控制真空腔体内产生的负压的大小，一方面避免了人工用力浪费，提高了作业效率，另一方面能够适应不同半导体器件对吸附力的要求，在实现有效吸附半导体器件的同时，能够避免半导体器件受力过大而损坏。
附图说明
[0021]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明，此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0022]图1为本技术一示例中的真空吸笔结构示意图。
[0023]图中：真空腔体1、真空接头2、活动握把3、弹簧4、活塞5、活塞杆6、支撑杆7、环扣8、定位孔9、定位栓10。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，使用序数词(例如，“第一和第二”、“第一至第四”等)是为了对物体进行区分，并不限于该顺序，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0028]在一示例中，一种真空吸笔，如图1所示，该真空吸笔包括真空腔体1，优选为具有一定厚度的圆柱形真空腔体1，长度为250mm～350mm，直径为20mm～30mm。具体地，真空腔体1一端设有真空接头2，优选真空接头2与真空腔体1一体成型。该真空接头2凸出真空腔体1设计，优选为圆柱形真空接头2，真空接头2与真空腔体1内的真空腔连通。作为一选项，在该
真空接头2外部设置多个环形凹槽，当与真空接头2匹配的吸嘴(吸盘)套设于真空接头2时，环形凹槽能防止吸嘴滑落。其中，吸嘴用于吸取半导体器件即芯片，即当真空腔体1内处于负压状态时，此时吸嘴能够有效吸附半导体器件。
[0029]进一地，真空腔体1上设有活动握把3，活动握把3一端与真空腔体1活动连接，另一端经弹簧4与真空腔体1外部连接(活动握把一端连接握把在笔杆主体的垂直投影位置)，在没有外力施加于活动握把3上时，握把在处于伸展弹簧4的推力下，活动握把3相对真空腔体1呈一定角度倾斜。
[0030]进一地，真空腔体1内设有活塞5，即活塞5与真空腔体1移动式密封，不漏气。作为一选项，活塞5为PE材质活塞5，利于与真空腔体1壁移动密封接触。活塞5远离真空接头2的一端连接有活塞5杆，活塞5杆另一端活动连接有支撑杆7，支撑杆7另一端活动连接至活动握把3。在没有外力施加于活动握把3上时，支撑杆7相对真空腔体1呈一定角度倾斜。本技术吸笔工作原理具体为：
[0031]先在真空接头2上安装匹配的吸嘴，使吸嘴对准需要转移的芯片，握紧活动握把3，由于活动握把3与真空腔体1活动连接，此过程中弹簧4逐渐被压缩，活动握把3与真空腔体1间的夹角逐渐减少(活动握把3向真空腔体1逐渐靠近)，支撑杆7向上移动进而依次带动活塞5杆、活塞5向上移动(远离真空接头的方向)，活塞5位移后空出的真空腔体1段(活塞5与真空接头2之间的真空腔体1段)产生负压，进而使吸嘴具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空吸笔，其特征在于：包括真空腔体，真空腔体一端设有与吸嘴匹配的真空接头，吸嘴用于吸取半导体器件；真空腔体上设有活动握把，活动握把一端与真空腔体活动连接，另一端经弹簧与真空腔体外部连接；真空腔体内设有活塞，活塞连接有活塞杆，活塞杆另一端连接有支撑杆，支撑杆另一端活动连接至活动握把。2.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述真空腔体外部对称设置第一活动握把和第二活动握把。3.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述活动握把为经过光滑处理的握把。4.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述活动握把表面开设有圆弧槽。5.根据权利要求1所述的一种真空吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成功，
申请(专利权)人：成都复锦功率半导体技术发展有限公司，
类型：新型
国别省市：