本实用新型专利技术提供一种卡塞固定装置及晶圆转运设备，该卡塞固定装置包括固定底座、限位组件及晶圆检测组件，限位组件包括设于固定底座一侧的定位块及限位块，检测组件包括设于限位块一侧的对射信号接收器，及通过驱动机构滑动式位于凹槽内的对射信号接收器，检测组件还包括设于固定底座上的若干个按钮式光电传感器，按钮式光电传感器与驱动机构电性连接。通过判断对射信号接收器的光源信号是否被阻挡，以确认晶圆是否出现凸片，以提高检测效率，同时基于卡塞的尺寸大小，触发对应的按钮式光电传感器，以获取卡塞的尺寸信息，进一步通过按钮式光电传感器控制驱动机构使对射信号接收器移动，以适应不用尺寸的晶圆使用，提高装置的通用性。的通用性。的通用性。
【技术实现步骤摘要】
一种卡塞固定装置及晶圆转运设备
[0001]本技术涉及芯片半导体加工
，特别涉及一种卡塞固定装置及晶圆转运设备。
技术介绍
[0002]红黄晶圆厚度是较薄的一道制成工艺，由于行业内目前作业流程还处于倒盒作业情况，操作人员将卡塞放置在匀胶机及显影机上料台端时，会出现放置位置不准确的情况，由于卡塞放置位置不准确会导致卡塞盒内晶圆凸片，即晶圆与卡塞之间发生位置偏移，匀胶机及显影机机械手臂在取放片过程中会出现手臂撞击晶圆的情况，严重导致晶圆碎片与机械手臂报废，机械手臂精度和作业效率都受到影响。
[0003]现有技术中，黄光工段设备对卡塞内部晶圆检知方法主要是通过人为干预，在作业途中人为确认设备内部作业时卡塞内晶圆是否凸片，检测效率较低，同时易出现漏检的情况。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种卡塞固定装置及晶圆转运设备，旨在解决现有技术中凸片检测效率较低的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术是通过如下技术方案来实现的：一种卡塞固定装置，包括固定底座、限位组件及晶圆检测组件，所述限位组件包括设于所述固定底座一侧的定位块，及设于所述定位块一侧的限位块，所述检测组件包括设于所述限位块一侧的对射信号接收器，所述固定底座上开设有凹槽，所述对射信号接收器通过驱动机构滑动式位于所述凹槽内，所述检测组件还包括设于所述固定底座上的若干个按钮式光电传感器，所述按钮式光电传感器与所述驱动机构电性连接。
[0006]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：通过在固定底座上设置定位块便于卡塞的定位放置，进一步通过限位块对卡塞进行限位固定，通过设置晶圆检测组件，该晶圆检测组件包括通过驱动机构滑动式设于凹槽内的对射信号接收器，通过判断对射信号接收器的光源信号是否被阻挡，以确认晶圆是否出现凸片，以提高检测效率，同时通过预先设置在固定底座上的若干个按钮式光电传感器，基于卡塞的尺寸大小，触发对应的按钮式光电传感器，以获取卡塞的尺寸信息，同时通过按钮式光电传感器控制驱动机构使对射信号接收器移动，以适应不用尺寸的晶圆使用，提高装置的通用性。
[0007]根据上述技术方案的一方面，所述定位块上开设有若干个定位槽，所述定位槽与所述按钮式光电传感器对应设置。
[0008]根据上述技术方案的一方面，所述限位块通过螺栓可拆卸式设于所述固定底座上。
[0009]根据上述技术方案的一方面，所述限位组件包括若干个所述限位块，所述限位块与所述按钮式光电传感器对应设置。
[0010]根据上述技术方案的一方面，所述固定底座包括本体部及由所述本体部一侧延伸形成的滑动导向部，所述滑动导向部内滑动式设有滑块，所述对射信号接收器固定于所述滑块上。
[0011]根据上述技术方案的一方面，所述驱动机构包括设于所述固定底座一侧的电动推杆，所述电动推杆与若干个所述按钮式光电传感器电性连接，所述电动推杆的输出端连接所述滑块。
[0012]根据上述技术方案的一方面，所述卡塞固定装置还包括报警机构，所述报警机构包括设于所述固定底座上的蜂鸣器，所述蜂鸣器与所述对射信号接收器电性连接。
[0013]本技术的另一方面还提供了一种晶圆转运设备，包括转运机械手，所述晶圆转运设备还包括上述技术方案中的卡塞固定装置，所述转运机械手与所述对射信号接收器电性连接。
附图说明
[0014]图1为本技术第一实施例中卡塞固定装置的第一视角的结构示意图；
[0015]图2为本技术第一实施例中卡塞固定装置的第二视角的结构示意图；
[0016]图3为本技术第一实施例中卡塞及晶圆的结构示意图；
[0017]图4为本技术第一实施例中卡塞固定装置及卡塞的装配结构示意图；
[0018]主要元件符号说明：
[0019]固定底座10本体部10a滑动导向部10b限位组件20限位块21定位块22定位槽23晶圆检测组件30对射信号接收器31按钮式光电传感器32滑块33电动推杆34凹槽11卡塞40突柱41晶圆50蜂鸣器60
ꢀꢀ
[0020]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0021]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0022]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领
域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]请参阅图1至图4，所示为本技术第一实施例中的卡塞40固定装置，包括固定底座10、限位组件20及晶圆检测组件30，所述限位组件20包括设于所述固定底座10一侧的定位块22，及设于所述定位块22一侧的限位块21，所述检测组件包括设于所述限位块21一侧的对射信号接收器31，所述固定底座 10上开设有凹槽11，所述对射信号接收器31通过驱动机构滑动式位于所述凹槽11内，所述检测组件还包括设于所述固定底座10上的若干个按钮式光电传感器32，所述按钮式光电传感器32与所述驱动机构电性连接。
[0025]具体来说，本实施例中的卡塞40固定装置，通过在固定底座10上设置定位块22便于卡塞40的定位放置，进一步通过限位块21对卡塞40进行限位固定，通过设置晶圆检测组件30，该晶圆检测组件30包括通过驱动机构滑动式设于凹槽11内的对射信号接收器31，通过判断对射信号接收器31的光源信号是否被阻挡，以确认晶圆50是否出现凸片，以提高检测效率。由于固定底座10 上可以放置2寸、4寸或者6寸晶圆型号的卡塞40，不同型号的卡塞40内部片源的位置是不同的，通过预先设置在固定底座10上的若干个按钮式光电传感器 32，基于卡塞40的尺寸大小，触发对应的按钮式光电传感器32，以获取卡塞 40的尺寸信息，同时通过按钮式光电传感器32控制驱动机构使对射信号接收器 31移动，以适应不用尺寸晶圆的卡塞40使用，提高装置的通用性。具体来说，如图4所示，图中左侧卡塞40内的晶圆50发生凸片，阻挡了对射信号接收器 31的光源信号接收，图中右侧卡塞40内的晶圆50则为正常放置，不会影响对射信号接收器31。
[0026]进一步地，在本实施例中，所述定位块22上开设有若干个定本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种卡塞固定装置，其特征在于，包括：固定底座；限位组件，所述限位组件包括设于所述固定底座一侧的定位块，及设于所述定位块一侧的限位块；晶圆检测组件，所述检测组件包括设于所述限位块一侧的对射信号接收器，所述固定底座上开设有凹槽，所述对射信号接收器通过驱动机构滑动式位于所述凹槽内，所述检测组件还包括设于所述固定底座上的若干个按钮式光电传感器，所述按钮式光电传感器与所述驱动机构电性连接。2.根据权利要求1所述的卡塞固定装置，其特征在于，所述定位块上开设有若干个定位槽，所述定位槽与所述按钮式光电传感器对应设置。3.根据权利要求1所述的卡塞固定装置，其特征在于，所述限位块通过螺栓可拆卸式设于所述固定底座上。4.根据权利要求1所述的卡塞固定装置，其特征在于，所述限位组件包括若干个所述限位块，所述限位块与所述按钮式光电传感器对应设置。5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗昱，段良飞，郭玉峰，刘剑荣，何军强，钟伟，刘颖，黄建华，朱帅，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。