【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产加工，特别涉及一种负压吸嘴。
技术介绍
1、半导体的生产加工过程中，对晶片的封装是一项重要的、精密的工序，需要运用特殊工具将晶片移送到不同的工位上，为了不对晶片造成损伤，通常运用负压吸嘴来吸取晶片，从而完成移送。
2、负压吸嘴内部能够形成负压和正压，分别用于使晶片吸附在吸嘴上和使晶片被释放在相应工位上。因此需要对负压吸嘴内部的气体压力和气流进行精密的检测和控制。
3、现有的负压吸嘴在使用过程中存在问题：一些负压吸嘴在吸取晶片的过程中，易将外部微尘颗粒吸入到吸嘴内部，用于监测气体流量的流量感测器易受其影响发生故障，给负压吸嘴的使用带来负面影响。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种负压吸嘴，旨在解决现有技术中外部微尘颗粒易进入吸嘴内部从而导致流量感测器发生故障的问题。
2、为了实现上述目的，本技术是通过如下技术方案来实现的：
3、一种负压吸嘴，包括吸嘴帽、过滤机构及吸嘴，所述吸嘴帽的底部连接连接管，所述连接管包括第一连接管及第二连接管，所述第一连接管的一端连通所述吸嘴帽，所述第一连接管的另一端连通流量感测器，所述流量感测器远离所述第一连接管的一端连通所述第二连接管，所述流量感测器用于监测所述连接管内气体流量，所述过滤机构包括第一固定管、第二固定管、壳体、安装部及过滤部，所述第二连接管远离所述流量感测器的一端连通所述第一固定管，所述第一固定管远离所述流量感测器的一端连接所述安装部，所述安装部远
4、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：通过设置所述过滤机构，有效阻止外部微尘颗粒进入所述连接管，防止外部微尘颗粒影响所述流量感测器，从而保护了所述流量感测器，保障了所述负压吸嘴的正常工作。
5、进一步，所述安装部上设置若干个固定件，所述固定件的一端贯穿所述安装部，并拆卸连接所述壳体。
6、更进一步，所述过滤部包括过滤筒及过滤单元，所述过滤筒的一端连接所述安装部，所述过滤筒内部连接所述过滤单元。
7、更进一步，所述吸嘴帽内贯穿设置连通管路，所述连通管路的一端置于所述第一连接管内，并连通所述第一连接管，所述连通管路的另一端连通外负压接头，所述外负压接头连通外负压管。
8、更进一步，所述外负压接头位于所述吸嘴帽的侧壁，所述连通管路连通所述外负压接头的一端套设第一密封圈，所述连通管路位于所述第一连接管内的一端套设第二密封圈，所述第二密封圈位于所述连通管路及所述第一连接管之间。
9、更进一步，所述吸嘴帽的一侧壁上设置有支撑架，所述支撑架用于连接机械摆臂。
10、更进一步，所述第一连接管的外侧壁上设置压力调节装置，所述压力调节装置位于所述吸嘴帽及所述流量感测器之间，所述压力调节装置用于配合所述流量感测器调节内部气体压力。
11、再进一步，所述吸管上设置电磁阀，所述电磁阀用于开关所述吸管的通路。
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1.一种负压吸嘴，其特征在于，包括吸嘴帽、过滤机构及吸嘴，所述吸嘴帽的底部连接连接管，所述连接管包括第一连接管及第二连接管，所述第一连接管的一端连通所述吸嘴帽，所述第一连接管的另一端连通流量感测器，所述流量感测器远离所述第一连接管的一端连通所述第二连接管，所述流量感测器用于监测所述连接管内气体流量，所述过滤机构包括第一固定管、第二固定管、壳体、安装部及过滤部，所述第二连接管远离所述流量感测器的一端连通所述第一固定管，所述第一固定管远离所述流量感测器的一端连接所述安装部，所述安装部远离所述第一固定管的一面连接所述壳体及所述过滤部，所述过滤部位于所述壳体内，所述过滤部用于过滤微尘颗粒，所述壳体远离所述第二连接管的一端连通所述第二固定管，所述第二固定管外套接吸管，且所述第二固定管与所述吸管连通，所述吸管远离所述壳体的一端连通所述吸嘴，所述吸嘴用于吸取晶片。
2.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述安装部上设置若干个固定件，所述固定件的一端贯穿所述安装部，并拆卸连接所述壳体。
3.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述过滤部包括过滤筒及过滤单元，
4.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述吸嘴帽内贯穿设置连通管路，所述连通管路的一端置于所述第一连接管内，并连通所述第一连接管，所述连通管路的另一端连通外负压接头，所述外负压接头连通外负压管。
5.根据权利要求4所述的负压吸嘴，其特征在于，所述外负压接头位于所述吸嘴帽的侧壁，所述连通管路连通所述外负压接头的一端套设第一密封圈，所述连通管路位于所述第一连接管内的一端套设第二密封圈，所述第二密封圈位于所述连通管路及所述第一连接管之间。
6.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述吸嘴帽的一侧壁上设置有支撑架，所述支撑架用于连接机械摆臂。
7.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述第一连接管的外侧壁上设置压力调节装置，所述压力调节装置位于所述吸嘴帽及所述流量感测器之间，所述压力调节装置用于配合所述流量感测器调节内部气体压力。
8.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述吸管上设置电磁阀，所述电磁阀用于开关所述吸管的通路。
...【技术特征摘要】
1.一种负压吸嘴，其特征在于，包括吸嘴帽、过滤机构及吸嘴，所述吸嘴帽的底部连接连接管，所述连接管包括第一连接管及第二连接管，所述第一连接管的一端连通所述吸嘴帽，所述第一连接管的另一端连通流量感测器，所述流量感测器远离所述第一连接管的一端连通所述第二连接管，所述流量感测器用于监测所述连接管内气体流量，所述过滤机构包括第一固定管、第二固定管、壳体、安装部及过滤部，所述第二连接管远离所述流量感测器的一端连通所述第一固定管，所述第一固定管远离所述流量感测器的一端连接所述安装部，所述安装部远离所述第一固定管的一面连接所述壳体及所述过滤部，所述过滤部位于所述壳体内，所述过滤部用于过滤微尘颗粒，所述壳体远离所述第二连接管的一端连通所述第二固定管，所述第二固定管外套接吸管，且所述第二固定管与所述吸管连通，所述吸管远离所述壳体的一端连通所述吸嘴，所述吸嘴用于吸取晶片。
2.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述安装部上设置若干个固定件，所述固定件的一端贯穿所述安装部，并拆卸连接所述壳体。
3.根据权利要求1所述的负压吸嘴，其特征在于，所述过滤部包括过滤筒及过滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：严露露，李宗魁，胡瑶，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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