冲压工具保持装置、冲压工具定位装置、多要素传送装置及元件阵列的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可将冲压工具的冲压面保持为清洁且保持冲压工具的冲压工具保持装置、相对于搬运头的冲压工具的定位容易的冲压工具定位装置、用于使用冲压工具高效地传送元件等搬运对象要素的多要素传送装置、及使用它们的元件阵列的制造方法。一种冲压工具保持装置(80)，具有装卸自如地设置有冲压工具(10)的设置台(82)。设置台(82)具有形成有收纳冲压工具(10)的冲压层(12)的收纳凹部(86)的设置面(84)，在设置面(84)形成有可装卸自如地吸附位于冲压层(12)的周围的冲压工具(10)的一部分的抽吸孔(85)。的抽吸孔(85)。的抽吸孔(85)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】冲压工具保持装置、冲压工具定位装置、多要素传送装置及元件阵列的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种冲压工具(stamp tool)保持装置、冲压工具定位装置、多要素传送装置以及元件阵列的制造方法。

技术介绍

[0002]在极小部件的搬运中，研究探讨使用在表面具有多个凸部的冲压状的搬运工具(冲压工具)。在下述的专利文献1中公开有该冲压状的搬运工具的例子。一直以来，公开有一种用于使由热膨胀(coefficient of thermal expansion)所致的搬运对象的脱离成为可能的冲压工具。
[0003]作为设想为冲压工具的搬运对象的极小部件的一个例子，有称为小型LED、微型LED的LED元件。所谓小型LED、微型LED，是指与现有的一般性LED元件相比较，宽度为1～8μm，长度为5～10μm，高度为0.5～3μm而非常地小。
[0004]如在现有技术中也存在的那样，自配置有多个这种LED元件的晶圆拾起元件，向相当于显示器的基板搬运，由此，制造LED显示器，但是，要求用于使用冲压工具高效地传送元件等的搬运对象要素的装置和方法。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：美国2017/0173852A1公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的问题
[0009]本专利技术鉴于这种实际情况而完成，其目的在于，提供一种可将冲压工具的冲压面保持为清洁且保持冲压工具的冲压工具保持装置、相对于搬运头的冲压工具的定位容易的冲压工具定位装置、用于使用冲压工具高效地传送元件等搬运对象要素的多要素传送装置、及使用它们的元件阵列的制造方法。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]为了达成上述目的，本专利技术的冲压工具保持装置，是具有装卸自如地设置有具有冲压层的冲压工具的设置台的冲压工具保持装置，该冲压层具有可装卸自如地粘着搬运对象要素的部分，
[0012]所述设置台具有形成有收纳所述冲压层的收纳凹部的设置面，在所述设置面形成有可装卸自如地吸附位于所述冲压层的周围的所述冲压工具的一部分的抽吸孔。
[0013]在本专利技术的冲压工具保持装置中，在将冲压层收纳于收纳凹部的内部的状态下，将负压导入到抽吸孔，由此，冲压工具的一部分装卸自如地被吸附到设置面。其结果，收纳凹部的内部被密闭，在被收纳凹部的内部所收纳的冲压层的冲压面，难以附着杂质或灰尘等，可事先将冲压面保持为清洁且设置冲压工具。
[0014]优选，所述设置台相对于基座装卸自如地被固定。冲压工具需要对应于顾客的要求、或制入有作为搬运对象要素的元件的基板(基板也可以是薄片/以下相同)等而更换。配合冲压工具的变更，事先准备多个设置台，由此，不更换基座而仅更换设置台，由此，可对应于冲压工具的尺寸变更等。另外，各设置台优选被确保相对于基座的平坦度，即使当更换冲压工具时，也无须调整平坦度。
[0015]优选，在所述设置台形成有连通到所述收纳凹部内的空间以替换所述收纳凹部内的气体的气体流通孔。通过替换凹部内的气体，可使附着于收纳在收纳凹部的内部的冲压层的表面的杂质或灰尘等与气体一同排出，可提高冲压层的清洁度。
[0016]在所述设置台的上部，安装有至少沿着第1轴引导的引导机构，以使得所述冲压工具的冲压层落入到所述收纳凹部的内部。在设置台设置引导机构，由此，进行至少沿着第1轴(也可以包含第2轴)的冲压工具的概略定位的情况变得容易。另外，当通过搬运头拾起冲压工具时，相对于搬运头的冲压工具的定位也变得容易。
[0017]优选，所述引导机构具有沿着所述第1轴装卸自如地安装于所述设置台的两侧的多个引导构件，在各个所述引导构件，形成有可卡合到所述冲压工具的锥面的倾斜面。通过这样构成，进行至少沿着第1轴(也可以包含第2轴)的冲压工具的概略定位变得更容易。另外，当通过搬运头拾起冲压工具时，相对于搬运头的冲压工具的定位也变得更容易。
[0018]优选，沿着所述第1轴，在所述设置台的两侧，分别安装有至少两个引导构件，沿着两个引导构件的间隙，夹头(chuck)机构(也称做夹钳机构/以下相同)的爪部可插入。通过这样构成，可进行至少沿着第1轴(也可包含第2轴)的冲压工具的高精度定位。另外，当通过搬运头拾起冲压工具时，也可更高精度地进行相对于搬运头的冲压工具的定位(特别是沿着第1轴的定位)。
[0019]优选，还具有沿着第2轴方向配置于所述设置台的两侧，可与设置于所述设置台的上部的冲压工具的缘部抵接及分离移动的一对定位构件。通过这样构成，除了第1轴之外，可进行沿着第2轴的冲压工具的高精度定位。另外，当通过搬运头拾起冲压工具时，也可更容易进行相对于搬运头的冲压工具的定位。
[0020]本专利技术的第1观点的元件阵列的制造方法，具有：
[0021]将保持于上述任一者所述的冲压工具保持装置的冲压工具由搬运头拾起的工序；以及
[0022]使用被安装于所述搬运头的冲压工具，使多个搬运对象要素自基板同时取出并搬运的工序。
[0023]在本专利技术的第1观点的元件阵列的制造方法中，可容易且短时间及低成本地制造具有多个元件的元件阵列。
[0024]本专利技术的第2观点的元件阵列的制造方法，具有：
[0025]将上述任一者所述的冲压工具保持装置以与配置有作为所述搬运对象要素的多个种类的元件的各个的基板的数量相同的数量以上准备的工序；
[0026]在各个所述冲压工具保持装置，设置按多个种类的所述元件的每个准备的冲压工具的工序；
[0027]自所述冲压工具保持装置由搬运头拾起被保持于对应于各个所述基板的各个所述冲压工具保持装置的所述冲压工具，自对应于被拾起后的所述冲压工具的基板，使用安
装于所述搬运头的所述冲压工具，同时取出多个所述元件并搬运的工序；以及
[0028]在同时取出多个元件并搬运后，使多个所述元件被取出后的所述冲压工具回到对应的所述冲压工具保持装置的工序。
[0029]在本专利技术的第2观点的元件阵列的制造方法中，可容易且以短时间及低成本制造排列有多个种类的元件的元件阵列。而且，使配合分别对应于多个种类的元件的各基板使用的冲压工具设置于专用的冲压工具保持装置以保管，所以可有效防止元件的排列错误等，且容易保持各冲压工具的冲压面的清洁度为高质量。
[0030]优选，冲压工具具有：
[0031]冲压层，具有可装卸自如地粘着搬运对象要素的部分；
[0032]支撑板，固定有所述冲压层；以及
[0033]接合板，具有可更换自如地安装有所述支撑板且装卸自如地安装有搬运头的安装面。
[0034]在该冲压工具中，可不更换冲压工具的整体，自接合板仅更换固定有冲压层的支撑板。因此，以低成本准备具有不同种类的冲压层的冲压工具变得容易。另外，即使变更冲压层的尺寸或支撑板的尺寸，统一接合板的尺寸也变得容易，搬运头或设置台的共享化变得容易。另外，冲压层被固定于支撑板，所以，容易确保冲压层的冲压面的平坦度。
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种冲压工具保持装置，其特征在于，是具有装卸自如地设置有具有冲压层的冲压工具的设置台的冲压工具保持装置，所述冲压层具有能够装卸自如地粘着搬运对象要素的部分，所述设置台具有形成有收纳所述冲压层的收纳凹部的设置面，在所述设置面形成有能够装卸自如地吸附位于所述冲压层的周围的所述冲压工具的一部分的抽吸孔。2.如权利要求1所述的冲压工具保持装置，其特征在于，所述设置台相对于基座装卸自如地被固定。3.如权利要求1或2所述的冲压工具保持装置，其特征在于，在所述设置台形成有连通到所述收纳凹部内的空间且替换所述收纳凹部内的气体的气体流通孔。4.如权利要求1～3中任一项所述的冲压工具保持装置，其特征在于，在所述设置台的上部，安装有至少沿着第1轴进行引导的引导机构，以使得所述冲压工具的冲压层落入到所述收纳凹部的内部。5.如权利要求4所述的冲压工具保持装置，其特征在于，所述引导机构具有沿着所述第1轴装卸自如地安装于所述设置台的两侧的多个引导构件，在各个所述引导构件，形成有能够与所述冲压工具的锥面卡合的倾斜面。6.如权利要求5所述的冲压工具保持装置，其特征在于，沿着所述第1轴，在所述设置台的两侧，分别安装有至少两个引导构件，夹头机构的爪部能够沿着两个引导构件的间隙插入。7.如权利要求1～6中任一项所述的冲压工具保持装置，其特征在于，还具有沿着第2轴方向配置于所述设置台的两侧，能够与设置于所述设置台的上部的冲压工具的缘部抵接及分离移动的一对定位构件。8.一种元件阵列的制造方法，其特征在于，具有：由搬运头拾起保持于权利要求1～7中任一项所述的冲压工具保持装置的冲压工具的工序；以及使用安装于所述搬运头的冲压工具，将多个搬运对象要素自基板同时地取出并搬运的工序。9.一种元件阵列的制造方法，其特征在于，具有：将权利要求1～7中任一项所述的冲压工具保持装置以与配置有作为所述搬运对象要素的多个种类的元件的各个的基板的数量相同的数量以上进行准备的工序；在各个所述冲压工具保持装置，设置按多个种类的所述元件的每个准备的冲压工具的工序；自所述冲压工具保持装置由搬运头拾起保持于对应于各个所述基板的各个所述冲压工具保持装置的所述冲压工具，并自对应于被拾起的所述冲压工具的基板，使用安装于所述搬运头的所述冲压工具同时地取出多个所述元件并搬运的工序；以及在同时地取出多个元件并搬运后，将多个所述元件被取出后的所述冲压工具回到对应
的所述冲压工具保持装置的工序。10.一种冲压工具定位装置，其特征在于，具有：设置台，其装卸自如地设置有具有冲压层的冲压工具，所述冲压层具有能够装卸自如地粘着搬运对象要素的部分；搬运头，其能够拾起设置于所述设置台的所述冲压工具；第1轴定位机构，其沿着第1轴，对相对于所述搬运头的所述冲压工具的相对位置进行定位并进行调节；以及第2轴定位机构，其沿着与所述第1轴交叉的第2轴，对相对于所述设置台的所述冲压工具的相对位置进行定位并进行调节。11.如权利要求10所述的冲压工具定位装置，其特征在于，所述第1轴定位机构兼作将所述冲压工具装卸自如地安装到所述搬运头的安装机构。12.如权利要求11所述的冲压工具定位装置，其特征在于，所述安装机构具有沿着所述搬运头的所述第1轴设置于彼此相反侧，且相对于所述冲压工具抵接及分离移动自如地被设置的夹头机构。13.如权利要求10～12中任一项所述的冲压工具定位装置，其特征在于，所述第2轴定位机构具有沿着所述第2轴方向配置于所述设置台的两侧，且能够与设置于所述设置台的冲压工具抵接及分离移动的至少一对第2定位构件。14.如权利要求10～13中任一项所述的冲压工具定位装置，其特征在于，所述设置台具有形成有收纳所述冲压层的收纳凹部的设置面，在所述设置面形成有能够装卸自如地吸附位于所述冲压层的周围的所述冲压工具的一部分的抽吸孔。15.如权利要求10～14中任一项所述的冲压工具定位装置，其特征在于，所述设置台相对于基座装卸自如地被固定。16.如权利要求14或15所述的冲压工具定位装置，其特征在于，在所述设置台，形成有连通到所述收纳凹部内的空间且替换所述收纳凹部内的气体的气体流通孔。17.如权利要求10～16中任一项所述的冲压工具定位装置，其特征在于，在所述设置台安装有至少沿着第1轴引导所述冲压工具的引导机构。18.如权利要求17所述的冲压工具定位装置，其特征在于，所述引导机构具有沿着所述第1轴装卸自如地安装于所述设置台的两侧的多个引导构件。19.如权利要求18所述的冲压工具定位装置，其特征在于，沿着所述第1轴，在所述设置台的两侧，分别安装有至少两个引导构件，沿着两个引导构件的间隙，所述第1轴定位机构被插入且能够与所述冲压工具抵接。20.一种元件阵列的制造方法，其特征在于，具有：将由权利要求10～19中任一项所述的冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：须永诚寿郎，山下诚，宫腰敏畅，加藤康生，大友龙矩，牧田光悦，佐藤洋平，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：