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本实用新型提供一种卡塞固定装置及晶圆转运设备，该卡塞固定装置包括固定底座、限位组件及晶圆检测组件，限位组件包括设于固定底座一侧的定位块及限位块，检测组件包括设于限位块一侧的对射信号接收器，及通过驱动机构滑动式位于凹槽内的对射信号接收器，检测...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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