本实用新型专利技术公开了一种具有除静电装置的晶圆输送机构。这种具有除静电装置的晶圆输送机构中，除静电装置安装于位于晶圆输送机构的进料口以及晶圆输送机构与各加工工位的连接处；所述具有除静电装置的晶圆输送机构包括安装底座，固定在具有除静电装置的晶圆输送机构内腔；静电消除器，所述静电消散装置可活动地设于安装底座上且位于晶圆的上方，以对晶圆进行静电去除处理。本实用新型专利技术结构简单，除静电装置，提高了晶圆除静电性能，除静电完成后，便于晶圆后续加工，提高晶圆的点胶质量。提高晶圆的点胶质量。提高晶圆的点胶质量。
【技术实现步骤摘要】
具有除静电装置的晶圆输送机构
[0001]本技术属于晶圆封装
，具体涉及一种具有除静电装置的晶圆输送机构。
技术介绍
[0002]随着科学技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。
[0003]如果在点胶过程中存在杂尘和静电将影响晶圆的质量，不仅容易导致点胶效果不好，影响晶圆的质量，而且静电会对电子设备造成干扰，影响正常使用。电荷通过不断积累会移动到电路、缆线等重要位置，若此时进行点胶工作会导致机器损坏，甚至会引起火灾造成人身伤亡，因此需要对晶圆进行除静电操作。
[0004]传统的除静电装置安装于点胶工位或其他工位的内腔，由于内腔的工作环境不利于除静电装置，会降低除静电装置的使用寿命或者除静电的效率。
技术实现思路
[0005]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0006]为此，本技术提出一种具有除静电装置的晶圆输送机构，该晶圆输送机构具有迅速去除晶圆静电，便于晶圆后续加工的优点。
[0007]一种具有除静电装置的晶圆输送机构，所述除静电装置位于晶圆输送机构内腔，且除静电装置位于晶圆输送机构的进料口以及晶圆输送机构与各加工工位的连接处。
[0008]本技术的有益效果是，本技术结构简单，除静电装置安装于晶圆输送机构与各加工工位连接处，提高了晶圆除静电性能，除静电完成后，便于晶圆后续加工，提高晶圆的点胶质量。
[0009]进一步地，所述除静电装置包括：
[0010]安装底座，固定在晶圆输送机构内腔；
[0011]静电消除器，所述静电消除器可活动地设于安装底座上且位于晶圆的上方，以对晶圆进行静电去除处理。静电消除器将空气电离产生大量正负电荷，并将正负电荷吹出，形成一股正负电荷的气流，将晶圆表面所带的电荷中和掉。当晶圆表面所带为负电荷时，它会吸引气流中的正电荷，当晶圆表面所带为正电荷时，它会吸引电流中的负电荷，从而使晶圆表面上的静电被中和，进而达到消除静电的目的。
[0012]进一步地，所述安装底座包括用于静电消除器左右移动的移动组件、用于静电消除器工作角度的调整组件以及L型连接件，调整组件安装于静电消除器两端，调整组件通过
L型连接件安装在移动组件上。
[0013]进一步地，所述移动组件包括滑槽和滑块，滑槽开设于搬运装置的型材横梁侧面，L型连接件一端开设有第一安装孔，滑槽上开设有多个滑槽安装孔，螺栓穿过第一安装孔、滑块以及安装孔后将L型连接件与型材横梁连接。
[0014]进一步地，所述调整组件包括调节板和调节螺栓，调节板下部与静电消除器的端部连接，调节板上端设有调节板安装孔，L型连接件一端开设有第二安装孔，调节螺栓穿过调节板安装孔和第二安装孔后将调节板和L型连接件连接。
[0015]进一步地，所述第一安装孔为腰形孔，用于L型连接件微调安装位置。
[0016]进一步地，所述静电消除器下端与晶圆上端之间的距离为L，L≤300mm。
[0017]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0018]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0019]本技术的上述和/或附加的方面和优点从下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1是本技术的结构示意图；
[0021]图2是除静电装置的结构示意图；
[0022]图3是图2中A处的局部放大图；
[0023]图4是静电消除器与晶圆的位置示意图；
[0024]图5是本技术中晶圆输送机构的局部结构示意图；
[0025]附图标记：
[0026]1.静电消除器，2.L型连接件，3.滑槽，4.滑块，5.型材横梁，6.第一安装孔，7.调节板，8.调节螺栓，9.第二安装孔，10.机械手，11.托盘，12.活动件，13.晶圆，14.传送机构。
具体实施方式
[0027]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]下面参考附图具体描述本技术实施例的具有除静电装置的晶圆输送机构及具有该具有除静电装置的晶圆输送机构的点胶机。
[0031]如图1～5所示的一种具有除静电装置的晶圆输送机构，除静电装置位于晶圆输送机构内腔，且除静电装置位于晶圆输送机构的进料口以及晶圆输送机构与各加工工位的连接处。
[0032]晶圆输送机构包括：
[0033]壳体，壳体内限定有活动空间，壳体的一端设有与活动空间连通的料口，晶圆输送机构的两侧分别设有多个加工工位；
[0034]传送机构14，位于活动空间；
[0035]活动件12，安装在传送机构14上，传送机构14驱动活动件12在活动空间内运动；
[0036]取料件，该取料件设在活动件12上以从料口及加工工位取放晶圆；取料件包括机械手10和托盘1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有除静电装置的晶圆输送机构，其特征在于：所述除静电装置位于晶圆输送机构内腔，且除静电装置位于晶圆输送机构的进料口以及晶圆输送机构与各加工工位的连接处。2.根据权利要求1所述的具有除静电装置的晶圆输送机构，其特征在于：所述除静电装置包括：安装底座，固定在晶圆输送机构内腔；静电消除器(1)，所述静电消除器(1)可活动地设于安装底座上且位于晶圆的上方，以便对晶圆(13)进行静电去除处理。3.根据权利要求2所述的具有除静电装置的晶圆输送机构，其特征在于：所述安装底座包括用于静电消除器(1)左右移动的移动组件、用于静电消除器(1)工作角度的调整组件以及L型连接件(2)，调整组件安装于静电消除器(1)两端，调整组件通过L型连接件安装在移动组件上。4.根据权利要求3所述的具有除静电装置的晶圆输送机构，其特征在于：所述移动组件包括滑槽(3)和滑块(4)，滑槽开设于搬运装置的型材横梁...
【专利技术属性】
技术研发人员：周典虬，林翔，郜福亮，苗虎，杨军福，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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