基板输送机构制造技术

本实用新型专利技术涉及基板输送机构。在利用基板输送机构相对于层叠的处理组件交接基板时，能够抑制微粒向基板的附着，在较大的范围内输送基板。基板输送机构相对于用于处理基板且相互层叠的多个处理组件中的每个处理组件交接该基板，以如下方式构成：该基板输送机构包括：基部，其包括第1驱动装置：升降部，其使基部升降；第1臂部，其从基部的下侧沿横向延伸，利用第1驱动装置使该第1臂部的远端部相对于该基部绕纵轴线回转；第2臂部，其从第1臂部的远端部的上侧沿横向延伸，该第2臂部的远端部相对于第1臂部绕纵轴线与该第1臂部的回转一起回转；以及基板的保持部，其设于第2臂部的远端部的上侧，相对于该第2臂部绕纵轴线回转。相对于该第2臂部绕纵轴线回转。相对于该第2臂部绕纵轴线回转。

【技术实现步骤摘要】
基板输送机构


[0001]本公开涉及基板输送机构。

技术介绍

[0002]用于半导体器件的制造的基板处理装置构成为例如包括多个对作为基板的半导体晶圆(以下，记载为晶圆)进行处理的处理组件。而且，在该基板处理装置设有相对于各处理组件交接晶圆的基板输送机构。
[0003]在专利文献1中示出有具有被称SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm：平面关节型机器人)型的多关节的基板输送机构。该基板输送机构包括从基端部朝向远端部的方向依次连结的多个臂部(连杆体)41a～41c，上述的臂部构成为按照41a、41b、41c的顺序层叠。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2008
‑
28134号公报

技术实现思路

[0007]技术要解决的问题
[0008]本公开提供以下技术：能够在利用基板输送机构相对于层叠的处理组件交接基板时，能够抑制微粒向基板的附着，并且在较大的范围内输送基板。
[0009]用于解决问题的方案
[0010]本公开的基板输送机构相对于用于处理基板且相互层叠的多个处理组件中的每个处理组件交接该基板，其特征在于，
[0011]该基板输送机构包括：
[0012]基部，其包括第1驱动装置：
[0013]升降部，其使所述基部升降；
[0014]第1臂部，其从所述基部的下侧沿横向延伸，利用所述第1驱动装置使该第1臂部的远端部相对于该基部绕纵轴线回转；
[0015]第2臂部，其从所述第1臂部的远端部的上侧沿横向延伸，该第2臂部的远端部相对于所述第1臂部绕纵轴线与该第1臂部的回转一起回转；以及
[0016]所述基板的保持部，其设于所述第2臂部的远端部的上侧，相对于该第2臂部绕纵轴线回转。
[0017]对于上述基板输送机构，也可以是，在所述第2臂部的远端部的上侧设有相对于该第2臂部绕纵轴线转动的基台，所述保持部以能够相对于所述基台进退的方式设于该基台的上侧。
[0018]对于上述基板输送机构，也可以是，所述保持部包括彼此之间在纵向上设置并且分别保持所述基板的第1保持部和第2保持部，在将所述第1保持部和所述第2保持部的进退
方向设为前后方向时，在所述基台的左右的一方侧设有使所述第1保持部进退的第1进退机构，在所述基台的左右的另一方侧设有使所述第2保持部进退的第2进退机构，将所述第1保持部与所述第1进退机构连接起来的第1连接部仅设于所述基台的左右的一方侧，将所述第2保持部与所述第2进退机构连接起来的第2连接部仅设于所述基台的左右的另一方侧。
[0019]对于上述基板输送机构，也可以是，所述保持部包括用于对所述基板进行抽吸来保持的抽吸孔，用于检测与所述抽吸孔连接的排气路径的状态的传感器设于所述第2臂部。
[0020]对于上述基板输送机构，也可以是，所述处理组件的层叠体包括在横向上分离开的一层叠体和其他层叠体，所述升降部夹在所述一层叠体和所述其他层叠体之间地设置。
[0021]对于上述基板输送机构，也可以是，所述处理组件的层叠体包括在横向上排列的一层叠体和其他层叠体，在所述一层叠体和所述其他层叠体排列的方向上以夹着该一层叠体和该其他层叠体的方式设置所述处理组件的附属设备。
[0022]对于上述基板输送机构，也可以是，在将相对于所述升降部设置所述基部的那一侧设为前方侧时，所述升降部包括：多个导轨，其左右并排并且沿纵向延伸；以及第4驱动装置，其为了使所述基部沿着所述各导轨的延伸方向升降而被该各导轨共用。
[0023]对于上述基板输送机构，也可以是，所述基部包括：滑块，其被所述升降部支承并进行升降；以及基部主体，其从所述滑块的上部侧沿横向突出，并设有所述第1驱动装置，所述第1臂部的基端部与所述基部主体的下部侧连接。
[0024]对于上述基板输送机构，也可以是，所述升降部包括沿纵向延伸并且在横向上互相分离开地设置的第1支柱和第2支柱，所述滑块沿横向延伸，其一端和另一端分别与所述第1支柱和所述第2支柱连接，所述基部主体从所述滑块朝向相对于该滑块的延伸方向交叉的交叉方向突出地设置。
[0025]对于上述基板输送机构，也可以是，在所述第1支柱和第2支柱中的至少一者设有用于获得使所述滑块升降的驱动力的第2驱动装置，所述第2驱动装置设于相对于设有所述处理组件的区域划分出的区域。
[0026]对于上述基板输送机构，也可以是，在所述第1支柱和所述第2支柱形成包括升降机构的内部空间，该升降机构沿着该各支柱的长度方向形成并且用于使所述滑块升降，使所述内部空间排气的第1排气机构分别设于该内部空间的上部和下部。
[0027]对于上述基板输送机构，也可以是，所述升降部包括：第1梁，其使所述第1支柱的上端部和所述第2支柱的上端部相互连接；以及第2梁，其使所述第1支柱的下端部和所述第2支柱的下端部相互连接，所述第1支柱和第2支柱沿着纵向固定于包围所述处理组件和所述基板输送机构的壳体。
[0028]对于上述基板输送机构，也可以是，在所述第2臂部的远端部的上侧设有相对于该第2臂部绕纵轴线转动的基台，所述保持部以能够相对于所述基台进退的方式设于该基台的上侧，所述基台包括用于使所述保持部进退的第3驱动装置，所述基部主体包括容纳与所述第3驱动装置连接的线缆的基部主体用壳体，所述第1臂部包括容纳与所述第3驱动装置连接的线缆的第1臂部用壳体，所述第2臂部包括容纳与所述第3驱动装置连接的线缆的第2臂部用壳体，所述第2臂部用壳体的上端和所述基部主体用壳体的上端位于所述滑块的上端以下的高度的位置，所述第1臂部用壳体的下端位于所述滑块的下端以上的高度的位置。
[0029]对于上述基板输送机构，也可以是，所述滑块包括滑块用壳体，所述基部主体包括
基部主体用壳体，所述第1臂部包括第1臂部用壳体，所述第2臂部包括第2臂部用壳体，设有使所述滑块用壳体、所述基部主体用壳体内、所述第1臂部用壳体内以及所述第2臂部用壳体内连通的连通路径，在所述滑块设有经由所述连通路径使所述滑块用壳体内、所述基部主体用壳体内、所述第1臂部用壳体内以及所述第2臂部用壳体内排气的第2排气机构。
[0030]技术的效果
[0031]根据本公开，能够在利用基板输送机构相对于层叠的处理组件交接基板时，能够抑制微粒向基板的附着，并且在较大的范围内输送基板。
附图说明
[0032]图1是包括本公开的一实施方式的基板输送机构的基板处理装置的俯视图。
[0033]图2是所述基板处理装置的主视图。
[0034]图3是构成所述基板处理装置的处理模块的侧视图。
[0035]图4是所述基板输送机构的整体立体图。
[0036]图5是所述基板输送机构的主视图。
[0037]图6是所述基板输送机构的纵剖侧视图。
[0038]图7是所述基板输送机构的立体图。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板输送机构，其相对于用于处理基板且相互层叠的多个处理组件中的每个处理组件交接该基板，其特征在于，该基板输送机构包括：基部，其包括第1驱动装置：升降部，其使所述基部升降；第1臂部，其从所述基部的下侧沿横向延伸，利用所述第1驱动装置使该第1臂部的远端部相对于该基部绕纵轴线回转；第2臂部，其从所述第1臂部的远端部的上侧沿横向延伸，该第2臂部的远端部相对于所述第1臂部绕纵轴线与该第1臂部的回转一起回转；以及所述基板的保持部，其设于所述第2臂部的远端部的上侧，相对于该第2臂部绕纵轴线转动。2.根据权利要求1所述的基板输送机构，其特征在于，在所述第2臂部的远端部的上侧设有相对于该第2臂部绕纵轴线转动的基台，所述保持部以能够相对于所述基台进退的方式设于该基台的上侧。3.根据权利要求2所述的基板输送机构，其特征在于，所述保持部包括彼此之间在纵向上设置并且分别保持所述基板的第1保持部和第2保持部，在将所述第1保持部和所述第2保持部的进退方向设为前后方向时，在所述基台的左右的一方侧设有使所述第1保持部进退的第1进退机构，在所述基台的左右的另一方侧设有使所述第2保持部进退的第2进退机构，将所述第1保持部与所述第1进退机构连接起来的第1连接部仅设于所述基台的左右的一方侧，将所述第2保持部与所述第2进退机构连接起来的第2连接部仅设于所述基台的左右的另一方侧。4.根据权利要求2所述的基板输送机构，其特征在于，所述保持部包括用于对所述基板进行抽吸来保持的抽吸孔，用于检测与所述抽吸孔连接的排气路径的状态的传感器设于所述第2臂部。5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板输送机构，其特征在于，所述处理组件的层叠体包括在横向上分离开的一层叠体和其他层叠体，所述升降部夹在所述一层叠体和所述其他层叠体之间地设置。6.根据权利要求1～4中任一项所述的基板输送机构，其特征在于，所述处理组件的层叠体包括在横向上排列的一层叠体和其他层叠体，在所述一层叠体和所述其他层叠体排列的方向上以夹着该一层叠体和该其他层叠体的方式设置所述处理组件的附属设备。7.根据权利要求1～4中任一项所述的基板输送机构，其特征在于，在将相对于所述升降部设置所述基部的那一侧设为前方侧时，所述升降部包括：多个导轨，其左右并排并且沿纵向延伸；以及第4驱动装置，其为了使所述基部沿着各所述导轨的延伸方向升降而被该各导轨共用。8.根据权利要求1所述的基板输送机构，其特征在于，
所述基部包括：滑块，其被所述升降部支承并进行升降；以及基部主体，其从所述滑块的上部侧沿横向突出，并设有所述第1驱动装置，所述第1臂部的基端部与所述基部主体的下部侧连接。9.根据权利要求2所述的基板输送机构，其特征在于，所述基部包括：滑块，其被所述升降部支承并进行升降；以及基部主体，其从所述滑块的上部侧沿横向突出，并设有所述第1驱动装置，所述第1...

【专利技术属性】
技术研发人员：井手康盛，饭田成昭，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：新型
国别省市：