保温管道组件及制冷装置制造方法及图纸

本申请提供了一种保温管道组件及制冷装置，其用于半导体工艺设备，包括：内管、外管和至少两个连接部件。内管用于输送循环液，其中，循环液用于冷却或加热。外管套设于内管外。外管通过至少两个连接部件与内管可分离地密封连接，外管、内管以及至少两个连接部件之间形成真空夹层。本申请解决了循环液输送管道更换成本过高的问题。成本过高的问题。成本过高的问题。

【技术实现步骤摘要】
保温管道组件及制冷装置


[0001]本申请涉及半导体工艺设备，特别是涉及保温管道组件及制冷装置。

技术介绍

[0002]半导体制造的刻蚀设备中，温度是影响刻蚀特性的重要因素之一。为了在蚀刻过程中保持温度稳定在一定水平，经常会使用冷却器(Chiller)。冷却器可以通过循环液(coolant)对刻蚀机台的上电极、下电极、室壁(chamber wall)等部件进行冷却或加热。
[0003]例如，循环液可以和冷却器中的制冷剂进行热量交换(制冷剂蒸发时吸收循环液的热量)，使得循环液温度降低。冷却后的循环液流经负荷(例如负荷为电极)，与负荷进行热量交换，使得负荷降温，且使得循环液升温，升温后的循环液会再回到冷却器被制冷剂冷却，如此往复循环，达到对负荷持续冷却的目的。另外循环液也可以通过加热器(heater)加热，达到对负荷加热的效果。冷却器需要借助管道将循环液输送到指定负荷。循环液在其输送过程中会通过管道和外界进行热交换，导致循环液的温度发生过快变化，因而使得循环液达到制冷或制热的效果下降。
[0004]为了防止管道中循环液受到外界温度影响，导致温度变化过快，可以在管道外增设一层外管，并让管道与外管间开形成夹层，再将外管的两端焊接到管道上以密封夹层，最后将夹层抽成真空，利用真空的良好的绝热性质来阻止管道中循环液温度过快变化。由于管道和外管是焊接在一起的，因此无论是管道单独破损发生循环液泄漏，还是外管单独破损导致夹层真空被破坏，都需要将管道和外管同时更换，而无法对管道或外管进行单独更换。对管道和外管进行同时更换，将会导致更换成本过高。因此现有循环液输送管道存在更换成本过高的问题。

技术实现思路

[0005]针对现有循环液输送管道存在更换成本过高的问题，本申请提供了一种保温管道组件，其用于半导体工艺设备，包括：内管、外管和至少两个连接部件。所述内管用于输送循环液，其中，所述循环液用于冷却或加热。所述外管套设于所述内管外。所述外管通过所述至少两个连接部件与所述内管可分离地密封连接，所述外管、所述内管以及所述至少两个连接部件之间形成真空夹层。
[0006]优选地，所述至少两个连接部件可分离地密封连接所述内管，所述至少两个连接部件中的至少一个设置于所述外管的一端，所述至少两个连接部件中的至少另一个设置于所述外管的另一端。
[0007]优选地，各个所述连接部件包括设置于所述外管上的凸缘和设置在所述内管上的法兰，所述外管、所述内管以及所述法兰之间形成所述真空夹层，所述凸缘抵接所述法兰，并和所述法兰可分离地密封连接。
[0008]优选地，所述凸缘和所述外管一体成型设置，并位于所述外管的一端。
[0009]优选地，各个所述连接部件还包括紧固件和垫圈，所述垫圈位于所述凸缘和所述
法兰之间，所述紧固件将所述凸缘、所述垫圈和所述法兰可分离地密封连接。
[0010]优选地，各个所述连接部件包括：弹性管件和至少两个箍件，所述弹性管件的一端可分离地密封套接所述内管，所述弹性管件的另一端可分离地密封套接所述外管，所述外管、所述内管以及所述弹性管件之间形成所述真空夹层。所述至少两个箍件箍扣每个所述弹性管件。
[0011]优选地，所述外管设置有至少两个连接口，各个所述弹性管件的一端可分离地密封套接各个所述连接口。
[0012]优选地，所述连接部件的数量为两个，所述两个连接部件分别设置在所述外管的两端。
[0013]优选地，所述外管还包括出气孔，所述出气孔的一端和所述真空夹层连通，所述出气孔的另一端和抽真空装置连接。
[0014]本申请还提供了一种制冷装置，其包括所述保温管道组件。
[0015]本申请的有益效果在于：通过设置内管、外管和至少两个连接部件，并让外管套设于内管外以此形成保温管道组件，在外管、内管以及至少两个连接部件之间形成真空夹层。这样设置后，内管输送用于冷却或加热的循环液时，由于真空夹层具有的良好的绝热性质，可以对循环液形成良好的保温效果。由于外管通过至少两个连接部件与内管可分离地密封连接，在外管和内管只有一个破损导致循环液泄漏时，可以通过拆卸至少两个连接部件，使外管和内管分离，再分别更换外管或内管，而不必更换整个保温管道组件，降低了保温管道组件的更换成本。
[0016]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。
附图说明
[0017]图1是本申请一实施例中，保温管道组件的分解图；
[0018]图2是本申请一实施例中，保温管道组件的正视图；
[0019]图3是本申请一实施例中，图2的A
‑
A线剖视图；
[0020]图4是本申请另一实施例中，保温管道组件的分解图；
[0021]图5是本申请另一实施例中，保温管道组件的正视图；
[0022]图6是本申请另一实施例中，图5的B
‑
B线剖视图；
[0023]图7是本申请一实施例中，制冷装置示意图。
[0024]其中，附图标记：
[0025]1 保温管道组件
[0026]10 内管
[0027]11 外管
[0028]110 连接口
[0029]111 出气孔
[0030]12 连接部件
[0031]120 凸缘
[0032]121 法兰
[0033]122 紧固件
[0034]123 垫圈
[0035]124 弹性管件
[0036]125 箍件
[0037]2 抽真空装置
[0038]3 制冷器
[0039]4 负荷
具体实施方式
[0040]以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。
[0041]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0042]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0043]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保温管道组件(1)，其用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：内管(10)，其用于输送循环液，其中，所述循环液用于冷却或加热；外管(11)，其套设于所述内管(10)外；以及至少两个连接部件(12)，所述外管(11)通过所述至少两个连接部件(12)与所述内管(10)可分离地密封连接，所述外管(11)、所述内管(10)以及所述至少两个连接部件(12)之间形成真空夹层。2.根据权利要求1所述的保温管道组件(1)，其特征在于，所述至少两个连接部件(12)可分离地密封连接所述内管(10)，所述至少两个连接部件(12)中的至少一个设置于所述外管(11)的一端，所述至少两个连接部件(12)中的至少另一个设置于所述外管(11)的另一端。3.根据权利要求2所述的保温管道组件(1)，其特征在于，各个所述连接部件(12)包括设置于所述外管(11)上的凸缘(120)和设置在所述内管(10)上的法兰(121)，所述外管(11)、所述内管(10)以及所述法兰(121)之间形成所述真空夹层，所述凸缘(120)抵接所述法兰(121)，并和所述法兰(121)可分离地密封连接。4.根据权利要求3所述的保温管道组件(1)，其特征在于，所述凸缘(120)和所述外管(11)一体成型设置，并位于所述外管(11)的一端。5.根据权利要求4所述的保温管道组件(1)，其特征在于，各个所述连接部件(12)还包括紧固件(122)和垫圈(123)，所述垫圈(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：范祖金，王立志，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：